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大口径光学元件斜入射反射波前误差测量和计算
被引量：
1
1
作者
徐隆波
周游
+2 位作者
朱日宏
刘世杰
郑万国
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3027-3032,共6页
针对测量高功率激光驱动装置中大口径矩形反射光学元件的波前误差时测量角度和使用角度不完全相同引入的测量误差,提出了将测量角度下的反射波前转换到使用角度的反射波前的换算及恢复方法。首先分析了将斜入射测量角度下的波前转换到...
针对测量高功率激光驱动装置中大口径矩形反射光学元件的波前误差时测量角度和使用角度不完全相同引入的测量误差,提出了将测量角度下的反射波前转换到使用角度的反射波前的换算及恢复方法。首先分析了将斜入射测量角度下的波前转换到使用角度下波前的余弦换算方法,得到了实际测量角度与实际使用角度下的波前误差计算关系;然后计算并分析了双三次插值算法本身引起的中频PSD1(功率谱密度)误差,指出在满足有效口径测量的情况下,选择的入射角度应该与实际使用的角度尽可能的相接近。最后,基于410mm×410mm的熔石英反射镜开展了误差分析和实验验证。利用该方法将0°反射波前换算到45°反射波前,并将得到的测试结果与45°直接测量得到的测试结果进行了比较。结果显示上述结果的PV值相差0.01λ,RMS值相差0.003λ,PSD1值相差0.08nm;表明该换算方法不仅能够准确计算出使用角度下反射波前的低频误差,而且能获得相对准确的中频段PSD1误差。
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关键词
高功率激光装置
大口径光学元件
反射波前
波前
误差
双三次插值
中
低频
误差
下载PDF
职称材料
惯性约束聚变系统中米量级光学元件波面误差检测技术研究进展
被引量：
3
2
作者
徐隆波
周游
+1 位作者
朱日宏
刘世杰
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016年第12期1-10,共10页
介绍了惯性约束聚变系统中米量级光学元件的中低频波面误差检测技术及其研究进展,包括大口径Fizeau干涉仪直接检测法、瑞奇-康芒检测法、斜入射检测法和子孔径拼接检测法。阐述了各种检测方法引入的测量误差及误差消除方法,对进一步提...
介绍了惯性约束聚变系统中米量级光学元件的中低频波面误差检测技术及其研究进展,包括大口径Fizeau干涉仪直接检测法、瑞奇-康芒检测法、斜入射检测法和子孔径拼接检测法。阐述了各种检测方法引入的测量误差及误差消除方法,对进一步提高波面误差测量精度的必要性和方法进行了展望。
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关键词
激光技术
中
低频
波面
误差
干涉检测
测量
误差
原文传递
题名
大口径光学元件斜入射反射波前误差测量和计算
被引量：
1
1
作者
徐隆波
周游
朱日宏
刘世杰
郑万国
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
中国工程物理研究院
中国科学院强激光材料重点实验室
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第12期3027-3032,共6页
基金
国家自然科学基金青年科学基金资助项目(No.11602280)
文摘
针对测量高功率激光驱动装置中大口径矩形反射光学元件的波前误差时测量角度和使用角度不完全相同引入的测量误差,提出了将测量角度下的反射波前转换到使用角度的反射波前的换算及恢复方法。首先分析了将斜入射测量角度下的波前转换到使用角度下波前的余弦换算方法,得到了实际测量角度与实际使用角度下的波前误差计算关系;然后计算并分析了双三次插值算法本身引起的中频PSD1(功率谱密度)误差,指出在满足有效口径测量的情况下,选择的入射角度应该与实际使用的角度尽可能的相接近。最后,基于410mm×410mm的熔石英反射镜开展了误差分析和实验验证。利用该方法将0°反射波前换算到45°反射波前,并将得到的测试结果与45°直接测量得到的测试结果进行了比较。结果显示上述结果的PV值相差0.01λ,RMS值相差0.003λ,PSD1值相差0.08nm;表明该换算方法不仅能够准确计算出使用角度下反射波前的低频误差,而且能获得相对准确的中频段PSD1误差。
关键词
高功率激光装置
大口径光学元件
反射波前
波前
误差
双三次插值
中
低频
误差
Keywords
high power laser device
large optics
reflection wavefront
wavefront error
bicubic in-terpolation
mid-low frequency error
分类号
TH703 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
惯性约束聚变系统中米量级光学元件波面误差检测技术研究进展
被引量：
3
2
作者
徐隆波
周游
朱日宏
刘世杰
机构
南京理工大学电子工程与光电技术学院
中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室
出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016年第12期1-10,共10页
文摘
介绍了惯性约束聚变系统中米量级光学元件的中低频波面误差检测技术及其研究进展,包括大口径Fizeau干涉仪直接检测法、瑞奇-康芒检测法、斜入射检测法和子孔径拼接检测法。阐述了各种检测方法引入的测量误差及误差消除方法,对进一步提高波面误差测量精度的必要性和方法进行了展望。
关键词
激光技术
中
低频
波面
误差
干涉检测
测量
误差
Keywords
laser technique
low and medium frequency wavefront aberration
interferometric detection
measurement error
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大口径光学元件斜入射反射波前误差测量和计算
徐隆波
周游
朱日宏
刘世杰
郑万国
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
下载PDF
职称材料
2
惯性约束聚变系统中米量级光学元件波面误差检测技术研究进展
徐隆波
周游
朱日宏
刘世杰
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2016
3
原文传递
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