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微细光刻中部分相干系统成像研究 被引量:3
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作者 罗先刚 陈旭南 姚汉民 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第12期1703-1710,共8页
分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程,结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和。得出了近年来改进照明条件提高分辨力的物理本质:部分相干成像系统是一个空间频率可变的系统,频率的调制是... 分析了投影光刻系统中部分相干成像的过程,结果表明部分相干成像的像强是相干成像的像强对光源上每一点互相干强度的权重和。得出了近年来改进照明条件提高分辨力的物理本质:部分相干成像系统是一个空间频率可变的系统,频率的调制是通过照明函数的变化来实现的。提出了进一步提高光刻分辨力的新途径。 展开更多
关键词 部分相干成像 二元光栅照明 光刻 微细光刻
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部分相干光倾斜照明成像研究 被引量:4
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作者 罗先刚 陈旭南 姚汉民 《微细加工技术》 1997年第4期55-62,共8页
本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理.建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算.对模拟结果作了分析比较。结果表明,用二元光栅照明较好,既能较大程度提高投影光刻曝光系统的... 本文用部分相干光成像理论研究了提高分辨力及增大焦深的原理.建立了二元光栅倾斜照明成像数理模型。对几种倾斜照明方式进行了模拟计算.对模拟结果作了分析比较。结果表明,用二元光栅照明较好,既能较大程度提高投影光刻曝光系统的分辨力及焦深,又能克服其他照明方式的能量利用率低等缺点。 展开更多
关键词 二元光栅照明 部分相干成像 VLSI 光刻机
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二元光栅照明对光刻系统成象特性的影响
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作者 罗先刚 姚汉民 +1 位作者 陈旭南 冯伯儒 《光电工程》 CAS CSCD 2000年第3期1-3,共3页
针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾 ,详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响 .结果表明 ,二元光栅照明可显著提高光强的对比度 ,改善成象系统的频率传递函数 ,是一种比较理想的离轴照明技术。
关键词 光刻系统 二元光栅照明 成象特性
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光的干涉与衍射
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《中国光学》 EI CAS 1999年第6期6-9,共4页
O436.1 99063533衰荡腔与光的干涉=Ring down cavity and inter-ference of light[会,中]/陈红兵,周金刚,高军毅(中科院安徽光机所.安徽,合肥(230031))∥98’中国青年光学学术讨论会.—陕西,西安,98.07衰荡光谱技术是一种新型的激光光... O436.1 99063533衰荡腔与光的干涉=Ring down cavity and inter-ference of light[会,中]/陈红兵,周金刚,高军毅(中科院安徽光机所.安徽,合肥(230031))∥98’中国青年光学学术讨论会.—陕西,西安,98.07衰荡光谱技术是一种新型的激光光谱技术。它适合于利用可调谐脉冲激光器测量原子。 展开更多
关键词 学术讨论会 衍射光学元件 中国青年 可调谐 国家重点实验室 二元光栅照明 清华大学 衍射效率 中科院 光电工程
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