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多晶Al_2O_3薄膜的制备及工艺研究 被引量：7
1
作者 刘建 杨东 《真空与低温》 2001年第4期204-206,240,共4页
高能氩离子束溅射金属铝靶 ,沉积在SiO2 基片上的非晶薄膜是Al和Al2 O3的混合物。非晶薄膜在空气中 80 0～ 10 0 0℃退火后将完全氧化并晶化而成γ -Al2 O3、∝ -Al2 O3。对溅射镀膜的工艺条件也进行了探索。
关键词 AL2O3薄膜 溅射 退火 氧化铝 非晶薄膜 镀膜工艺 二氧化硅基片 制备
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溶胶-凝胶法制备SiO_2基片Er^(3+)∶Al_2O_3光学薄膜 被引量：4
2
作者 王兴军 杨涛 +1 位作者 王晶 雷明凯 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期397-400,共4页
用溶胶凝胶法在SiO2 基片上提拉制备了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、差热热重分析仪、X射线衍射仪研究了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜的形貌和结构特性。在 90 0℃烧结后 ,SiO2 基片上提拉 15次形成厚... 用溶胶凝胶法在SiO2 基片上提拉制备了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜。采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、差热热重分析仪、X射线衍射仪研究了掺Er3 + ∶Al2 O3 光学薄膜的形貌和结构特性。在 90 0℃烧结后 ,SiO2 基片上提拉 15次形成厚度 8μm掺摩尔比 0 .0 1Er3 + 的面心立方结构γ Al2 O3 薄膜具有明显 (110 )择优取向 ,掺摩尔比 0 .0 1Er3 + 对γ Al2 O3 的晶体结构和结晶生长过程未产生显著影响。薄膜具有均匀多孔结构 ,平均粒径为 30～ 10 0nm ,平均孔径为 5 0～ 10 0nm ,表面起伏度为 10～ 2 0nm。掺摩尔比 0 .0 1Er3 + ∶γ Al2 O3 薄膜 ,获得了中心波长为1.5 34μm(半峰全宽为 36nm)的光致发光谱。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 二氧化硅基片 铒离子掺杂 三氧化二铝薄膜 晶体结构 结晶生长
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基于紫外光直写技术制作波导布拉格光栅的方法
3
作者 吴亚明 李明 +1 位作者 崔丽萍 李四华 《科技开发动态》 2005年第4期44-44,共1页
该专利是一种基于紫外光直写技术制作波导布拉格光栅的方法。其特征是：采用掺杂锗的二氧化硅基片，利用集成电路工艺在SiO2基片上镀制一层掩模薄膜，并进行光刻，用腐蚀工艺制作出波导布拉格光栅的掩模图形，再利用紫外光源在二氧化硅... 该专利是一种基于紫外光直写技术制作波导布拉格光栅的方法。其特征是：采用掺杂锗的二氧化硅基片，利用集成电路工艺在SiO2基片上镀制一层掩模薄膜，并进行光刻，用腐蚀工艺制作出波导布拉格光栅的掩模图形，再利用紫外光源在二氧化硅基片表面上照射，使得二氧化硅基片的掺锗的波导芯层发生光学折射率变化，从而制作出波导布拉格光栅。 展开更多
关键词 布拉格光栅 技术制作 波导 二氧化硅基片 集成电路工艺 折射率变化 SIO2 工艺制作 紫外光源 再利用 掩模 掺杂 光刻 掺锗
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