期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
辅助离子束对中频孪生磁控反应溅射制备氧化钛光学薄膜的影响
1
作者
望咏林
颜悦
+2 位作者
伍建华
温培刚
张晓锋
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期514-519,共6页
本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜。利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以及退火温度对氧化钛薄膜形貌、光学...
本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜。利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以及退火温度对氧化钛薄膜形貌、光学折射率和消光系数、孔隙率等的影响。结果表明:利用中频孪生磁控溅射的方法将沉积工艺控制在反应过渡区,可以有效的抑制钛靶中毒和阳极消失,反应溅射过程稳定;辅助离子束提高了等离子体的电荷密度;氧化钛薄膜堆积密度和光学折射率也有所提高,薄膜表面趋于平坦,孔隙率降低。氧化钛薄膜在高温退火处理时由于出现从非晶到多晶转变以及晶体长大与转变,结构逐渐趋于完整,表面粗糙度不断增加;800℃时完全转化为金红石相,晶粒直径约70 nm。
展开更多
关键词
氧化钛薄膜磁控反应溅射
中频
孪生
离子束
辅助
沉积
下载PDF
职称材料
题名
辅助离子束对中频孪生磁控反应溅射制备氧化钛光学薄膜的影响
1
作者
望咏林
颜悦
伍建华
温培刚
张晓锋
机构
北京航空材料研究院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期514-519,共6页
基金
国家863项目(No.2008AA03A326)
文摘
本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜。利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以及退火温度对氧化钛薄膜形貌、光学折射率和消光系数、孔隙率等的影响。结果表明:利用中频孪生磁控溅射的方法将沉积工艺控制在反应过渡区,可以有效的抑制钛靶中毒和阳极消失,反应溅射过程稳定;辅助离子束提高了等离子体的电荷密度;氧化钛薄膜堆积密度和光学折射率也有所提高,薄膜表面趋于平坦,孔隙率降低。氧化钛薄膜在高温退火处理时由于出现从非晶到多晶转变以及晶体长大与转变,结构逐渐趋于完整,表面粗糙度不断增加;800℃时完全转化为金红石相,晶粒直径约70 nm。
关键词
氧化钛薄膜磁控反应溅射
中频
孪生
离子束
辅助
沉积
Keywords
TiO2 thin film, Magnetron reactive sputtering, MF twin, Ion-beam assistance
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
TK514 [理学—物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
辅助离子束对中频孪生磁控反应溅射制备氧化钛光学薄膜的影响
望咏林
颜悦
伍建华
温培刚
张晓锋
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
