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激光直写设备调焦伺服控制系统的研究 被引量：12
1
作者 熊木地 肖文礼 邢忠宝 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第1期79-82,共4页
精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划... 精密调焦伺服控制技术属于激光直写设备中的关键技术之一。简要介绍了二元光学激光直写设备的工作原理 ,分析了调焦伺服实现的方法 ,重点分析了由电机与压电陶瓷构成的大范围二级调焦伺服系统的工作原理。提出了采用两点探焦法解决刻划时焦点的跳动问题 ,采用归一化处理消除光强波动对调焦精度的影响。最后 。 展开更多
关键词 二级调焦系统 两点探焦法 激光直写设备
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