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半导体行业超纯水制造技术
被引量：
8
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作者
许德洪
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期90-92,共3页
随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高。作者详述了超纯水的制造工艺及各个环节中所用不同工艺设备的对比。同时,还详细介绍了超纯水工艺流程中的节能减排措施。
关键词
半导体
超纯水
节能减排
下载PDF
职称材料
题名
半导体行业超纯水制造技术
被引量：
8
1
作者
许德洪
机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
出处
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期90-92,共3页
文摘
随着超纯水技术在半导体行业的应用日益广泛,半导体制造单位对超纯水的要求也越来越高。作者详述了超纯水的制造工艺及各个环节中所用不同工艺设备的对比。同时,还详细介绍了超纯水工艺流程中的节能减排措施。
关键词
半导体
超纯水
节能减排
Keywords
semiconductor
ultra
-
purewater
energy-savingandemissionreduction
分类号
TU991.41 [建筑科学—市政工程]
下载PDF
职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
半导体行业超纯水制造技术
许德洪
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2010
8
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