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一种基于CMOS工艺的二维风速传感器的设计和测试 被引量：2
1
作者 高冬晖 秦明 +1 位作者 程海洋 朱昊 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期96-99,110,共5页
给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因... 给出了一种完全基于CMOS工艺的、能同时测量风速和风向的二维测风传感器的结构、工作原理及其测试结果。该传感器采用恒温差工作模式，热堆输出电压平均值反映芯片温度和环境温度的差，省去了测温二极管。风速测量采用热损失型原理．因此不存在速度量程问题；同时通过四周对称分布热堆的相对差分输出得到风向，风向的测试和风速无关。测试电路是由普通运放电路组成的控制和测试系统。经过风洞测试，风速的测量可以达到23m／s，风速分辨率达到0．5m／s，风速的最大误差为0．5m／s。传感器的反应时间为3～5秒，整个功率损耗约为50mW。 展开更多
关键词 二维风速传感器 风向传感器 恒温差模式 互补金属氧化物半导体工艺
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二维MEMS风速风向传感器的设计与测试 被引量：2
2
作者 沈广平 吴剑 +2 位作者 张骅 秦明 黄庆安 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期285-287,共3页
给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方... 给出一种基于MEMS工艺的二维风速风向传感器的设计、制造以及测试结果。该传感器加热电阻采用圆形结构,四个测温电阻对称分布在芯片四周。传感器芯片在玻璃衬底上采用两步MEMS剥离工艺加工,加工工艺简单可靠。该传感器采用恒功率工作方式,利用热温差原理测量风速和风向。经过风洞测试,传感器可以完成360°风向检测,误差不超过10°。 展开更多
关键词 二维风速传感器 风向传感器 剥离工艺 热温差原理
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CMOS硅风速传感器热性能的分析
3
作者 郁红 刘肃 《微纳电子技术》 CAS 2007年第4期190-194,共5页
给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN141分析和比较了不同控制条件下... 给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型。针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN141分析和比较了不同控制条件下传感器的热性能及其和传感器特征尺寸的关系。最后,通过试验结果验证了模拟的正确性。 展开更多
关键词 二维风速传感器 恒温差模式 恒定功率模式 有限元分析
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二维超声波风速风向传感器风向信号修正方法 被引量：3
4
作者 李静海 曾明 张小内 《传感器与微系统》 CSCD 2016年第11期12-14,22,共4页
针对二维超声波风速风向传感器输出的风向信号普遍存在风向角瞬变的问题,研究了产生风向角瞬变现象的原因,并提出了一种基于幅值—符号分解的风向修正算法。理论分析和实验结果表明:风向信号中的风向角瞬变是由传感器的量程限制造成的;... 针对二维超声波风速风向传感器输出的风向信号普遍存在风向角瞬变的问题,研究了产生风向角瞬变现象的原因,并提出了一种基于幅值—符号分解的风向修正算法。理论分析和实验结果表明:风向信号中的风向角瞬变是由传感器的量程限制造成的;基于幅值—符号分解的风向修正算法能在不改变风向角所表征的方位特征的前提下消除风向角瞬变。 展开更多
关键词 风向信号 二维超声波风速风向传感器 幅值—符号分解 风向修正
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