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MIM测试结构表征介电薄膜高频特性的研究分析
1
作者
秦臻
陈文彬
+2 位作者
王晓磊
杨道国
蔡苗
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2016年第12期31-35,共5页
采用金属-绝缘体-金属(MIM)测试结构表征薄膜高频特性时,差动法能有效地剥离测量过程中寄生效应对表征结果的消极影响。为此,借助仿真软件ADS深入探究了差动法中不同内径的结构组合,以及结构中底部电极的厚度和材料对表征结果的影响。...
采用金属-绝缘体-金属(MIM)测试结构表征薄膜高频特性时,差动法能有效地剥离测量过程中寄生效应对表征结果的消极影响。为此,借助仿真软件ADS深入探究了差动法中不同内径的结构组合,以及结构中底部电极的厚度和材料对表征结果的影响。结果表明:组合DM65-55(两个结构的内径分别为65μm和55μm)能较大限度剥离寄生效应的影响,其表征精度高达98.7%;底部电极厚度为0.1μm时,能得到较理想的表征结果;底部电极材料的改变对损耗角正切值的计算影响较大,其均值随着材料的电阻率减小而减小。
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关键词
介
电
表征
MIM结构
寄生效应
S参数
介
电
常数
损耗角正切值
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职称材料
电流、电位时域谱在绝缘介质介电特性表征中的应用研究综述
2
作者
孙云龙
郭文敏
+2 位作者
郑欢
韩永森
李忠华
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第20期8124-8140,共17页
随着人类社会对电力系统安全性与稳定性需求的不断提高,以及近年来我国能源、国防等领域的飞速发展和进步,提高绝缘介质以及新型电工材料的介电性能和绝缘可靠性的需求也在与日俱增。准确评估绝缘的介电性能和老化状态是保障绝缘结构长...
随着人类社会对电力系统安全性与稳定性需求的不断提高,以及近年来我国能源、国防等领域的飞速发展和进步,提高绝缘介质以及新型电工材料的介电性能和绝缘可靠性的需求也在与日俱增。准确评估绝缘的介电性能和老化状态是保障绝缘结构长期稳定运行的前提,同时对新型电工材料的研发也具有一定的指导意义。该文综述了时域介电谱中的电流时域谱和电位时域谱在绝缘介质介电特性表征和绝缘状态诊断中的应用,详细阐述极化去极化电流谱、等温松弛电流谱、热刺激电流谱和交流时域谱以及表面电位衰减谱和回复电压谱的基本测量原理和分析方法,指出当前时域介电谱在应用中存在的局限性,并展望多种测试技术的联合应用将是实现对电介质介电特性全面表征的有效途径。
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关键词
时域
介
电
谱
电
导
极化
陷阱
介
电
特性
表征
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职称材料
题名
MIM测试结构表征介电薄膜高频特性的研究分析
1
作者
秦臻
陈文彬
王晓磊
杨道国
蔡苗
机构
桂林电子科技大学机电工程学院
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2016年第12期31-35,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61361004)
广西科学研究与技术开发计划资助项目(No.桂科转14124005-1-7)
文摘
采用金属-绝缘体-金属(MIM)测试结构表征薄膜高频特性时,差动法能有效地剥离测量过程中寄生效应对表征结果的消极影响。为此,借助仿真软件ADS深入探究了差动法中不同内径的结构组合,以及结构中底部电极的厚度和材料对表征结果的影响。结果表明:组合DM65-55(两个结构的内径分别为65μm和55μm)能较大限度剥离寄生效应的影响,其表征精度高达98.7%;底部电极厚度为0.1μm时,能得到较理想的表征结果;底部电极材料的改变对损耗角正切值的计算影响较大,其均值随着材料的电阻率减小而减小。
关键词
介
电
表征
MIM结构
寄生效应
S参数
介
电
常数
损耗角正切值
Keywords
dielectric characterization
MIM structure
parasitic effect
S-parameter
dielectric constant
loss tangent
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
电流、电位时域谱在绝缘介质介电特性表征中的应用研究综述
2
作者
孙云龙
郭文敏
郑欢
韩永森
李忠华
机构
工程电介质及其应用技术教育部重点实验室(哈尔滨理工大学)
出处
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第20期8124-8140,共17页
基金
国家自然科学基金项目(51837003,52007043)
黑龙江省自然科学基金团队项目(TD2019E002)。
文摘
随着人类社会对电力系统安全性与稳定性需求的不断提高,以及近年来我国能源、国防等领域的飞速发展和进步,提高绝缘介质以及新型电工材料的介电性能和绝缘可靠性的需求也在与日俱增。准确评估绝缘的介电性能和老化状态是保障绝缘结构长期稳定运行的前提,同时对新型电工材料的研发也具有一定的指导意义。该文综述了时域介电谱中的电流时域谱和电位时域谱在绝缘介质介电特性表征和绝缘状态诊断中的应用,详细阐述极化去极化电流谱、等温松弛电流谱、热刺激电流谱和交流时域谱以及表面电位衰减谱和回复电压谱的基本测量原理和分析方法,指出当前时域介电谱在应用中存在的局限性,并展望多种测试技术的联合应用将是实现对电介质介电特性全面表征的有效途径。
关键词
时域
介
电
谱
电
导
极化
陷阱
介
电
特性
表征
Keywords
dielectric spectrum in time domain
conductivity
polarization
traps
characterization for dielectric properties
分类号
TM85 [电气工程—高电压与绝缘技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MIM测试结构表征介电薄膜高频特性的研究分析
秦臻
陈文彬
王晓磊
杨道国
蔡苗
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
2016
0
下载PDF
职称材料
2
电流、电位时域谱在绝缘介质介电特性表征中的应用研究综述
孙云龙
郭文敏
郑欢
韩永森
李忠华
《中国电机工程学报》
EI
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
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