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玻璃基板上的微细图形形成技术
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作者 蔡积庆（编译） 《印制电路信息》 2010年第7期21-25,共5页
概述了平滑玻璃基板上的微细图形形成技术以及纳米多孔ZnO膜,弱酸性铅催化液和弱酸性乙酸铜镀铜液的开发,可以在玻璃/ZnO中间层化学镀铜层/乙酸铜镀铜层/硫酸铜镀铜层上采用减成法形成L/S=100μm/100μm的微细铜电路图形。
关键词 ZnO膜 玻璃基板 微细图形 弱酸性铅催化液 弱酸性乙酸铜镀铜液 化学镀铜
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