期刊文献+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
三氯硅烷的制备及精制工艺进展
1
作者 于剑昆 《无机盐技术》 2006年第4期22-28,共7页
重点描述了三氯硅烷（HSiCl3）的制备和精制工艺．HSiCl3的工业化合成方法主要有Si氨氯化法和SiCl4-H2还原法2种．结合使用先进的精制工艺．产品可满足高端电子产品的需求。同时介绍了HSiCl3的物理和化学性质、应用及经济概况。
关键词 三氯硅烷 三氯氧硅 卤代硅烷 制备 精制
原文传递
已选择0条
导出题录 引用分析
参考文献
引证文献
 统计分析
检索结果
已选文献
上一页 1 下一页 到第 页
使用帮助 返回顶部