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二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作
被引量：
6
1
作者
崔乃迪
梁静秋
+3 位作者
梁中翥
周建伟
宁永强
王维彪
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期2549-2556,共8页
为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带,经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角...
为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带,经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角晶格空气孔型光子晶体波导结构的TE波禁带,经对比发现归一化频率为0.295 7的缺陷态最适宜用来制备光子晶体波导,并据此设计了用于1.55μm波长的二维三角晶格空气孔型光子晶体波导,其晶格周期为458nm,空气孔直径为339 nm。对设计的结构参数进行了容差计算,结果表明误差在-3.95~5.65 nm方能满足设计要求。最后使用聚焦离子束刻蚀工艺,制作了所设计的波导结构,并进行了测试。测试结果表明,样品实际晶格周期为463nm,空气孔直径为344 nm,比设计值大5 nm,在容差允许范围内,满足设计要求。
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关键词
光子晶体
二维光子晶体波导
三角
晶格
空气
孔
聚焦离子束刻蚀
下载PDF
职称材料
题名
二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作
被引量：
6
1
作者
崔乃迪
梁静秋
梁中翥
周建伟
宁永强
王维彪
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第12期2549-2556,共8页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60877031)
文摘
为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导,研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开法计算了两种空气孔型光子晶体结构的TE波禁带,经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算了引入缺陷后二维三角晶格空气孔型光子晶体波导结构的TE波禁带,经对比发现归一化频率为0.295 7的缺陷态最适宜用来制备光子晶体波导,并据此设计了用于1.55μm波长的二维三角晶格空气孔型光子晶体波导,其晶格周期为458nm,空气孔直径为339 nm。对设计的结构参数进行了容差计算,结果表明误差在-3.95~5.65 nm方能满足设计要求。最后使用聚焦离子束刻蚀工艺,制作了所设计的波导结构,并进行了测试。测试结果表明,样品实际晶格周期为463nm,空气孔直径为344 nm,比设计值大5 nm,在容差允许范围内,满足设计要求。
关键词
光子晶体
二维光子晶体波导
三角
晶格
空气
孔
聚焦离子束刻蚀
Keywords
photonic crystal
two-dimensional photonic crystal waveguide
triangular lattice air hole
focused ion beam etching
分类号
O734 [理学—晶体学]
TN252 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作
崔乃迪
梁静秋
梁中翥
周建伟
宁永强
王维彪
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
6
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职称材料
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