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四价金属元素锆(Zr)对氧化铁薄膜气敏特性的影响 被引量：2
1
作者 柴常春 彭军 镇桂芹 《传感器技术》 CSCD 1996年第2期15-18,共4页
对用常压化学气相淀积（ＡＰＣＶＤ）工艺制备的纯α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜和掺锆（Ｚｒ）α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜的气敏特性进行了研究。实验表明掺Ｚｒ是改善α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜材料气敏特性的一种有效途径。
关键词 α-fe_(2)o_(3)薄膜 掺锆 气敏特性
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三氧化二铁外延薄膜的制备及贯穿位错表征
2
作者 陶昂 姚婷婷 +3 位作者 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期410-416,共7页
氧化物薄膜中贯穿位错的类型和密度对其物理与化学性质具有重要影响。本文利用脉冲激光沉积技术在Al_(2)O_(3)(0001)和SrTiO_(3)(111)衬底上分别生长了α⁃Fe_(2)O_(3)外延薄膜,并利用X射线衍射、原子力显微镜和透射电子显微术对不同温... 氧化物薄膜中贯穿位错的类型和密度对其物理与化学性质具有重要影响。本文利用脉冲激光沉积技术在Al_(2)O_(3)(0001)和SrTiO_(3)(111)衬底上分别生长了α⁃Fe_(2)O_(3)外延薄膜,并利用X射线衍射、原子力显微镜和透射电子显微术对不同温度下生长的薄膜其相结构、结晶度、表面形态和位错类型等进行了系统的表征。结果表明:生长温度对Al_(2)O_(3)衬底上薄膜的质量影响很小,而对SrTiO_(3)衬底上薄膜的质量影响显著,Al_(2)O_(3)衬底上薄膜的结晶度和表面平整度普遍优于SrTiO_(3)衬底上的薄膜;Al_(2)O_(3)衬底上薄膜中的贯穿位错为1/3<1100>刃型不全位错,而SrTiO_(3)衬底上薄膜中的贯穿位错不仅包含1/3<1100>刃型不全位错,还有1/3<1101>混合型全位错。 展开更多
关键词 α⁃fe_(2)o_(3)薄膜 脉冲激光沉积 薄膜生长 贯穿位错
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溅射Au对SnO_2/Fe_2O_3薄膜气敏特性的影响 被引量：3
3
作者 马晓翠 阎大卫 肖智博 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期4-7,共4页
通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最... 通过直流溅射Au对PCVD方法制备的SnO2/Fe2O3双层薄膜的SnO2表面进行了修饰,并对修饰后的Au SnO2/Fe2O3薄膜的气敏特性进行了观测。结果表明,Au的催化作用使Au SnO2/Fe2O3薄膜气敏器件对CO,H2,C2H5OH等气体的灵敏度增大2～3倍,相应于最大灵敏度的工作温度均降低约60℃。这显示直流溅射Au是改善SnO2/Fe2O3双层薄膜气敏性能的一种有效手段。 展开更多
关键词 Sno2/fe2o3薄膜 气敏特性 双层薄膜 气体传感器 溅射 表面修饰 氧化铁 氧化锡
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