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题名矢量网络分析仪校准与程控研究
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作者
包敖日格乐
左宁
胡奇威
张光宇
张铎
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2023年第6期33-40,87,共9页
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文摘
射频集成电路晶圆级S参数测试是射频器件制作过程中重要的工艺环节,该测试技术依赖微波探针测试系统,微波探针测试系统由矢量网络分析仪、探针、精密运动工作台、承片卡盘、机器视觉系统、测试电缆等组成。其中矢量网络分析仪是探针测试系统的测量工具,其测量精度和程控效率直接决定了该系统在片测量的准确度和工作效率。对矢量网络分析仪的工作原理、S参数物理意义、校准工艺、测量工艺做了详细地介绍,并给出了矢量网络分析仪上位机程控方法。
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关键词
矢量网络分析仪
S参数
射频器件在片测试
微波探针测试系统
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Keywords
vector network analyzer
S parameter
On-chip testing of RF devices
Microwave probe test system
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分类号
TP393.06
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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题名基于六端口反射计的体声波传感器读出电路
被引量：4
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作者
黄振华
高杨
蔡洵
赵俊武
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机构
西南科技大学信息工程学院
中国工程物理研究院电子工程研究所
重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室
重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期1066-1070,共5页
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基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金资助项目(2014ZA001
2012CJMZZ00009)
+6 种基金
中国工程物理研究院电子工程研究所创新基金资助项目(S20141203)
西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金资助项目(14zxtk01)
西南科技大学研究生创新基金资助项目(14YCX107
14YCX109
14YCX111)
重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金资助项目(2013MS04)
国家自然科学基金资助项目(61574131)
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文摘
由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高的特点,导致其读出电路部分复杂,不易集成,致使体声波传感器的实用性不高。为推进体声波传感器的实用化,该文提出一种基于六端口反射计的体声波传感器读出电路代替使用矢量网络分析仪的原创性设想。采用Agilent公司的射频仿真软件Advanced Design System初步验证了基于六端口反射计的体声波传感器读出电路的可行性,并给出了满足薄膜体声波谐振器的射频输出信号检测要求的六端口网络的电路设计。
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关键词
薄膜体声波谐振器
体声波传感器
六端口网路
读出电路
片上矢量网络分析仪
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Keywords
thin-film bulk acoustic wave resonator
bulk acoustic wave sensor
six-port network
read-out circuit
vector network analyzer on chip
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分类号
TN41
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405
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