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真空镀膜技术的现状及发展 被引量:23
1
作者 王银川 《现代仪器》 2000年第6期1-4,共4页
本文介绍了真空下各种镀膜技术的基本概念,讨论了各种镀膜装置的镀膜方式、特点和应用及真空镀膜技术的发展现状及趋势。
关键词 真空镀膜技术 真空蒸发 溅射镀膜 离子镀膜
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真空镀膜技术在塑料表面金属化上的应用 被引量:31
2
作者 白秀琴 李健 +1 位作者 严新平 赵春华 《武汉理工大学学报(交通科学与工程版)》 2005年第6期947-950,共4页
塑料表面金属化将改善塑料的表面性质,使其具有塑料和金属两者的独特功能,真空镀膜技术是现代塑料表面金属化的主要技术之一.介绍了塑料真空镀膜技术原理及其常见的镀膜方法,分析了塑料作为真空镀膜基体材料的特殊性,阐述了真空镀膜技... 塑料表面金属化将改善塑料的表面性质,使其具有塑料和金属两者的独特功能,真空镀膜技术是现代塑料表面金属化的主要技术之一.介绍了塑料真空镀膜技术原理及其常见的镀膜方法,分析了塑料作为真空镀膜基体材料的特殊性,阐述了真空镀膜技术在塑料表面金属化上的应用情况,并提出了目前的研究热点. 展开更多
关键词 塑料 表面金属化 真空镀膜技术
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太阳能集热器研究进展 被引量:32
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作者 朱冬生 徐婷 +2 位作者 蒋翔 黄银盛 漆小玲 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1582-1584,共3页
太阳能热水技术在太阳能利用技术中最为成熟、实际应用最多且在经济上能与常规能源竞争。太阳能集热器是太阳能热水器的核心部件,是用于吸收太阳辐射并使之转换为热能传递给热介质的装置。介绍了平板型太阳能集热器和真空管太阳能集热器... 太阳能热水技术在太阳能利用技术中最为成熟、实际应用最多且在经济上能与常规能源竞争。太阳能集热器是太阳能热水器的核心部件,是用于吸收太阳辐射并使之转换为热能传递给热介质的装置。介绍了平板型太阳能集热器和真空管太阳能集热器,并对两者的优缺点进行对比,对其发展趋势进行了分析。 展开更多
关键词 平板太阳能集热器 真空管太阳能集热器 镀膜技术
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真空镀膜助力低碳制造与可持续发展 被引量:1
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作者 孙彬 刘兴龙 +2 位作者 徐乘远 王庆 蔺增 《真空》 CAS 2023年第3期12-17,共6页
真空镀膜是一种在真空环境下制备高性能涂层材料和高质量表面的绿色制造技术。目前广泛应用的物理气相沉积技术制备的硬质涂层系列产品,能够助力制造业实现低碳制造和可持续发展。在真空镀膜实际应用过程中,摩擦学与表面界面是需要重点... 真空镀膜是一种在真空环境下制备高性能涂层材料和高质量表面的绿色制造技术。目前广泛应用的物理气相沉积技术制备的硬质涂层系列产品,能够助力制造业实现低碳制造和可持续发展。在真空镀膜实际应用过程中,摩擦学与表面界面是需要重点研究的科学性问题。高端真空镀膜设备的开发需要解决核心零部件、先进镀膜工艺及控制系统等技术难题,特别是要主动融入第四次工业革命的浪潮中,探索数字化变革之路。本文介绍了真空镀膜助力低碳制造和可持续发展的具体路径,除了工模具行业和汽车行业等成熟市场,真空镀膜对医疗行业、航空航天和半导体行业的创新发展亦可提供重要的支撑。 展开更多
关键词 真空镀膜 低碳制造 可持续发展 数字化
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镀膜对金属材料表面二次电子发射系数的影响 被引量:2
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作者 柳钰 梁昌慧 +1 位作者 梅策香 刘婷 《咸阳师范学院学报》 2018年第6期50-52,共3页
材料表面产生二次电子发射会对器件的正常工作和使用寿命产生重大影响,因此对于抑制二次电子发射系数的研究显得越来越重要。该实验中选择通过改变材料表面结构的方法抑制二次电子发射,对材料表面进行真空溅射镀膜,在表面镀上一层二次... 材料表面产生二次电子发射会对器件的正常工作和使用寿命产生重大影响,因此对于抑制二次电子发射系数的研究显得越来越重要。该实验中选择通过改变材料表面结构的方法抑制二次电子发射,对材料表面进行真空溅射镀膜,在表面镀上一层二次电子发射系数较小的材料,实验中选择一层40 nm厚的Ta-C薄膜。实验结果表明:未经处理的基片二次电子发射系数峰值为2.15左右,经过镀膜处理的样片二次电子发射系数峰值为1.39,减少了35%,这说明通过镀膜的方法能有效减小材料表面二次电子发射系数。 展开更多
关键词 二次电子 介质 真空镀膜技术 阈值
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节能窗薄膜张力控制系统的设计
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作者 姚庆梅 郭亚 +2 位作者 曹建荣 张永坚 许夫明 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2017年第1期116-120,共5页
针对磁控溅射节能窗膜生产线中PET薄膜具有易拉伸变形,导致镀膜生产无法正常工作的问题,对PET薄膜卷的收、放提出了恒张力、恒线速度的控制进行了设计。在对张力产生的原因及动力学方程进行分析的基础上建立了放卷过程的数学模型,并从... 针对磁控溅射节能窗膜生产线中PET薄膜具有易拉伸变形,导致镀膜生产无法正常工作的问题,对PET薄膜卷的收、放提出了恒张力、恒线速度的控制进行了设计。在对张力产生的原因及动力学方程进行分析的基础上建立了放卷过程的数学模型,并从该模型出发,采用模型参考自适应张力控制策略,设计了PLC技术和变频器技术相结合的控制方案,以满足系统的恒张力、恒线速度要求。通过系统仿真和现场运行证明,该控制系统达到了预期的控制效果。 展开更多
关键词 磁控溅射 真空镀膜 张力控制 可编程逻辑控制器 变频器技术
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真空镀膜工艺对选择性吸收膜性能的影响 被引量:5
7
作者 郭信章 阎军 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期207-209,共3页
报道了不同镀膜工艺制备的太阳能选择性吸收膜的性能,并对其发展方向进行了探讨。
关键词 真空镀膜 太阳能 选择性吸收膜
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探究氧气流量对新型高阻隔薄膜材料的制备及性能的影响 被引量:1
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作者 张健 牛夏斌 +2 位作者 孟辉波 齐振华 李建浩 《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第7期694-698,共5页
利用真空反应蒸发镀膜技术在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面沉积AlO_(x)+Al+AlO_(x)三层镀层,通过改进传统蒸发镀膜设备,增添匀气管,控制氧气通入位置及流量,研究了氧气流量对膜层形貌、膜层结合力和阻隔性的影响。采用扫描电子显微镜... 利用真空反应蒸发镀膜技术在PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)表面沉积AlO_(x)+Al+AlO_(x)三层镀层,通过改进传统蒸发镀膜设备,增添匀气管,控制氧气通入位置及流量,研究了氧气流量对膜层形貌、膜层结合力和阻隔性的影响。采用扫描电子显微镜、能谱仪、3M标准胶带、透氧仪等测试仪器对膜层形貌和表层元素进行了表征和分析,并得到最佳工艺条件。结果表明:改进设备后沉积的AlO_(x)+Al+AlO_(x)/PET复合膜,可以有效的提高薄膜的阻隔性、致密性以及镀层与薄膜间的结合力。在本底真空8×10^(-4)Pa、反应气压1×10^(-2)Pa、电流80 A、过渡层氧气流量50 m L/min、盖层充气流量100 m L/min等工艺下蒸镀的AlO_(x)+Al+AlO_(x)/PET复合膜,膜层薄膜的结合力为1.52 N/mm,氧气透过率为1.1 cm^(3)/(m^(2)·day·atm),与传统铝膜相比,结合力提高2倍,阻隔性提高4.5倍。 展开更多
关键词 真空反应蒸发镀膜技术 AlOx+Al+AlOx/PET复合膜 氧气流量 阻隔性 结合力
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以真空熔敷为先导的钢/铝扩散连接
9
作者 杨宗辉 郁柳 侍春林 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2012年第6期110-112,共3页
采用真空熔敷法在304不锈钢表面制备Cu-Ni涂层,然后以Cu-Ni涂层为中间层,扩散连接304不锈钢与6063铝合金。利用光学显微镜、SEM及EDS,研究了不锈钢/Cu-Ni涂层/铝合金接头的界面显微组织特征及成分分布。结果表明,与不锈钢母材熔合的Cu-N... 采用真空熔敷法在304不锈钢表面制备Cu-Ni涂层,然后以Cu-Ni涂层为中间层,扩散连接304不锈钢与6063铝合金。利用光学显微镜、SEM及EDS,研究了不锈钢/Cu-Ni涂层/铝合金接头的界面显微组织特征及成分分布。结果表明,与不锈钢母材熔合的Cu-Ni涂层中,形成了宽约4μm的Fe、Cr、Ni元素扩散带;与Cu-Ni涂层扩散结合的铝母材中则形成了两层化合物,靠近结合线的化合物层厚约1μm,主要由CuAl2和CuAl组成;远离结合线的化合物层厚约3μm,主要由CuAl2组成;没有在铝合金母材中检测到Ni原子。Al原子扩散进入Cu-Ni涂层的距离约3μm。 展开更多
关键词 真空熔敷 铝合金 扩散连接 涂层
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