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RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析
1
作者
龙海波
张跃江
冯正和
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期1308-1312,共5页
本文扩展了部分元等效电路（PEEC）法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而...
本文扩展了部分元等效电路（PEEC）法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而引人电磁场滞后效应,使得在较大尺寸器件和较高频段时仍能保证PEEC法的高精度.这些改进降低了分析的复杂度和计算量,并保持了高精度.根据该方法编制的程序的数值结果与已发表的实验数据吻合得很好.
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关键词
RF-MEMS电感
三维
衬底
耦合
PEEC
射频微机电系统
部分元等效电路法
电感矩阵
电容矩阵
下载PDF
职称材料
题名
RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析
1
作者
龙海波
张跃江
冯正和
机构
清华大学电子工程系微波与数字通信国家重点实验室
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第9期1308-1312,共5页
基金
973国家重点基础研究基金项目(No. G1999033105)
国家自然科学基金项目(No.6017015)
文摘
本文扩展了部分元等效电路（PEEC）法来分析RF-MEMS电感的三维结构衬底耦合.将电边界条件引入PEEC法中,从而得到包含了衬底耦合的电容矩阵;通过电荷源等效使得在部分元的计算中能应用均匀介质空间的格林函数;应用合适的网格单元尺寸而引人电磁场滞后效应,使得在较大尺寸器件和较高频段时仍能保证PEEC法的高精度.这些改进降低了分析的复杂度和计算量,并保持了高精度.根据该方法编制的程序的数值结果与已发表的实验数据吻合得很好.
关键词
RF-MEMS电感
三维
衬底
耦合
PEEC
射频微机电系统
部分元等效电路法
电感矩阵
电容矩阵
Keywords
Boundary conditions
Calculations
Capacitance
Equivalent circuits
Green's function
Inductance
Matrix algebra
Substrates
Three dimensional
分类号
TM55 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
RF-MEMS电感三维衬底耦合的扩展PEEC法分析
龙海波
张跃江
冯正和
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
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