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斜切基片上溅射生长高密度小尺寸Ge纳米点的研究
被引量:
2
1
作者
杨杰
王茺
+1 位作者
陶东平
杨宇
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期1292-1294,共3页
采用离子束溅射技术,在斜切的单晶Si基底上生长了高密度的小尺寸Ge纳米点。系统研究了斜切基底上的表面台阶对Ge纳米点生长初期表面原子吸附行为的影响,以及斜切基片上Ge纳米点随原子沉积量的演变规律。实验结果表明,在斜切基片上原子...
采用离子束溅射技术,在斜切的单晶Si基底上生长了高密度的小尺寸Ge纳米点。系统研究了斜切基底上的表面台阶对Ge纳米点生长初期表面原子吸附行为的影响,以及斜切基片上Ge纳米点随原子沉积量的演变规律。实验结果表明,在斜切基片上原子级的表面台阶能有效地抑制吸附原子的表面扩散。因此,有利于Ge纳米点的形核,并抑制纳米点的过度长大,从而获得高密度、小尺寸的Ge纳米点。
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关键词
Ge纳米点
离子束溅射
斜切基片
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职称材料
题名
斜切基片上溅射生长高密度小尺寸Ge纳米点的研究
被引量:
2
1
作者
杨杰
王茺
陶东平
杨宇
机构
昆明理工大学冶金与能源工程学院
云南大学工程技术研究院光电信息材料研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期1292-1294,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(10964016
10990103)
+1 种基金
教育部重点资助项目(210207)
云南省社会发展自然科学基金资助项目(2008CC012)
文摘
采用离子束溅射技术,在斜切的单晶Si基底上生长了高密度的小尺寸Ge纳米点。系统研究了斜切基底上的表面台阶对Ge纳米点生长初期表面原子吸附行为的影响,以及斜切基片上Ge纳米点随原子沉积量的演变规律。实验结果表明,在斜切基片上原子级的表面台阶能有效地抑制吸附原子的表面扩散。因此,有利于Ge纳米点的形核,并抑制纳米点的过度长大,从而获得高密度、小尺寸的Ge纳米点。
关键词
Ge纳米点
离子束溅射
斜切基片
Keywords
Ge
nanodots
ion-beam
sputtering
vicinal
si
(
001
)
substrate
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
斜切基片上溅射生长高密度小尺寸Ge纳米点的研究
杨杰
王茺
陶东平
杨宇
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
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职称材料
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