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基于反馈的交流激励式电容测量电路设计 被引量：9
1
作者 冯佳 李佩玥 +2 位作者 徐立松 尹志生 隋永新 《国外电子测量技术》 2014年第11期38-42,共5页
针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题,提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先,将传感器输出电压引出,乘以合适的倍数,加到初始激励源。然后,利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后,... 针对交流激励式电容测量电路抗干扰能力差及测量精度受激励源稳定性影响的问题,提出了一种前级加反馈的电容测量电路设计。首先,将传感器输出电压引出,乘以合适的倍数,加到初始激励源。然后,利用模拟乘法器和低通滤波器进行检波。最后,用八位半数字表3458A采集测量结果。实验结果表明,该系统在0~650μm范围内分辨率达30nm,电路测量最大偏差为20nm,示值稳定性0.1mV/30min。该系统满足电容测微系统稳定性好、准确性高的要求。 展开更多
关键词 电容传感器 交流激励式 反馈电路 3458A
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静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究
2
作者 王绥辉 徐恒通 +4 位作者 李刚 韩晓东 孙雯君 成永军 李得天 《真空与低温》 2024年第2期105-111,共7页
静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表... 静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。 展开更多
关键词 静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计 微小电容检测 交流激励式 抗驱动电压干扰
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基于反馈的交流激励式电容测量电路的开发与设计 被引量：1
3
作者 陈莉 《自动化与仪器仪表》 2018年第2期71-73,共3页
交流激励式电容测量电路具有对外界干扰敏感与测量精度稳定性差的问题,文中针对该问题开发与设计了一种基于反馈的交流激励式电容测量电路,在电容前端加一反馈,具体为输出电压的倍数加入到初始输入,接着检波采用的是模拟乘法器与低通滤... 交流激励式电容测量电路具有对外界干扰敏感与测量精度稳定性差的问题,文中针对该问题开发与设计了一种基于反馈的交流激励式电容测量电路,在电容前端加一反馈,具体为输出电压的倍数加入到初始输入,接着检波采用的是模拟乘法器与低通滤波器,最后得到采集的测量值。对该电路进行实验验证,测量的误差最大为20 nm,分辨率能够在0~650μm内达到30 nm。其结果表明,该电路具有较高的精度与稳定性,满足了电容微测系统的要求。 展开更多
关键词 交流激励式 电容测量电路 反馈电路
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