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二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法
被引量：
2
1
作者
熊木地
张慧敏
+1 位作者
肖文礼
邢忠宝
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期4-6,18,共4页
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判...
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。
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关键词
二元光学元件
激光直写设备
主轴
伺服控制
速度
控制
自适应
控制
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职称材料
题名
二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法
被引量：
2
1
作者
熊木地
张慧敏
肖文礼
邢忠宝
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期4-6,18,共4页
基金
中国科学院重大设备改造项目
文摘
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统 ,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求。在二元光学元件激光直写设备中 ,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一。本文提出了利用离焦信号的特点 ,判断出离焦信号的极值点 ,并计算相邻极值点之间的时间间隔 ,最终估算出离焦信号频带 ,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。
关键词
二元光学元件
激光直写设备
主轴
伺服控制
速度
控制
自适应
控制
Keywords
Binary optics
Laser direct writing
Spindle servo systems
Velocity control
Adaptive control
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
TN24
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法
熊木地
张慧敏
肖文礼
邢忠宝
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
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