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三氧化二铁外延薄膜的制备及贯穿位错表征
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作者 陶昂 姚婷婷 +3 位作者 江亦潇 陈春林 马秀良 叶恒强 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第4期410-416,共7页
氧化物薄膜中贯穿位错的类型和密度对其物理与化学性质具有重要影响。本文利用脉冲激光沉积技术在Al_(2)O_(3)(0001)和SrTiO_(3)(111)衬底上分别生长了α⁃Fe_(2)O_(3)外延薄膜,并利用X射线衍射、原子力显微镜和透射电子显微术对不同温... 氧化物薄膜中贯穿位错的类型和密度对其物理与化学性质具有重要影响。本文利用脉冲激光沉积技术在Al_(2)O_(3)(0001)和SrTiO_(3)(111)衬底上分别生长了α⁃Fe_(2)O_(3)外延薄膜,并利用X射线衍射、原子力显微镜和透射电子显微术对不同温度下生长的薄膜其相结构、结晶度、表面形态和位错类型等进行了系统的表征。结果表明:生长温度对Al_(2)O_(3)衬底上薄膜的质量影响很小,而对SrTiO_(3)衬底上薄膜的质量影响显著,Al_(2)O_(3)衬底上薄膜的结晶度和表面平整度普遍优于SrTiO_(3)衬底上的薄膜;Al_(2)O_(3)衬底上薄膜中的贯穿位错为1/3<1100>刃型不全位错,而SrTiO_(3)衬底上薄膜中的贯穿位错不仅包含1/3<1100>刃型不全位错,还有1/3<1101>混合型全位错。 展开更多
关键词 α⁃fe_(2)o_(3)薄膜 脉冲激光沉积 薄膜生长 贯穿位错
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