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题名电源功率对SiO_x薄膜包装材料阻隔性影响的研究
被引量：1
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作者
张博
孙智慧
林晶
刘壮
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机构
哈尔滨商业大学轻工学院
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出处
《哈尔滨商业大学学报（自然科学版）》
CAS
2009年第2期207-209,233,共4页
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基金
国家"十一五"科技支撑计划课题资助(2006BAD05A05)
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文摘
研究了电源功率对磁控溅射制备的SiOx薄膜阻隔性的影响,获得了电源功率与薄膜阻隔性的变化曲线.实验结果表明,电源功率与SiOx薄膜的阻隔性成非线性关系,在电源功率为1 600 W时SiOx薄膜阻隔性最好,透氧率为0.01 cm3/(m2.kPa.24h),透湿率为0.003 g/(m2.kPa.24h).通过对3组不同电源功率下SiOx薄膜的红外光谱进行检测分析,得到薄膜的阻隔性与SiOx分子结构有关,x(1≤x≤2)越大阻隔性越好,x=2时,SiOx分子结构形成的薄膜阻隔性最好.
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关键词
SIOX
磁控溅射
电源功率
透氧率
透湿率
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Keywords
SiOx
power supply
barrier properties
oxygen permeation rate
water vapor permeation rate
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分类号
TB484
[一般工业技术—包装工程]
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