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VTE法制备γ-LiAlO_2/α-Al_2O_3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响
1
作者
刘世良
李抒智
+3 位作者
周圣明
王银珍
彭观良
徐军
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期250-254,共5页
通过气相传输平衡法(VTE)制备了γLiAlO2 /αAl2O3 复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11 20)和γ面(1 102)均获得单相多晶的γLiAlO2,...
通过气相传输平衡法(VTE)制备了γLiAlO2 /αAl2O3 复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11 20)和γ面(1 102)均获得单相多晶的γLiAlO2,且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后γLiAlO2 颗粒质量得到改善,白宝石a面上γLiAlO2 的质量优于r面上的γLiAlO,两者都出现颗粒长大现象。
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关键词
VTE法
γ
-
lialo
2/
α
-
al
2
o
3
腐蚀现象
制备方法
退火
气相传输平衡
GAN
氮化镓晶体
热导率
下载PDF
职称材料
题名
VTE法制备γ-LiAlO_2/α-Al_2O_3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响
1
作者
刘世良
李抒智
周圣明
王银珍
彭观良
徐军
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期250-254,共5页
基金
中国科学院百人计划项目资助
文摘
通过气相传输平衡法(VTE)制备了γLiAlO2 /αAl2O3 复合衬底,使用5%的稀盐酸对其进行腐蚀并在900℃退火72h。利用X射线衍射、偏光显微镜及扫描电镜对复合衬底进行了分析,发现在白宝石a面(11 20)和γ面(1 102)均获得单相多晶的γLiAlO2,且后者的择优取向好于前者。腐蚀可以提高样品的择优取向,在5%的稀盐酸中,时间控制在2min左右可获得较好的结果。退火后γLiAlO2 颗粒质量得到改善,白宝石a面上γLiAlO2 的质量优于r面上的γLiAlO,两者都出现颗粒长大现象。
关键词
VTE法
γ
-
lialo
2/
α
-
al
2
o
3
腐蚀现象
制备方法
退火
气相传输平衡
GAN
氮化镓晶体
热导率
Keywords
γ
-
lialo
_2/
α
-
al
_2
o
_3
c
o
mp
o
und substrates
VTE
er
o
si
o
n
anne
al
ing
分类号
O78 [理学—晶体学]
O793
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
VTE法制备γ-LiAlO_2/α-Al_2O_3复合衬底以及腐蚀和退火对其影响
刘世良
李抒智
周圣明
王银珍
彭观良
徐军
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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