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振动式微陀螺正交误差自补偿方法
被引量:
8
1
作者
刘学
陈志华
+4 位作者
肖定邦
吴学忠
苏剑彬
侯占强
贺琨
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1221-1225,共5页
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正...
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正交误差闭环控制自补偿方法。通过将经正交误差幅值调幅控制的驱动位移信号闭环反馈作用到检测模态的输出,实现正交误差的自补偿。制作PCB电路测试了微陀螺的性能。正交误差自补偿后微陀螺零偏输出均值从778 mV减小到了2 mV,零偏稳定性从75°/h提高到了34.5°/h。实验结果表明,此方法是可行的。
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关键词
微机电系统
正交误差
自补偿
振动式微陀螺
交叉耦合
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职称材料
题名
振动式微陀螺正交误差自补偿方法
被引量:
8
1
作者
刘学
陈志华
肖定邦
吴学忠
苏剑彬
侯占强
贺琨
机构
国防科学技术大学机电工程与自动化学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第9期1221-1225,共5页
基金
基于弹性波传递效应的杯型波动陀螺设计理论及制造技术研究(51005239)
基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究(51175506)
文摘
微陀螺正交误差会影响陀螺的零偏稳定性,为了提高微陀螺的性能,必须减小正交误差。针对正交误差处理中存在的问题,推导了包含交叉耦合误差效应的驱动模态和检测模态的动力学方程,研究了交叉耦合误差引起的正交误差表达式,提出了一种正交误差闭环控制自补偿方法。通过将经正交误差幅值调幅控制的驱动位移信号闭环反馈作用到检测模态的输出,实现正交误差的自补偿。制作PCB电路测试了微陀螺的性能。正交误差自补偿后微陀螺零偏输出均值从778 mV减小到了2 mV,零偏稳定性从75°/h提高到了34.5°/h。实验结果表明,此方法是可行的。
关键词
微机电系统
正交误差
自补偿
振动式微陀螺
交叉耦合
Keywords
MEMS
quadrature
error
self-compensation
vibratory
micro
-
gyroscope
cross-coupling
分类号
TN492 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
振动式微陀螺正交误差自补偿方法
刘学
陈志华
肖定邦
吴学忠
苏剑彬
侯占强
贺琨
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
8
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职称材料
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参考文献
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