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介电层上石墨烯的制备 被引量:12
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作者 陈集思 武斌 刘云圻 《化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2014年第3期359-366,共8页
石墨烯因其优异而独特的性能,自发现以来便受到了广泛的关注.为了实现石墨烯的进一步应用,可控制备大面积、高质量的石墨烯便成为研究人员需要首先攻克的难题.利用传统方法在金属基底上催化生长的石墨烯,需要先转移到介电层上才能进行... 石墨烯因其优异而独特的性能,自发现以来便受到了广泛的关注.为了实现石墨烯的进一步应用,可控制备大面积、高质量的石墨烯便成为研究人员需要首先攻克的难题.利用传统方法在金属基底上催化生长的石墨烯,需要先转移到介电层上才能进行后续的器件构筑.与之相比,介电层表面上直接生长石墨烯后,就可直接利用目前的硅加工工艺制备器件,从而避免因转移而引起的污染、破损,进而有望得到高质量、无污染的石墨烯样品.介绍了近年来介电层上直接生长石墨烯的研究进展,其中包括在各种传统介电层材料和新型六方氮化硼薄膜上制备石墨烯的各种方法.总结展望了介电层表面石墨烯制备的主要挑战及发展方向. 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 六方氮化硼
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高K栅介质研究进展 被引量:8
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作者 赵毅 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期16-19,共4页
介绍了国内外对高K栅极介质的研究现状。分析了适合用于作为栅极介质的高介电常数材料的种类,用于制备高K薄膜的方法。
关键词 栅极 常数材料 高K栅 场效应管 二氧化硅
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原子层沉积技术的应用现状及发展前景 被引量:11
3
作者 廖荣 康唐飞 +2 位作者 邓世杰 吴海洋 王敬云 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第10期5-9,共5页
介绍了原子层沉积(ALD)技术的应用现状及发展前景,包括ALD原理、ALD技术的主要优势、ALD在各方面的应用,如半导体及纳米电子学应用、光电材料及器件、微机电系统(MEMS)、纳米结构及其它应用。ALD工艺所需温度比其他化学气相沉积方法远... 介绍了原子层沉积(ALD)技术的应用现状及发展前景,包括ALD原理、ALD技术的主要优势、ALD在各方面的应用,如半导体及纳米电子学应用、光电材料及器件、微机电系统(MEMS)、纳米结构及其它应用。ALD工艺所需温度比其他化学气相沉积方法远远降低,温度约为300℃。ALD对薄膜的均匀性有更好的控制,由于原子层技术的独特性,使其在半导体等行业的发展前景十分可观。 展开更多
关键词 原子沉积 纳米结构 半导体 芯片
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陶瓷基片薄膜电致发光器件 被引量:8
4
作者 赵伟明 张志林 +2 位作者 蒋雪茵 刘祖刚 许少鸿 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期256-260,共5页
本文报道了一种新颖的陶瓷基片薄膜电致发光器件(CSTFEL),使用高介电常数的陶瓷片作器件的基片,同时又作为器件中的绝缘层,陶瓷片表面无需抛光处理,直接制作发光器件,工艺简单,用市电50Hz,220V驱动,亮度大于3... 本文报道了一种新颖的陶瓷基片薄膜电致发光器件(CSTFEL),使用高介电常数的陶瓷片作器件的基片,同时又作为器件中的绝缘层,陶瓷片表面无需抛光处理,直接制作发光器件,工艺简单,用市电50Hz,220V驱动,亮度大于30cd/m2,寿命大于10000小时. 展开更多
关键词 陶瓷 薄膜 致发光 CSTFEL
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基于微纳结构的柔性压力传感器设计与制备 被引量:6
5
作者 侯丽娟 秦会斌 +1 位作者 胡炜薇 秦晋 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2022年第7期73-76,共4页
设计了一种柔性压力传感器的制备方法,通过对柔性材料的性能分析,选择导电银浆作为传感器的导电层。为了增强传感器的导电性能,介电层材料采用聚氨酯和炭黑的复合材料。同时,为提升传感器的灵敏度,在介电层中采用微结构设计,利用丝网印... 设计了一种柔性压力传感器的制备方法,通过对柔性材料的性能分析,选择导电银浆作为传感器的导电层。为了增强传感器的导电性能,介电层材料采用聚氨酯和炭黑的复合材料。同时,为提升传感器的灵敏度,在介电层中采用微结构设计,利用丝网印刷工艺将柔性材料印刷至柔性基底表面。最后,根据电极阵列点的设计封装得到柔性压力传感器。通过测试数据分析得出,相同的压力作用下,具有微结构的传感器发生的形变量更大,灵敏度更高,稳定性能良好。该设计的压力传感器具有成本低、制备工艺简单等特点,并且灵敏度性能有所提升,在智能穿戴和医疗检测等领域有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 柔性压力传感器 微结构 灵敏度
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低压双液体变焦透镜的理论及工艺研究 被引量:6
6
作者 魏茂炜 彭润玲 +1 位作者 汤征洋 陈家璧 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期36-40,共5页
通过对仅有单层介电薄膜双液体变焦透镜模型的相关理论分析,得出介电层薄膜的厚度及均匀性对双液体变焦透镜的性能影响很大,并绘制了双液体变焦透镜焦距与驱动电压、介电层厚度的关系曲线.在此基础上,以降低双液体变焦透镜的驱动电压为... 通过对仅有单层介电薄膜双液体变焦透镜模型的相关理论分析,得出介电层薄膜的厚度及均匀性对双液体变焦透镜的性能影响很大,并绘制了双液体变焦透镜焦距与驱动电压、介电层厚度的关系曲线.在此基础上,以降低双液体变焦透镜的驱动电压为目的,对介电层的选择进行了分析,选择既可充当介电层又可充当疏水层的派瑞林材料作为双液体变焦透镜的介电层材料,通过真空蒸发镀膜工艺得到了合适厚度的介电层派瑞林薄膜,并对所镀薄膜表面形貌以及厚度进行了测试.选择氯化钾以及溴代十二烷作为导电液体和油性液体,利用离心方式除去液体中溶有的气体,进而制作完成双液体变焦透镜样品.电驱变焦实验得到低压双液体变焦透镜样品的变焦范围为±20mm,驱动电压约为30V,对于实验过程中出现的迟滞效应,通过对杨氏方程中引入摩擦力项,合理地解释了其原因. 展开更多
关键词 双液体变焦透镜 低压 驱变焦 派瑞林 真空蒸发 变焦迟滞
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CNT/PDMS介电层微结构成型及摩擦纳米发电机制备 被引量:6
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作者 肖渊 刘进超 +2 位作者 吕晓来 李红英 代阳 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第15期177-185,共9页
针对目前摩擦纳米发电机介电层表面微结构制作方法存在工艺流程复杂,成本高的问题,提出在聚二甲基硅氧烷(PDMS)中掺杂碳纳米管(CNT)提高介电常数,并以砂纸为模板快速在PDMS表面成型微结构,实现微结构CNT/PDMS弹性体膜摩擦纳米发电机介... 针对目前摩擦纳米发电机介电层表面微结构制作方法存在工艺流程复杂,成本高的问题,提出在聚二甲基硅氧烷(PDMS)中掺杂碳纳米管(CNT)提高介电常数,并以砂纸为模板快速在PDMS表面成型微结构,实现微结构CNT/PDMS弹性体膜摩擦纳米发电机介电层的制备。研究不同目数砂纸下PDMS表面微结构、CNT掺杂质量分数及载荷作用对摩擦纳米发电机性能输出的影响,测试发电机输出功率及耐久性。结果表明:表面微结构制作方法可增加介电层表面积提高发电机输出电压及电流,800目砂纸成型微结构时,摩擦纳米发电机输出最大;掺杂CNT可提高介电层电容值,CNT质量分数为1%时,电容值达到最大24.2 pF;制备的摩擦纳米发电机可产生最大瞬时功率密度1.23×10^(-3) W/m^(3),且经10000次工作循环,表现出较好的耐久性。 展开更多
关键词 摩擦纳米发 砂纸模板 微结构 CNT
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基于柔性显示器件的氧化铝介电层室温制备 被引量:6
8
作者 姚日晖 郑泽科 +10 位作者 曾勇 胡诗犇 刘贤哲 陶瑞强 陈建秋 蔡炜 宁洪龙 徐苗 王磊 兰林锋 彭俊彪 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期367-372,共6页
在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(A_l2O_3)薄膜,通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13Pa时,制备的A_l2O_3薄膜具有最好的厚度均匀性,薄膜中Al和O的原子比为1∶1.67,密度为3.21... 在室温环境下采用射频磁控溅射方法制备了氧化铝(A_l2O_3)薄膜,通过调节溅射气压实现了对薄膜特性的优化控制。当溅射功率为120 W、Ar气压强为0.13Pa时,制备的A_l2O_3薄膜具有最好的厚度均匀性,薄膜中Al和O的原子比为1∶1.67,密度为3.21g/cm^3,粗糙度为0.62nm。这种平滑、致密的薄膜结构能够有效地减少缺陷的形成,获得高击穿电压、高相对介电常数和低漏电等性能。利用优化后的A_l2O_3薄膜作为栅极绝缘层,在聚酰亚胺树脂(PI)基板上室温制备了柔性非晶态铟镓锌氧化物-薄膜晶体管(α-IGZO-TFT),其迁移率为2.19cm2/(V·s),开关比达到105,亚阈值摆幅为0.366V/decade,阈值电压为3.01V。 展开更多
关键词 薄膜 柔性薄膜晶体管 氧化铝 射频磁控溅射 室温制备
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不同介电层对Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)薄膜铁电性能影响的研究进展
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作者 袁晓博 何慧凯 +2 位作者 唐文涛 刘宗芳 苏铭吉 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第4期297-309,共13页
近年来,铁电Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)(HZO)薄膜受到越来越多的关注,但是铁电层与电极材料层以及铁电层与半导体衬底层之间的界面问题并没有得到解决,阻碍了HZO薄膜的进一步应用。总结了通过引入不同介电层材料,如Al_(2)O_(3)、ZrO_(2)、HfO_... 近年来,铁电Hf_(x)Zr_(1-x)O_(2)(HZO)薄膜受到越来越多的关注,但是铁电层与电极材料层以及铁电层与半导体衬底层之间的界面问题并没有得到解决,阻碍了HZO薄膜的进一步应用。总结了通过引入不同介电层材料,如Al_(2)O_(3)、ZrO_(2)、HfO_(2)、Ta_(2)O_5等,调节HZO薄膜铁电性能的方法及其机理;详细介绍了各种介电层材料作为封盖层对HZO薄膜铁电性能的影响,如对HZO薄膜提供平面内应力、控制铁电层的晶粒尺寸及作为铁电层形核核心的作用;最后,总结并展望了利用介电层调控HZO薄膜铁电性能的一般规律,为后续相关研究的开展提供了指导。 展开更多
关键词 性能 HZO薄膜 Al_(2)O_(3) ZrO_(2)
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原子层沉积法制备Al_(2)O_(3)薄膜研究近况和发展趋势 被引量:5
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作者 段珊珊 施昌勇 +3 位作者 杨丽珍 刘忠伟 张海宝 陈强 《真空》 CAS 2021年第6期13-20,共8页
原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)是基于自限制界面反应的薄膜生长技术。采用原子层技术可以制备结构致密、高保形、低缺陷密度、性能优异、均匀性好的薄膜。氧化铝是原子层沉积最常见的薄膜(ALD-Al_(2)O_(3)),具有高透明度、... 原子层沉积(atomic layer deposition,ALD)是基于自限制界面反应的薄膜生长技术。采用原子层技术可以制备结构致密、高保形、低缺陷密度、性能优异、均匀性好的薄膜。氧化铝是原子层沉积最常见的薄膜(ALD-Al_(2)O_(3)),具有高透明度、高禁带宽度、高介电常数、高阻隔性以及良好的化学和热稳定性,因而作为钝化层、气体渗透阻隔层和栅极介电层等广泛应用于太阳能电池钝化、OLED封装、有机太阳能电池介质层、印刷电子和微电子封装等领域。本文综述了ALD-Al_(2)O_(3)原理、在线诊断和应用发展现状,主要包括氧化铝薄膜的生长机理、单体选择、沉积方法、原位诊断,同时对ALD-Al_(2)O_(3)应用以及未来的发展趋势进行预测。 展开更多
关键词 原子沉积 Al_(2)O_(3)薄膜 阻隔 钝化
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相变光盘介电层ZnS-SiO_2薄膜的性能研究 被引量:3
11
作者 刘波 阮昊 干福熹 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期190-194,共5页
利用AFM、XRD、TEM、紫外可见光谱仪和椭偏仪等多种研究手段研究了ZnS-SiO2薄膜的性能.研究表明,沉积态ZnS-SiO2薄膜为非晶态,表现为层核生长型(Straski-Krastanov型)结构,表面很平滑,其中包含着大小为2-10nm的微小晶粒;ZnS-SiO2薄膜的... 利用AFM、XRD、TEM、紫外可见光谱仪和椭偏仪等多种研究手段研究了ZnS-SiO2薄膜的性能.研究表明,沉积态ZnS-SiO2薄膜为非晶态,表现为层核生长型(Straski-Krastanov型)结构,表面很平滑,其中包含着大小为2-10nm的微小晶粒;ZnS-SiO2薄膜的透过率比较大,消光系数很小,这可以减少入射激光能量的损失;ZnS-SiO2薄膜拥有比较高的折射率,能够对记录层起到很好的保护作用. 展开更多
关键词 ZnS-SiO2薄膜 性能 相变光盘 硫化锌 二氧化硅
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基于聚合物突起的液晶透镜阵列 被引量:1
12
作者 储繁 王琼华 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2023年第1期10-17,共8页
提出了一种基于聚合物突起液晶透镜阵列。该液晶透镜阵列的周期性聚合物突起上镀有氧化铟锡透明电极,利用介电层抹平相剖面,通电状态下在液晶层内部产生沿透镜孔径呈线性变化的垂直电场,在液晶层内形成了呈中心对称的梯度折射率分布,从... 提出了一种基于聚合物突起液晶透镜阵列。该液晶透镜阵列的周期性聚合物突起上镀有氧化铟锡透明电极,利用介电层抹平相剖面,通电状态下在液晶层内部产生沿透镜孔径呈线性变化的垂直电场,在液晶层内形成了呈中心对称的梯度折射率分布,从而使液晶层对入射光线有聚焦作用。优化后的液晶透镜阵列采用较薄的液晶层,大幅缩短了液晶透镜阵列的响应时间。所提液晶透镜阵列具有工作电压较低、电极简单、基板内部侧平面化和液晶层厚度均匀等优点。仿真结果表明,通过改变驱动电压,该液晶透镜阵列的焦距可以从无穷大连续调节到1.28 mm。 展开更多
关键词 液晶透镜 聚合物突起 短焦距
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新型范德华绝缘体封装的MoS_(2)晶体管性能研究
13
作者 袁恺 闵成彧 +4 位作者 陈鹏堃 胡欢 黄俊 杨帆 唐昭焕 《微电子学》 CAS 北大核心 2023年第2期315-320,共6页
以MoS_(2)为代表的二维半导体材料是下一代延续摩尔定律的潜在电子学新材料之一。然而,二维特性使得MoS_(2)中电子的输运行为对环境条件高度敏感。采用范德华绝缘体材料进行封装包覆,是目前消除二维半导体器件环境敏感性的有效方案之一... 以MoS_(2)为代表的二维半导体材料是下一代延续摩尔定律的潜在电子学新材料之一。然而,二维特性使得MoS_(2)中电子的输运行为对环境条件高度敏感。采用范德华绝缘体材料进行封装包覆,是目前消除二维半导体器件环境敏感性的有效方案之一。文章采用化学气相传输法制备新型范德华绝缘体材料CrOCl,并以少层CrOCl为介电层和封装材料,设计并制备了基于MoS_(2)的场效应晶体管。以CrOCl为底栅介电层及封装材料的MoS_(2)晶体管的室温场效应迁移率约为60 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1),2 K下进一步增大至100 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1)。此外,相比于无封装MoS_(2)晶体管高达20 V的回滞窗口,CrOCl的包覆有效消除了晶体管转移特性的回滞现象,证明其在二维材料电子学中的应用潜力。 展开更多
关键词 范德华绝缘体CrOCl MoS_(2)场效应晶体管 封装材料 回滞现象
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溶液法制备蒽醌类衍生物介电层及其在有机场效应晶体管中的应用
14
作者 王旭冉 任春兴 +4 位作者 曹龙 刘省珍 冯宇光 张伟民 吴倜 《印刷与数字媒体技术研究》 CAS 北大核心 2023年第5期92-99,114,共9页
如何获得高性能、稳定传输的n型半导体材料是柔性电子器件领域研究的重点。本研究设计合成了两种13,13,14,14-四氰基-5,11-二噻吩并蒽醌二甲烷衍生物(M-C0和M-C10)。根据电化学表征计算得到M-C0和M-C10的LUMO能级分别为–4.01eV和–3.95... 如何获得高性能、稳定传输的n型半导体材料是柔性电子器件领域研究的重点。本研究设计合成了两种13,13,14,14-四氰基-5,11-二噻吩并蒽醌二甲烷衍生物(M-C0和M-C10)。根据电化学表征计算得到M-C0和M-C10的LUMO能级分别为–4.01eV和–3.95eV,HOMO能级分别为–6.62eV和–6.45eV。较低的HOMO能级(<-5.4eV)保证该类化合物具有良好的空气稳定性。其中,M-C10引入癸烷基取代基,材料具有很好的溶解性,溶液法涂布制备有机场效应晶体管的介电层,可替代完美修饰的十八烷基三氯硅烷(OTS)介电层,使以酞菁铜为有机半导体层的场效应晶体管的性能提高近两个数量级,空穴迁移率达到2.4×10^(-2)cm^(2)V^(-1)s^(-1),且在制备工艺方面,溶液涂布操作简单,易重复,适用于大面积柔性器件。 展开更多
关键词 蒽醌类衍生物 溶液涂布 有机场效应晶体管
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Atomic layer deposited high-k Hf_xAl_(1-x)O as an alternative gate dielectric for 4H-SiC MIS based transistors 被引量:1
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作者 SONG QingWen ZHANG YuMing +2 位作者 ZHANG YiMen TANG XiaoYan JIA RenXu 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2012年第3期606-609,共4页
HfxAl(1-x)O film grown by atomic layer deposition(ALD) on n-type 4H-SiC(0001) epitaxial layer has been studied.Measurements show that it has relatively high breakdown electric field of 16.4 MV/cm,high dielectric const... HfxAl(1-x)O film grown by atomic layer deposition(ALD) on n-type 4H-SiC(0001) epitaxial layer has been studied.Measurements show that it has relatively high breakdown electric field of 16.4 MV/cm,high dielectric constant of 16.3 and low gate leakage current of 2.47×10-5 A/cm2 at E=5 MV/cm,which makes ALD HfxAl(1-x)O a great potential candidate gate dielectric for 4H-SiC MIS based transistors. 展开更多
关键词 ALD HfxAl(1-x)O 4H-SIC MIS
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介电层表面直接生长石墨烯的研究进展 被引量:1
16
作者 杨慧慧 高峰 +1 位作者 戴明金 胡平安 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第21期31-53,共23页
作为21世纪备受瞩目的材料,石墨烯兼具优异的电、热、光与力学性质,具有十分广阔的研究价值与应用价值.目前主要通过在金属基底上生长获得石墨烯,并将其转移至目标介电层基底上以构筑电子器件.转移过程不可避免地引入了褶皱、裂纹、破... 作为21世纪备受瞩目的材料,石墨烯兼具优异的电、热、光与力学性质,具有十分广阔的研究价值与应用价值.目前主要通过在金属基底上生长获得石墨烯,并将其转移至目标介电层基底上以构筑电子器件.转移过程不可避免地引入了褶皱、裂纹、破损以及聚合物/金属残留,严重损害了石墨烯的性能.因而直接在介电基底上制备高质量的石墨烯薄膜具有重要意义.本文总结了近年来在介电衬底上直接生长石墨烯的研究进展:阐述了金属辅助法、等离子体增强法以及热力学或动力学调控法等多种生长手段;介绍了多种介电/绝缘基底包括SiO_2/Si,Al_2O_3,SrTiO_3,h-BN,SiC,Si_3N_4以及玻璃表面生长石墨烯的特点与性能,分析了其可能的生长机理.根据拉曼谱图、薄层电阻、透光率、载流子迁移率等评估指标,将多种方法得到的石墨烯质量进行了总结与比较,并提出了直接在介电衬底上生成石墨烯的研究难点与趋势. 展开更多
关键词 石墨烯 化学气相沉积 无转移
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A flexible magnetoelectric field-effect transistor with magnetically responsive nanohybrid gate dielectric layer 被引量:1
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作者 Nguyen Minh Triet Tran Quang Trung +4 位作者 Nguyen Thi Dieu Hien Saqib Siddiqui Do-ll Kim Jai Chan Lee Nae-Eung Lee 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期3421-3429,共9页
Flexible magnetoelectric (ME) materials have been studied for new applications such as memory, energy harvesters, and magnetic field sensors. Herein, with the widely studied and progressive advantages of ME phenomen... Flexible magnetoelectric (ME) materials have been studied for new applications such as memory, energy harvesters, and magnetic field sensors. Herein, with the widely studied and progressive advantages of ME phenomena in the multiferroic field, we demonstrate a new approach for utilizing flexible ME materials as gate dielectric layers in ME organic field-effect transistors (ME-OFET) that can be used for sensing a magnetic field and extracting the ME properties of the gate dielectric itself. The magnetoelectric nanohybrid gate dielectric layer comprises sandwiched stacks of magnetostrictive CoFe2O4 nanoparticles and a highly piezoelectric poly(vinylidene fluoride-co-trifluoroethylene) layer. While varying the magnetic field applied to the ME gate dielectric, the ME effect in the functional gate dielectric modulates the channel conductance of the ME-OFET owing to a change in the effective gate field. The clear separation of the ME responses in the gate dielectric layer of ME-OFET from those of the other parameters was demonstrated using the AC gate biasing method and enabled the extraction of the ME coefficient of ME materials. Additionally, the device shows high stability after cyclic bending of 10,000 cycles at a banding radius of 1.2 cm. The device has significant potential for not only the extraction of the intrinsic characterization of ME materials but also the sensing of a magnetic field in integrated flexible electronic systems. 展开更多
关键词 MAGNETOELECTRIC MAGNETOSTRICTION CoFe2O4 nanoparticles P(VDF-TrFE) organic field-effecttransistor magnetic sensor
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乙酰丙酮镁对有机场效应晶体管迁移率的影响 被引量:1
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作者 姚闯 徐新军 +1 位作者 马明超 李立东 《中国科技论文》 CAS 北大核心 2016年第4期409-412,共4页
载流子迁移率是有机场效应晶体管(OFETs)的重要参数,直接决定了OFETs的功率和工作频率,对电子纸和射频标签等实际应用起到至关重要的作用。为了提高以聚(3-己基噻吩)(P3HT))和聚苯乙烯(PS)的混合物作为半导体材料的OFETs的载流子迁移率... 载流子迁移率是有机场效应晶体管(OFETs)的重要参数,直接决定了OFETs的功率和工作频率,对电子纸和射频标签等实际应用起到至关重要的作用。为了提高以聚(3-己基噻吩)(P3HT))和聚苯乙烯(PS)的混合物作为半导体材料的OFETs的载流子迁移率,提出利用结晶的乙酰丙酮镁来诱导P3HT在界面处结晶的方法。研究了使用不同量的乙酰丙酮镁掺杂的热交联聚乙烯基苯酚(CPVP)作为介电材料时OFETs性能的变化。结果表明,当在常用介电材料CPVP中掺杂适量乙酰丙酮镁(质量分数为0.6%)作为介电层时,器件的载流子迁移率达到最大(2.88×10-2 cm2/(V·s)),是单纯使用CPVP介电层时迁移率的11倍。 展开更多
关键词 有机场效应晶体管 乙酰丙酮镁 迁移率
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CMP后的晶圆清洗
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《电子工业专用设备》 2006年第6期29-30,64,共3页
关键词 清洗剂 晶圆 CMP 化学机械研磨 有机物污染 硅酸盐玻璃 界面活性剂 系数 疏水性
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氯化钠液滴在特氟龙表面润湿行为的电控调节研究
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作者 刘丽明 闫航瑞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2021年第2期38-40,43,共4页
为进一步探究界面润湿行为的电控调节机理,掌握电场调控的影响规律,基于能量最小原理和液滴体积不变原则,构建了多因素耦合的介电润湿等效模型,对比分析了加载电压大小、极性、频率变化对氯化钠液滴在特氟龙表面浸润特性的影响。由理论... 为进一步探究界面润湿行为的电控调节机理,掌握电场调控的影响规律,基于能量最小原理和液滴体积不变原则,构建了多因素耦合的介电润湿等效模型,对比分析了加载电压大小、极性、频率变化对氯化钠液滴在特氟龙表面浸润特性的影响。由理论分析和实验测试表明:在0~±70 V范围内,无论是施加正向还是负向电压,接触角均会随电压增大而呈现非线性减小趋势直至饱和,饱和接触角约95.3°,正、负向饱和电压由于离子体积差异相差约10 V。而在施加交流电场时,在50~250Hz内,频率越高,接触角越小,与此同时饱和电压会随着频率的升高而呈现反向降低,本研究为深入探索介电润湿系统调控机理,进一步指导电润湿效应在实际工程中的应用提供理论参考与实验依据。 展开更多
关键词 润湿 微流体 接触角 界面行为
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