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磨粒和抛光垫特性对蓝宝石超声化学机械抛光的影响 被引量:9
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作者 钟敏 袁任江 +2 位作者 李小兵 陈建锋 许文虎 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期125-132,共8页
抛光磨粒和抛光垫对蓝宝石超声化学机械抛光起重要作用,为研究磨粒和抛光垫特性对蓝宝石材料抛光效率和质量的影响,利用自制超声弯曲振动辅助化学机械抛光装置,研究金刚石、氧化铝和二氧化硅3种不同磨粒,以及表面多孔且无沟槽的聚氨酯... 抛光磨粒和抛光垫对蓝宝石超声化学机械抛光起重要作用,为研究磨粒和抛光垫特性对蓝宝石材料抛光效率和质量的影响,利用自制超声弯曲振动辅助化学机械抛光装置,研究金刚石、氧化铝和二氧化硅3种不同磨粒,以及表面多孔且无沟槽的聚氨酯抛光垫、IC1000抛光垫、IC1000和SubaⅣ复合抛光垫对蓝宝石材料去除率及抛光后表面粗糙度的影响。由质量损失求得的去除率和原子力显微镜表面形貌测试结果表明:二氧化硅抛光液的去除率3.2μm/h接近氧化铝抛光液去除率3.8μm/h,远大于金刚石抛光液去除率0.3μm/h,且其抛光后的蓝宝石表面光滑、无损伤;3种抛光垫抛光后的蓝宝石粗糙度接近,约0.10 nm,但聚氨酯抛光垫的去除率为3.2μm/h,远大于IC1000抛光垫的去除率1.9μm/h及复合垫的去除率1.6μm/h。二氧化硅抛光液和聚氨酯抛光垫适宜蓝宝石超声化学机械抛光工艺,可获得高去除率和原子级光滑表面。 展开更多
关键词 蓝宝石 超声弯曲振动 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
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一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法 被引量:6
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作者 严日明 刘德福 +1 位作者 陈涛 佘亦曦 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2016年第7期198-204,共7页
提出了一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法;先忽略剪切变形和惯性矩作用,基于Euler-Bernoulli杆理论求解出固有频率初值,再计入二者的作用进行弯曲振动固有频率的修正。应用有限元分析法和模态实验测试对该方法进行验证,理论... 提出了一种圆锥形变幅杆弯曲振动固有频率的计算方法;先忽略剪切变形和惯性矩作用,基于Euler-Bernoulli杆理论求解出固有频率初值,再计入二者的作用进行弯曲振动固有频率的修正。应用有限元分析法和模态实验测试对该方法进行验证,理论结果与实验结果吻合,误差<5%。基于该方法编写程序,实现了弯曲振动变幅杆结构的主动设计。 展开更多
关键词 圆锥形变幅杆 超声弯曲振动 固有频率
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ON THE EQUAL-THICKNESS VARI-CROSS-SECTION ULTRASONIC FLEXURAL VIBRATION ROD
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作者 丁大成 左建国 +1 位作者 鲍善惠 赵恒元 《Chinese Science Bulletin》 SCIE EI CAS 1991年第2期110-113,共4页
For designing the thick equal-cross-section ultrasonic flexural vibration rod, the Timoshenko Theory works satisfactorily. For the vari-cross-section ultrasonic flexural vibration rod, however, there has not been an a... For designing the thick equal-cross-section ultrasonic flexural vibration rod, the Timoshenko Theory works satisfactorily. For the vari-cross-section ultrasonic flexural vibration rod, however, there has not been an accurate and convenient design theory to date. That is, no frequency equation is available. In the present study, we extend the Timoshenko Theory to the vari-cross-section rod. For equal-thickness vari-cross-section exponent-mode rods, the frequency equation was derived. Experiments were carried out to verify the equation. The theoretical calculation shows good agreement with the experi- 展开更多
关键词 ultrasonic flexural vibration equal-thickness vibration ROD exponent-mode wedge-mode.
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