期刊文献+
共找到6篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
基于扫描白光干涉法的表面三维轮廓仪 被引量:19
1
作者 何永辉 蒋剑峰 赵万生 《光学技术》 CAS CSCD 2001年第2期150-152,155,共4页
在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了... 在强调表面三维形貌测量重要性的基础上 ,介绍了利用扫描白光干涉法测量表面三维微观形貌的原理及三维轮廓仪测量系统的构成。通过给出的几个测量实例 ,反映了该三维轮廓仪的主要特点 ,适合于大范围、高精度、阶梯面的测量。最后分析了影响其测量精度的主要因素。 展开更多
关键词 表面三维微观形貌测量 白光干涉 扫描白光干涉法 三维轮廓仪
原文传递
基于隧道效应的nm级三维轮廓仪的研究 被引量:7
2
作者 张鸿海 曹传 +1 位作者 师汉民 陈日曜 《华中理工大学学报》 CSCD 北大核心 1996年第4期4-7,共4页
介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的nm级三维轮廓仪.其纵向分辨率可达002nm,横向分辨率可达02nm,扫描范围分别达到40μm×40μm和140μm×140μm.可直接对φ50mm和φ130mm的... 介绍两种不同结构形式的基于电子隧道效应的nm级三维轮廓仪.其纵向分辨率可达002nm,横向分辨率可达02nm,扫描范围分别达到40μm×40μm和140μm×140μm.可直接对φ50mm和φ130mm的大尺寸样品表面进行nm级的超微观形貌检测与分析. 展开更多
关键词 超精密测量 nm级形貌 隧道效应 三维轮廓仪
下载PDF
加工45钢下切削力对表面质量的影响
3
作者 侯献军 《山西冶金》 CAS 2024年第1期25-26,共2页
在机械制造中,切削力对加工质量有较大影响,不规则的切削力会加剧刀具磨损、降低表面光洁度。为了延长刀具寿命、提高零件的表面质量,进行45号钢切削实验研究。在加工过程中采用切削力分析仪进行数据采集,通过三维轮廓仪进行零件表面质... 在机械制造中,切削力对加工质量有较大影响,不规则的切削力会加剧刀具磨损、降低表面光洁度。为了延长刀具寿命、提高零件的表面质量,进行45号钢切削实验研究。在加工过程中采用切削力分析仪进行数据采集,通过三维轮廓仪进行零件表面质量检测,对二者的相互关联进行对比分析,得出合理的车削力与表面质量的关联性。 展开更多
关键词 切削力 切削力分析 表面质量 三维轮廓仪
下载PDF
Development of three-dimensional profiler for large field micro-surface topography measurement
4
作者 张红霞 张以谟 +2 位作者 井文才 贾大功 黄岑 《Optoelectronics Letters》 EI 2009年第4期292-294,共3页
This paper presents a large field phase-shifting interference microscope for micro-surface topography measurement.A PZT is used as the Z-directional phase shifter.The interference microscope is the combination of the ... This paper presents a large field phase-shifting interference microscope for micro-surface topography measurement.A PZT is used as the Z-directional phase shifter.The interference microscope is the combination of the infinity tube microscope with the Mirau two-beam interferometer.Two-dimensional precision motorized stage is aligned as the scanning system in the X-and Y-direction to extend the test surface measurement range to 12.5 mm ×12.5 mm.The minimum displacement is 0.039 μm and the overlapped proportion is 0.22.A fast stitching algorithm is proposed based on grid matching.According to the reflectivity of the core and the ferrule,the plate with the transmission/reflectivity ratio of 70/30 is selected to balance the interference intensity.The instrument is proved to be valid by actual measurement of the end surface of an optical fiber connector. 展开更多
关键词 表面形貌 测量范围 三维轮廓仪 干涉显微镜 甲基丙烯酸甲酯 双光束干涉 光纤连接器 相移干涉
原文传递
Influence of alloy components on arc erosion morphology of Ag/MeO electrical contact materials 被引量:8
5
作者 吴春萍 易丹青 +2 位作者 翁桅 李素华 周孑民 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2016年第1期185-195,共11页
Arc erosion morphologies of Ag/MeO(10) electrical contact materials after 50000 operations under direct current of 19 V and 20 A and resistive load conditions were investigated using scanning electron microscope(SE... Arc erosion morphologies of Ag/MeO(10) electrical contact materials after 50000 operations under direct current of 19 V and 20 A and resistive load conditions were investigated using scanning electron microscope(SEM) and a 3D optical profiler(3DOP). The results indicated that 3DOP could supply clearer and more detailed arc erosion morphology information. Arc erosion resistance of Ag/SnO_2(10) electrical contact material was the best and that of Ag/CuO(10) was the worst. Arc erosion morphology of Ag/MeO(10) electrical contact materials mainly included three different types. Arc erosion morphologies of Ag/ZnO(10) and Ag/SnO_2(10) electrical contact materials were mainly liquid splash and evaporation, and those of Ag/CuO(10) and Ag/CdO(10) were mainly material transfer from anode to cathode. Arc erosion morphology of Ag/SnO_2(6)In_2O_3(4) electrical contact materials included both liquid splash, evaporation and material transfer. In addition, the formation process and mechanism on arc erosion morphology of Ag/MeO(10) electrical contact materials were discussed. 展开更多
关键词 Ag/MeO electrical contact material alloy component arc erosion morphology three-dimensional optical profiler
下载PDF
环境、环境影响与控制
6
《电子科技文摘》 2001年第10期7-7,共1页
SPIE-Vol.3784 01163711999年SPIE会议录,Vol.3784:粗糙表面散射与污染=1999 proceedings of SPIE,Vol.3784:Rough surfacescattering and contamination[会,英]/SPIE-The Interna-tional Society for Optical Engineering.—1999.—404... SPIE-Vol.3784 01163711999年SPIE会议录,Vol.3784:粗糙表面散射与污染=1999 proceedings of SPIE,Vol.3784:Rough surfacescattering and contamination[会,英]/SPIE-The Interna-tional Society for Optical Engineering.—1999.—404P.(EC)本会议录收集了于1999年7月21~23日在科罗拉多州Denver召开的粗糙表面散射与污染会议上发表的39篇论文,内容涉及航天器污染控制,监测与测量技术,表面粗糙度测量,散射理论与分析,斑点互作用与散射测量,表面缺陷散射微分强度探测,非接触高精确表面三维轮廓仪,沥青质光谱研究。Y2001-62801 01163722000年IEEE地球科学与遥感国际会议录,卷1=2000 IEEE international geoscience and remote sensingsymposium,Vol.1 of 7[会,英]/IEEE Geoscience andRemote Sensing Society.—IEEE,2000.—450P.(EC) 展开更多
关键词 表面散射 会议录 国际会议 表面粗糙度测量 污染控制 三维轮廓仪 非接触 光谱研究 地球科学 表面缺陷
原文传递
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部