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ZnO纳米线的气相沉积制备及场发射特性 被引量:5
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作者 张琦锋 戎懿 +5 位作者 陈贤祥 张耿民 张兆祥 薛增泉 陈长琦 吴锦雷 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1225-1229,共5页
运用气相沉积方法分别在硅片表面和钨针尖上制备了非取向生长的ZnO纳米线,并通过场发射显微镜研究了纳米线样品的平面场发射特性和针尖场发射特性.结果显示,非取向生长的ZnO纳米线薄膜场发射的开启电压和阈值电压所对应的场强分别为4.7... 运用气相沉积方法分别在硅片表面和钨针尖上制备了非取向生长的ZnO纳米线,并通过场发射显微镜研究了纳米线样品的平面场发射特性和针尖场发射特性.结果显示,非取向生长的ZnO纳米线薄膜场发射的开启电压和阈值电压所对应的场强分别为4.7和7.6V/μm,场增强因子达103量级,具有较阵列生长的ZnO纳米线更为优异的场发射能力.非取向生长ZnO纳米线薄膜场发射能力的增强归因于其所具有的稀疏结构避免了强场作用下屏蔽效应的产生,有效地提高了薄膜场发射的电流密度.将ZnO纳米线组装在钨针尖上能够明显地改善针尖的场发射性能,在超高分辨显微探针领域具有良好应用前景. 展开更多
关键词 ZNO 纳米线 气相沉积 场发射
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碳纳米管阵列的气相沉积制备及场发射特性 被引量:3
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作者 张琦锋 于洁 +4 位作者 宋教花 张耿民 张兆祥 薛增泉 吴锦雷 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第4期409-413,共5页
运用酞菁铁热解法气相沉积制备了碳纳米管阵列.所得碳纳米管呈多壁结构.单根碳纳米管的平均直径约为25 nm,长度约4~5μm,且具有很好的准直性.研究了碳纳米管阵列的平面场发射特性,相应的开启电压和阈值电压分别为1.28和2.3 V·μm... 运用酞菁铁热解法气相沉积制备了碳纳米管阵列.所得碳纳米管呈多壁结构.单根碳纳米管的平均直径约为25 nm,长度约4~5μm,且具有很好的准直性.研究了碳纳米管阵列的平面场发射特性,相应的开启电压和阈值电压分别为1.28和2.3 V·μm-1,表明碳纳米管具有很强的场发射能力.利用场发射显微镜观察了碳纳米管阵列的场发射像,发现碳纳米管阵列的场发射主要集中在样品薄膜的边缘部位.这是由于碳纳米管密度过大而产生的屏蔽效应所致. 展开更多
关键词 碳纳米管阵列 气相沉积 制备 场发射特性 屏蔽效应
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Ti(OC_4H_9)_4高温水解气相合成TiO_2超细颗粒 被引量:5
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作者 胡黎明 李春忠 +1 位作者 姚光辉 陈敏恒 《高校化学工程学报》 EI CAS CSCD 1993年第1期68-73,共6页
本文探讨了Ti(OC_4H_9)_4高温气相水解合成TiO_2超细颗粒的新工艺,实验研究了反应物浓度、反应温度和停留时间对粒子性能的影响;将反应界面层模型运用到CVD反应器中,有效地解释了实验规律。
关键词 氧化钛 超细颗粒 气相合成
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Temperature-mediated structural evolution of vapor–phase deposited cyclosiloxane polymer thin films for enhanced mechanical properties and thermal conductivity 被引量:2
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作者 Weiwei Du Jing Tu +4 位作者 Mingjun Qiu Shangyu Zhou Yingwu Luo Wee-Liat Ong Junjie Zhao 《International Journal of Extreme Manufacturing》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第2期216-228,共13页
Polymer-derived ceramic(PDC) thin films are promising wear-resistant coatings for protecting metals and carbon-carbon composites from corrosion and oxidation.However,the high pyrolysis temperature hinders the applicat... Polymer-derived ceramic(PDC) thin films are promising wear-resistant coatings for protecting metals and carbon-carbon composites from corrosion and oxidation.However,the high pyrolysis temperature hinders the applications on substrate materials with low melting points.We report a new synthesis route for PDC coatings using initiated chemical vapor deposited poly(1,3,5-trivinyl-1,3,5-trimethylcyclotrisiloxane)(pV_3D_3) as the precurs or.We investigated the changes in siloxane moieties and the network topology,and proposed a three-stage mechanism for the thermal annealing process.The rise of the connectivity number for the structures obtained at increased annealing temperatures was found with strong correlation to the enhanced mechanical properties and thermal conductivity.Our PDC films obtained via annealing at 850℃ exhibit at least 14.6% higher hardness than prior reports for PDCs synthesized below 1100℃.Furthermore,thermal conductivity up to 1.02 W(mK)^(-1) was achieved at the annealing temperature as low as 700℃,which is on the same order of magnitude as PDCs obtained above 1100℃.Using minimum thermal conductivity models,we found that the thermal transport is dominated by diffusons in the films below the percolation of rigidity,while ultra-short mean-free path phonons contribute to the thermal conductivity of the films above the percolation threshold.The findings of this work provide new insights for the development of wear-resistant and thermally conductive PDC thin films for durable protection coatings. 展开更多
关键词 polymer-derived ceramics vaporphase deposition mechanical properties thermal conductivity thin films
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改性丝光沸石催化二甲醚气相羰化的反应性能 被引量:3
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作者 马宇春 刘仲能 +2 位作者 王德举 任杰 赵多 《分子催化》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期460-465,共6页
对比研究了铜/钾改性丝光沸石、铜改性丝光沸石、H型丝光沸石上二甲醚气相羰化制醋酸甲酯的反应行为,并通过XRD、NH3-TPD、SEM、TEM及FT-IR等对反应前后催化剂进行了表征分析.丝光沸石负载Cu后,改变了反应过程中催化剂上积炭中间物种的... 对比研究了铜/钾改性丝光沸石、铜改性丝光沸石、H型丝光沸石上二甲醚气相羰化制醋酸甲酯的反应行为,并通过XRD、NH3-TPD、SEM、TEM及FT-IR等对反应前后催化剂进行了表征分析.丝光沸石负载Cu后,改变了反应过程中催化剂上积炭中间物种的形态,由石墨状'硬碳'转变为易于消除的'软碳'(结焦),从而提高了羰化反应的活性和稳定性;K改性的Cu/MOR沸石,由于K对沸石表面强酸位的调变,抑制了二次反应的发生,进一步提高了二甲醚气相羰化反应的稳定性. 展开更多
关键词 丝光沸石 二甲醚 气相羰化 积炭
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用汽相沉积氧化铝制备灯丝的研究
6
作者 崔连珍 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第3期282-287,共6页
本文叙述用化学汽相沉积法制备微波电子管灯丝用氧化铝涂层及这种灯丝在各种运用场合下的试验性能。按照热化学反应的一般理论并结合实验条件,对工艺规范的选择进行了讨论。最后,详细分析了影响沉积质量的因素。
关键词 汽相沉积 热辐射 光测高温计
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用汽相沉积氧化铝制备灯丝的研究
7
作者 崔连珍 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第2期282-287,共6页
本文叙述用化学汽相沉积法制备微波电子管灯丝用氧化铝涂层及这种灯丝在各种运用场合下的试验性能。按照热化学反应的一般理论并结合实验条件,对工艺规范的选择进行了讨论。最后,详细分析了影响沉积质量的因素。
关键词 微波管 汽相沉积 灯丝 热辐射
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Scalable fabrication of Bi_(2)O_(2)Se polycrystalline thin film for near-infrared optoelectronic devices applications
8
作者 Bin Liu Hong Zhou 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第10期470-475,共6页
We present a controlled,stepwise formation of layered semiconductor Bi_(2)O_(2)Se thin films prepared via the vapour process by annealing topological insulator Bi_(2)Se3 thin films in low oxygen atmosphere for differe... We present a controlled,stepwise formation of layered semiconductor Bi_(2)O_(2)Se thin films prepared via the vapour process by annealing topological insulator Bi_(2)Se3 thin films in low oxygen atmosphere for different reactions.Photodetectors based on Bi_(2)O_(2)Se thin film show a responsivity of 1.7×10^(4) A/W at a wavelength of 980 nm.Field-effect transistors based on Bi_(2)O_(2)Se thin film exhibit n-type behavior and present a high electron mobility of 17 cm^(2)/V·s.In addition,the electrical properties of the devices after 4 months keeping in the air shows little change,implying outstanding air-stability of our Bi_(2)O_(2)Se thin films.From the obtained results,it is evident that low oxygen annealing is a surprisingly effective method to fabricate Bi_(2)O_(2)Se thin films for integrated optoelectronic applications. 展开更多
关键词 thin films Bi_(2)Se_(3) vapor-phase deposition PHOTODETECTOR Bi_(2)O_(2)Se
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稀土Nd掺杂纳米ZnO薄膜气敏特性 被引量:21
9
作者 李健 白素杰 通拉嘎 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2004年第5期9-11,14,共4页
研究了用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备掺稀土Nd的ZnO薄膜的气敏特性,实验给出,经温度为500℃,时间为45min的氧化、热处理的掺Nd的ZnO薄膜的晶粒尺寸、结构特性均发生变化。随掺Nd质量分数的增大,薄膜的晶粒尺寸从53nm减小至20nm。经... 研究了用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备掺稀土Nd的ZnO薄膜的气敏特性,实验给出,经温度为500℃,时间为45min的氧化、热处理的掺Nd的ZnO薄膜的晶粒尺寸、结构特性均发生变化。随掺Nd质量分数的增大,薄膜的晶粒尺寸从53nm减小至20nm。经掺Nd(质量分数为4.96×10-2)后纳米ZnO薄膜对乙醇气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善。在1.5×10-3体积分数的乙醇气体中最高灵敏度为34,相应的薄膜工作温度为200℃。 展开更多
关键词 真空气相沉积 稀土Nd掺杂 ZNO薄膜 气敏特性 气体传感器
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Parylene敷形涂层 被引量:15
10
作者 吴礼群 《电子机械工程》 2004年第6期51-53,61,共4页
Parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了Parylene涂层的性能,对Parylene涂层的沉积过程、沉积设备和Parylene涂层的应用领域进行了论述,并对Parylene涂层的... Parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了Parylene涂层的性能,对Parylene涂层的沉积过程、沉积设备和Parylene涂层的应用领域进行了论述,并对Parylene涂层的性能与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层的性能进行了比较。 展开更多
关键词 PARYLENE 气相沉积 敷形涂层
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电爆过程中能量密度与爆炸产物变化的关系 被引量:12
11
作者 朱亮 朱锦 毕学松 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期65-69,共5页
电爆应用于材料喷涂有独特优势。电爆过程中爆炸产物的特性及其演变直接影响涂层质量。利用高压电场中金属丝段电爆方法,通过改变初始充电电压和金属丝的直径,调节沉积在金属丝上的能量密度,进行系列电爆试验;同时,利用探针收集电爆过... 电爆应用于材料喷涂有独特优势。电爆过程中爆炸产物的特性及其演变直接影响涂层质量。利用高压电场中金属丝段电爆方法,通过改变初始充电电压和金属丝的直径,调节沉积在金属丝上的能量密度,进行系列电爆试验;同时,利用探针收集电爆过程中的产物并进行显微分析。结果表明,金属丝电爆最初产物中含有液相和气相,随着膨胀距离的增大转变为固相。当基体处在爆炸产物未凝固的膨胀距离内,可得到液相喷涂层或气相喷涂层。提高能量密度可以提高产物中气相的膨胀距离,同时减少产物中液相成分所占比例。当能量密度大于125J/mm3,爆炸产物中液相成分可达5%,气相膨胀距离约为9.5mm。 展开更多
关键词 丝段式电爆 能量密度 气相膨胀距离 气相沉积
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纳米氧化锌材料的制备方法及结构表征 被引量:5
12
作者 黄延伟 姚宁 张兵临 《纳米科技》 2006年第2期46-50,共5页
文章介绍了纳米ZnO材料的常用制备方法,如应用较多的气-固-液法、气相法、水热法和有着较好应用前景的电化学法,以及各类纳米ZnO材料的结构表征,并展望了纳米ZnO材料的发展前景。
关键词 纳米氧化锌 气-固-液法 气相法 水热法 电化学沉积法
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聚对二甲苯的制备及其应用研究进展 被引量:8
13
作者 昝丽娜 《化学推进剂与高分子材料》 CAS 2008年第5期22-25,共4页
聚对二甲苯是一种性能优异的涂层材料。文中主要对聚对二甲苯的制备方法、成膜机理、聚对二甲苯薄膜的性能及其应用领域进行了综述,指出其发展中存在的问题,并对其发展前景进行了展望。
关键词 聚对二甲苯 气相沉积 Gorham过程 应用 制备
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氧化锌纳米线的制备及其应用研究 被引量:4
14
作者 白慧萍 卢旭晓 +2 位作者 谭琳 杨光明 杨云慧 《云南化工》 CAS 2007年第6期49-53,共5页
氧化锌纳米线是一种性能优异的新型功能材料,应用前景广阔。综述了氧化锌纳米线的常用制备方法,如化学气相法、电化学法、溶胶-凝胶法和溶液法,以及近年来新的应用领域和研究前沿。
关键词 氧化锌 纳米材料 化学气相沉积法 光电材料
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超疏水膜层防腐蚀机理及气相法制备技术研究进展 被引量:7
15
作者 张凯 文邦伟 谭勇 《腐蚀科学与防护技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期441-448,共8页
综述了超疏水膜层的防腐蚀机理,分析了超疏水膜层表面微-纳二元粗糙结构、表面能与其疏水性的关系,重点介绍了超疏水膜层表面的气垫效应和毛细效应,并阐述了超疏水膜层对金属的防腐蚀机理和腐蚀破坏机理的研究现状。同时鉴于气相法制备... 综述了超疏水膜层的防腐蚀机理,分析了超疏水膜层表面微-纳二元粗糙结构、表面能与其疏水性的关系,重点介绍了超疏水膜层表面的气垫效应和毛细效应,并阐述了超疏水膜层对金属的防腐蚀机理和腐蚀破坏机理的研究现状。同时鉴于气相法制备技术具备操作简单、成本低、环境友好、适用范围广、制备膜层可重复性好、膜层均匀等优点,综述了3种常用气相法制备超疏水膜层技术—常温常压化学气相沉积技术(常温常压CVD)、等离子化学气相沉积技术(PECVD)和气溶胶辅助化学气相沉积技术(AACVD)的研究进度和各自的优缺点,以及存在的问题。展望了气相法制备技术在超疏水防腐蚀膜层制备中的研究方向。 展开更多
关键词 超疏水 气垫效应 毛细效应 防腐蚀机理 气相法 化学气相沉积
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燃烧火焰法沉积金刚石膜的生长特性 被引量:4
16
作者 陈继锋 侯立 +5 位作者 孙京林 刘尔凯 玄真武 戚立昌 浦新 彭汉德 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 1994年第4期263-268,共6页
我们采用普通的HO2-1型氧-乙炔微型焊炬,沉积出了全范围晶型良好的高质量金刚石膜,并用扫描电镜和激光拉曼散射光谱研究了其生长的区域分布特性。研究表明,金刚石的生长速率、杂质含量及形貌等均呈径向分布,整个生长区域可分... 我们采用普通的HO2-1型氧-乙炔微型焊炬,沉积出了全范围晶型良好的高质量金刚石膜,并用扫描电镜和激光拉曼散射光谱研究了其生长的区域分布特性。研究表明,金刚石的生长速率、杂质含量及形貌等均呈径向分布,整个生长区域可分为中心区、次外环形区和边缘环形区三部分。通过实验和理论上的分析,认为这种金刚石生长的三区分布特性是与火焰中的原子O、-OH基团及内焰与基底交界处各种含碳原子基团如-CH_3、C_2H_2、C_2等在径向上的分布规律相对应的。而这些基团的径向分布则直接受到温度最高且具有很强氧化性的外焰的影响。 展开更多
关键词 薄膜 晶体 气相沉积 金刚石薄膜
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新型涂敷材料Parylene AF_4的研究进展 被引量:5
17
作者 赵宗峰 鲜晓斌 +2 位作者 唐贤臣 帅茂兵 吉祥波 《现代化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期23-27,共5页
Parylene AF4是一种新型的高分子敷型材料,除了拥有Parylene同系列产品的共同性能外,还具有更优异的抗紫外和抗老化性能。系统介绍了Parylene AF4环二体的合成方法、薄膜制备原理和性能参数,并对其研究的热点领域及应用前景进行了展望。
关键词 PARYLENE AF4 涂敷材料 化学气相沉积 沉积动力学
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稀土Nd掺杂纳米SnO_2薄膜气敏特性 被引量:1
18
作者 高燕 李健 +1 位作者 吉雅图 韩菲 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第6期29-31,共3页
用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理,获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜。结果显示掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善。掺Nd5%的SnO... 用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纯SnO2和掺稀土Nd的SnO2薄膜,在500℃氧气气氛条件下进行45min热处理,获得良好的纳米SnO2薄膜和掺稀土Nd的SnO2薄膜。结果显示掺Nd和热处理使纳米SnO2薄膜的结构、导电性能得到一定的改善。掺Nd5%的SnO2薄膜对气体的选择性和灵敏性均得到明显的改善,其中,对丁烷的选择性、灵敏度最好,在体积分数为7.2×10-3时,灵敏度可达到340,但对乙醇、丙酮气体的敏感性较差。 展开更多
关键词 纳米 真空气相沉积 气敏特性 SNO2薄膜 ND掺杂
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一种有机/金属肖特基二极管的实验研究 被引量:2
19
作者 郭文阁 张延曹 +1 位作者 郑建邦 任驹 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期545-550,共6页
提出了一种简单有效的有机/金属肖特基二极管的制备方法:通过简单的真空气相沉积工艺,依次将有机材料PTCDA(C24H8O8)薄膜和金属电极Au蒸镀在透明导电玻璃ITO上.通过在室温条件下对该二极管的电流-电压(I-V)特性的测试发现,其... 提出了一种简单有效的有机/金属肖特基二极管的制备方法:通过简单的真空气相沉积工艺,依次将有机材料PTCDA(C24H8O8)薄膜和金属电极Au蒸镀在透明导电玻璃ITO上.通过在室温条件下对该二极管的电流-电压(I-V)特性的测试发现,其整流系数可达10^4.根据标准肖特基理论以及实验所得电容-频率(C-f)和电容-电压(C-y)的测试结果,得到该有机肖特基势垒高度在0.2~0.3eV范围内. 展开更多
关键词 肖特基二极管 气相沉积 有机薄膜 电容-频率
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掺In纳米ZnO、CdS薄膜结构、光学特性分析 被引量:2
20
作者 吉雅图 李健 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期191-194,共4页
采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜。研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响。实验给出 ,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构 ,ZnO薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小 ,CdS薄膜晶粒... 采用真空气相沉积法在玻璃衬底上制备纳米级ZnO和CdS薄膜。研究掺In和热处理对ZnO、CdS薄膜结构、光学特性的影响。实验给出 ,适当掺杂能够明显改善纳米ZnO、CdS薄膜的物相结构 ,ZnO薄膜的晶粒尺寸随掺杂含量的增加而减小 ,CdS薄膜晶粒尺寸随掺杂含量的增加而变大 ,但薄膜的光透射性有所降低。在短波范围内 ,ZnO薄膜的光透率好于CdS薄膜 ;在 5 0 0nm~ 1 0 0 0nm范围内 ,CdS薄膜的光透率好。掺In后ZnO薄膜的光学带宽从 3 2eV减小至 2 85eV ;掺In后CdS薄膜光学带宽从 2 4 2eV减小至 2 35eV。 展开更多
关键词 薄膜太阳电池 真空气相沉积 物相结构 光学特性 纳米薄膜 ZNO CDS 掺杂
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