高精度真空材料放气测试研究 被引量：11

1

作者 罗艳 王魁波 +1 位作者 吴晓斌 王宇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期251-257,共7页

材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空... 材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气率测试方法。其独特的系统设计与加工并配备先进的泵阀计组件,使系统获得无污染清洁的超高真空,极限真空度最低达6.8×10^(-9)Pa。低的本底真空进一步降低了系统的放气率测量下限,三种方法的测量下限依次可达:6.20×10^(-12),2.90×10^(-12)和2.78×10^(-12)Pa·m^3/(s·cm^2)。针对三种方法,对应选取聚四氟乙烯(PTFE)、304和316 L不锈钢作为样品,测试了不同时间的放气率。测试结果表明:三类样品10 h内的总放气率分别在10^(-8),10^(-11)和10-12Pa·m^3/(s·cm^2)数量级,对应的最大测量不确定度分别为9.4%,12.5%和13.8%。结合四极质谱计,进一步获得样品的放气组分和PTFE各组分的放气分率,总放气率和放气分率均随抽气时间的增加而下降。 展开更多

关键词 真空材料 放气率 测试方法 极限真空 放气组分

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真空材料放气率高精度测量装置 被引量：1

2

作者 李津铭 王进伟 +1 位作者 刘俊男 陈明 《真空》 CAS 2023年第4期60-64,共5页

介绍了上海光源二期线站工程机械真空辅助实验室研制的一套基于双通道气路转换法的真空材料放气率高精度测量装置,对同步辐射真空系统中常见的无氧铜材料样品开展放气率测试研究。实验测量并计算得出样品与本底和本底在不同温度状态、... 介绍了上海光源二期线站工程机械真空辅助实验室研制的一套基于双通道气路转换法的真空材料放气率高精度测量装置,对同步辐射真空系统中常见的无氧铜材料样品开展放气率测试研究。实验测量并计算得出样品与本底和本底在不同温度状态、排气时间、气路转换后的放气量。结果显示,经72h,150℃高温烘烤后的无氧铜放气率为3.06×10^(-12)Pa·m^(3)·s^(-1)·cm^(-2),表明装置具有较高的放气率测试精度,可以满足同步辐射装置对超高真空材料放气率的测量要求。 展开更多

关键词 真空材料 放气率 双通道气路转换法

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极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究 被引量：4

3

作者 罗艳 王魁波 吴晓斌 《质谱学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期392-398,共7页

水蒸气(H_2O)和碳氢化合物(C_xH_y)的放气分率是评价极紫外光刻机(EUVL)真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相同的四极质谱计,这不仅大大增加了测试设备造价,而且会导致测试结果存在误差。为解决这一问题,... 水蒸气(H_2O)和碳氢化合物(C_xH_y)的放气分率是评价极紫外光刻机(EUVL)真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相同的四极质谱计,这不仅大大增加了测试设备造价,而且会导致测试结果存在误差。为解决这一问题,本文仅采用1个四极质谱计,设计了一种EUVL真空材料评价装置。采用该装置测试了碳纤维增强树脂基复合材料层压板(CFRP板)和玻璃陶瓷板(GC板)在不同时间的放气组分、总放气率和放气分率。结果表明,CFRP板放出大量的H_2O和C_xH_y;虽然C_xH_y放气分率比H_2O下降快,但经10h抽真空后,CFRP板仍可放出大量C_xH_y,且其总放气率高于经验阈值;GC板置于真空1h后就不再放出C_xH_y,且其总放气率低于经验阈值;因此GC板比CFRP板更适用于极紫外光刻机真空系统。基于单质谱的放气分率测试方法可用于指导极紫外光刻机真空材料的选择。 展开更多

关键词 极紫外光刻机(EUVL) 真空材料 放气分率 四极质谱计(QMS)

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真空管道TiN膜热出气率实验研究 被引量：4

4

作者 王勇 张耀锋 +3 位作者 尉伟 范乐 王建平 耿会平 《真空》 CAS 北大核心 2007年第4期59-61,共3页

简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射镀TiN膜热出气率情况的各种因素进行了分析,为使用溅射镀TiN膜表面处理的储存环真空室的设计提供了依据。

关键词 热出气率 TIN膜 真空材料 表面处理

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制作激光管真空系统与工艺 被引量：1

5

作者 桂太龙 于泉 +1 位作者 李玲芝 赖桂芝 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 1996年第1期88-91,共4页

本文介绍了制作小型ＣＯ２激光管专用真空系统的设计和它的真空工艺。给出了高真空系统线路图和相关的真空技术参数。

关键词 激光管 真空系统 真空材料 二氧化碳激光管

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PVC生产中电石粉尘回收利用 被引量：1

6

作者 梁寅祥 周文渊 《中国氯碱》 CAS 2010年第3期43-44,共2页

介绍了电石法PVC树脂生产企业对破碎、输送过程中产生的电石粉尘采用合理工艺进行回收利用,通过实际数据说明该工艺具有显著经济效益和社会效益。

关键词 电石法PVC 电石粉尘 回收利用 真空上料机

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CSRm束流准直器模型腔设计

7

作者 李朋 原有进 +7 位作者 杨建成 蒙峻 毛瑞士 柴振 康新才 李敏 郑文亨 姜培勇 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第B10期514-517,共4页

目前国际上的强流重离子加速器通常在机器中安装镀有低解吸率材料的束流准直器用于阻挡由于电荷态变化而损失的离子,降低解吸出的粒子数以维持真空系统的稳定。本文计划在现有的加速器冷却储存环主环(CSRm)上开展准直器模型腔测试、真... 目前国际上的强流重离子加速器通常在机器中安装镀有低解吸率材料的束流准直器用于阻挡由于电荷态变化而损失的离子,降低解吸出的粒子数以维持真空系统的稳定。本文计划在现有的加速器冷却储存环主环(CSRm)上开展准直器模型腔测试、真空解吸率测量方面的研究。首先将介绍在CSRm上开展准直器系统研究的意义,其次根据实验室开发的损失率模拟计算软件确定准直器模型腔的安装位置,对安装位置中的真空设备进行了描述。随后重点阐述了CSRm准直器模型腔的硬件设计、控制系统及将来的测试方案。 展开更多

关键词 高能强流重离子加速器 束流损失 准直器 真空材料解吸率

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浅析高温吸料天车温度及粒度控制系统

8

作者 张晓峰 《有色矿冶》 2011年第3期86-87,112,共3页

真空物料输送系统是高温吸料天车的重要组成部分。本文通过论述分析真空物料输送系统中温度及粒度控制系统的设备组成、工作原理及控制过程,可以使含粉尘的气流温度和回收后可继续利用的焦炭粒度得到有限控制。

关键词 高温吸料天车 真空物料输送系统 温度控制 粒度控制

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中国航天器真空技术的进展(一) 被引量：6

9

作者 达道安 谈治信 《真空与低温》 2001年第4期187-193,共7页

围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题 ,综合地介绍了其技术的发展 ,重点突出了中国极高真空技术的发展。提出了“分子真空寿命”这一新的物理量 ,并以此概念推导出测量气体分子热适应系数的方法。指出了在超高和极高真空条... 围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题 ,综合地介绍了其技术的发展 ,重点突出了中国极高真空技术的发展。提出了“分子真空寿命”这一新的物理量 ,并以此概念推导出测量气体分子热适应系数的方法。指出了在超高和极高真空条件下压力失去了原有的物理意义 ,引入了“有效压力”、“入射率”、“静压”、“动压”等新概念。探索了在空间条件下真空测量中的方向性效应和理论计算与实际测量偏离问题的特殊性和复杂性。介绍了利用分子沉技术研制的极高真空装置获得了 10 -11Pa极限真空度 ,介绍了中国已建立的航天器模拟设备的现状、性能指标和主要用途。概述了中国空间材料的真空效应研究现状 ,指出了空间材料、活动部件的冷焊及航天器敏感表面分子污染对航天器的长寿命和可靠性的影响。展望了中国航天器真空技术的发展。 展开更多

关键词 真空物理 真空获得技术 真空测量 真空检漏 真空材料 空间环境模拟技术 中国 航天器

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中国航天器真空技术的进展(二) 被引量：3

10

作者 达道安 谈治信 《真空与低温》 2002年第1期1-7,共7页

围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题 ,综合地介绍了其技术的发展 ,重点突出了中国极高真空技术的发展。提出了“分子真空寿命”这一新的物理量 ,并以此概念推导出测量气体分子热适应系数的方法。指出了在超高和极高真空条... 围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题 ,综合地介绍了其技术的发展 ,重点突出了中国极高真空技术的发展。提出了“分子真空寿命”这一新的物理量 ,并以此概念推导出测量气体分子热适应系数的方法。指出了在超高和极高真空条件下压力失去了原有的物理意义 ,引入了“有效压力”、“入射率”、“静压”、“动压”等新概念。探索了在空间条件下真空测量中的方向性效应和理论计算与实际测量偏离问题的特殊性和复杂性。介绍了利用分子沉技术研制的极高真空装置可获得 10 -11Pa极限真空度 ,介绍了中国已建立的航天器模拟设备的现状、性能指标和主要用途。概述了中国空间材料的真空效应研究现状 ,并指出空间材料、活动部件的冷焊及航天器敏感表面分子污染对航天器的长寿命和可靠性的影响。展望了中国航天器真空技术的发展。 展开更多

关键词 真空物理 真空获得技术 真空测量 真空检漏 真空材料 空间环境模拟技术 航天器 真空技术 中国

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真空室内金属杂质污染对光学薄膜性能的影响 被引量：6

11

作者 凌波 刘世杰 +3 位作者 袁磊 贺洪波 范正修 邵建达 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第7期988-991,共4页

真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素。采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析。发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn,在这种条件下沉积薄膜,会使薄膜中掺入金属杂质,导致薄膜激光破坏阈... 真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素。采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析。发现由黄铜制作的加热灯架在工作时会分解出Zn,在这种条件下沉积薄膜,会使薄膜中掺入金属杂质,导致薄膜激光破坏阈值降低。采用表面分析技术对薄膜的组分进行分析,证实薄膜中锌杂质的存在。激光破坏实验证明,含有锌杂质的薄膜的破坏阈值明显降低。 展开更多

关键词 薄膜 真空材料 杂质污染 激光损伤阈值

原文传递

空间机械润滑研究的发展现状 被引量：34

12

作者 于德洋 翁立军 欧阳锦林 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期89-95,共7页

根据研究工作积累并结合文献资料调研，对空间机械润滑研究的发展现状作了综合、归纳、分析与评述．首先，简要阐明了空间机械所经历的地面水蒸汽和氧，发射过程中的强烈振动和冲击过载，太空高真空和原子氧及强辐射等对空间机械摩擦学... 根据研究工作积累并结合文献资料调研，对空间机械润滑研究的发展现状作了综合、归纳、分析与评述．首先，简要阐明了空间机械所经历的地面水蒸汽和氧，发射过程中的强烈振动和冲击过载，太空高真空和原子氧及强辐射等对空间机械摩擦学系统的影响．接着，根据空间技术发展的需要，提出并讨论了急等解决的空间机械摩擦副降低摩擦和提高稳定性，间歇操作状态下的润滑和防止冷焊，以及极端环境中的润滑和延长使用寿命等问题；比较系统地阐述了现有空间润滑材料的特性和存在的问题及其研究动态，指出这类材料总的发展趋势是多元复合或合金化和多层膜．针对空间机械润滑研究的现状，明确强调摩擦学材料表面及次表面层的优化处理，提高复合材料中各组元间的界面结合强度，改进摩擦学设计和模拟试验等。 展开更多

关键词 空间机械 润滑 摩擦学

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真空开关和电子器件用钨铜材料 被引量：28

13

作者 吕大铭 《粉末冶金工业》 CAS 1998年第6期32-35,共4页

随着真空开关和电子器件新应用的开发，发展了钨铜材料的新系列—真空钨铜材料。本文介绍了真空钨铜材料的特点、制取工艺及主要性能，并讨论了与应用有关的问题。

关键词 真空钨铜材料 钨铜材料 真空开关 电子器件

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铜铬系真空触头材料制造工艺 被引量：26

14

作者 周武平 《高压电器》 CAS CSCD 北大核心 1993年第5期7-12,17,共7页

综述了铜铬系真空开关触头材料的各种制造工艺,详细分析了它们的优缺点。

关键词 真空电器触头 触头材料 制造

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真空开关的触头材料 被引量：3

15

作者 淡淑恒 王季梅 李宏群 《低压电器》 北大核心 1999年第3期9-12,共4页

总结了真空开关对触头的要求以及触头材料对触头性能的影响，并介绍了目前真空开关中广泛使用的触头材料与研究触头材料的方法。针对真空开关的应用领域，介绍了触头材料的发展趋势。对真空开关触头材料的开发及实际应用有借鉴作用。

关键词 真空开关 触头材料 分断能力 真空断路器

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液氢温区真空多层绝热材料研究进展 被引量：8

16

作者 高云飞 王博 +5 位作者 王浩任 孙潇 李睿泽 徐旭 王智化 甘智华 《低温工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期12-21,共10页

基于液氢高效存储、运输和利用对低温高效绝热的需求,以真空多层材料为主要研究内容,总结了液氢温区真空多层材料的绝热性能测试数据。根据液氢温区的获得方法将多层材料绝热性能的测试方法分为基于低温液体蒸发的湿式量热法和基于制冷... 基于液氢高效存储、运输和利用对低温高效绝热的需求,以真空多层材料为主要研究内容,总结了液氢温区真空多层材料的绝热性能测试数据。根据液氢温区的获得方法将多层材料绝热性能的测试方法分为基于低温液体蒸发的湿式量热法和基于制冷机的干式量热法两种,并从结构形状、温控方式、量热方式和测量范围等方面综述了这两种方法的研究现状,对比分析了各自的优缺点。最后展望了多层绝热材料的主要研究方向。 展开更多

关键词 液氢温区 真空多层绝热材料 表观导热系数 低温制冷机 量热器

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CuCr真空触头材料的抗熔焊性能研究 被引量：4

17

作者 杨志懋 丁秉钧 王笑天 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期95-98,104,共5页

测定了不同ＣｕＣｒ触头合金的基体强度和熔焊焊缝强度，通过扫描电子显微镜观察了其断口形貌，从而分析ＣｕＣｒ合金中脆性碳化物相对其抗熔焊性能的影响．讨论了碳化物相引入后ＣｕＣｒ合金的抗熔焊机理，同时还讨论了碳化物相对Ｃｕ... 测定了不同ＣｕＣｒ触头合金的基体强度和熔焊焊缝强度，通过扫描电子显微镜观察了其断口形貌，从而分析ＣｕＣｒ合金中脆性碳化物相对其抗熔焊性能的影响．讨论了碳化物相引入后ＣｕＣｒ合金的抗熔焊机理，同时还讨论了碳化物相对ＣｕＣｒ合金耐电压强度的影响。 展开更多

关键词 真空断路器 触头材料 铜铬合金

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一种深冷绝热纸放气率测试系统的研究 被引量：5

18

作者 李蔚 夏莉 刘金良 《制冷与空调（四川）》 2016年第5期582-585,共4页

以低温容器用深冷绝热材料为对象进行了材料放气率测试系统的设计,该系统是以静态升压法为基础的。系统测试室的真空度可达10-7Pa,这样延伸了系统的测量下限。该系统测试温度最高为250℃,最低可达-196℃。利用该系统的测试结果可为深冷... 以低温容器用深冷绝热材料为对象进行了材料放气率测试系统的设计,该系统是以静态升压法为基础的。系统测试室的真空度可达10-7Pa,这样延伸了系统的测量下限。该系统测试温度最高为250℃,最低可达-196℃。利用该系统的测试结果可为深冷绝热纸的实际应用提供最可靠的参考数据。 展开更多

关键词 低温容器 深冷绝热材料 放气率 测试系统

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新型真空断路器触头材料Cu－Cr－C的研究 被引量：4

19

作者 丁秉钧 王笑天 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期79-87,共9页

根据合金的微观结构设计思路，采用真空热碳还原法，用国产高氧Ｃｒ粉制备出低氧、优质ＣｕＣｒ真空断路器触头合金，解决了Ｃｒ粉国产化的问题，研究结果表明，加入１％～２％（质量）的Ｃ，大大改善了ＣｕＣｒ合金的抗熔焊性能而又不... 根据合金的微观结构设计思路，采用真空热碳还原法，用国产高氧Ｃｒ粉制备出低氧、优质ＣｕＣｒ真空断路器触头合金，解决了Ｃｒ粉国产化的问题，研究结果表明，加入１％～２％（质量）的Ｃ，大大改善了ＣｕＣｒ合金的抗熔焊性能而又不影响其耐电压强度和分断能力，解决了国内外长期未能解决的ＣｕＣｒ合金的抗熔焊问题． 展开更多

关键词 触头材料 Cu-Cr-C合金 真空断路器

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影响金刚石钎焊润湿性的因素 被引量：2

20

作者 曹庆忠 《超硬材料工程》 CAS 2018年第1期19-23,共5页

从金刚石表面的状况分析了影响金刚石钎焊湿润性的因素,使用镀膜金刚石,按照真空钎焊工艺,制备了单层金刚石锯片,并进行了钢筋切削试验。结果表明:将镀膜金刚石应用到钎焊金刚石工具中,实现了钎焊料对金刚石更加牢固的结合,有效地提高... 从金刚石表面的状况分析了影响金刚石钎焊湿润性的因素,使用镀膜金刚石,按照真空钎焊工艺,制备了单层金刚石锯片,并进行了钢筋切削试验。结果表明:将镀膜金刚石应用到钎焊金刚石工具中,实现了钎焊料对金刚石更加牢固的结合,有效地提高了金刚石锯片的使用寿命和切割锋利性。 展开更多

关键词 镀膜金刚石 钎焊料 真空钎焊 钎焊金刚石锯片

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