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Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究 被引量：8
1
作者 郭鑫 施玉书 +4 位作者 皮磊 张树 李适 李东升 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第2期141-144,共4页
为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测... 为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量,在普通光学显微镜的基础上改造完成了一台微纳台阶高度测量装置,设计了整体硬件结构,编写了测量控制软件和数据处理软件,并结合Hilbert变换和小波变换实现三维表面形貌测量。使用不同高度的台阶样品进行测试,测试结果表明:系统测量准确度较高,测量重复性较好,垂直测量范围大于50 μm。 展开更多
关键词 计量学 Mirau干涉 微纳台阶高度测量 三维表面形貌测量 白光显微干涉 光学显微镜
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三维表面形貌测量中的共聚焦显微成像技术研究进展 被引量：4
2
作者 王玥颖 刘旭 郝翔 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第8期127-138,共12页
随着精密仪器制造和半导体加工产业的蓬勃发展,对微小结构表面形貌的观察和测量是现代科学研究的一个重要方向。激光扫描共聚焦显微成像技术因高分辨率、高信噪比和优秀的层切能力在三维表面形貌测量领域备受青睐。介绍共聚焦显微成像... 随着精密仪器制造和半导体加工产业的蓬勃发展,对微小结构表面形貌的观察和测量是现代科学研究的一个重要方向。激光扫描共聚焦显微成像技术因高分辨率、高信噪比和优秀的层切能力在三维表面形貌测量领域备受青睐。介绍共聚焦显微成像技术的基本原理,并对适用于三维表面形貌测量领域的共聚焦显微成像方法进行综述,包括共聚焦成像的不同扫描方法、不同探测手段及基于光谱的共聚焦成像技术。最后,对共聚焦显微成像技术未来的发展趋势进行展望。 展开更多
关键词 共聚焦显微成像技术 三维表面形貌测量 扫描成像 轴向定位
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WI VS三维表面形貌测量仪 被引量：3
3
作者 常素萍 谢铁邦 《计量技术》 2006年第12期39-41,共3页
介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-2．0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析，说明了WIVS三维表面形貌测量... 介绍利用纳米计量垂直扫描工作台实现对6JA干涉显微镜的改造，研制出WIVS三维表面形貌测量仪。该仪器能够精确有效地测量Ra值为0．001-2．0μm的三维表面形貌。通过对改造前后的6JA干涉显微镜进行性能分析，说明了WIVS三维表面形貌测量仪能够满足工程表面测量的发展要求。 展开更多
关键词 白光干涉 干涉显微镜 三维表面形貌测量
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不同激光蚀刻技术对陶瓷与复合树脂材料粘接强度的影响研究 被引量：2
4
作者 裴挫萍 《化学与粘合》 CAS 2022年第6期491-495,521,共6页
分析了不同激光蚀刻技术对陶瓷与复合树脂材料粘接强度的影响。通过扫描电镜观测瓷片表面微观形貌变化,利用光干涉三维表面形貌测量系统测量瓷片表面粗糙度,应用万能力学试验机测试瓷片与树脂柱粘接强度。相较于control组与HF组,NY组与E... 分析了不同激光蚀刻技术对陶瓷与复合树脂材料粘接强度的影响。通过扫描电镜观测瓷片表面微观形貌变化,利用光干涉三维表面形貌测量系统测量瓷片表面粗糙度,应用万能力学试验机测试瓷片与树脂柱粘接强度。相较于control组与HF组,NY组与EY组能够有效改变瓷片表面微观形貌,提升瓷片表面粗糙度,增加瓷片与树脂柱粘接强度。综合上述实验数据发现,相较于EY组,NY组瓷片表面微观形貌改变度较大,瓷片表面粗糙度、瓷片与树脂柱粘接强度数值均较高,说明Nd:YAG激光蚀刻技术应用效果优于Er:YAG激光蚀刻应用效果。充分证实Nd:YAG激光蚀刻技术更能提升陶瓷与复合树脂材料粘接强度。 展开更多
关键词 激光蚀刻技术 复合树脂材料 粘接强度 三维表面形貌测量系统
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