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光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制
被引量：
9
1
作者
陈兴林
刘川
+1 位作者
耿长青
徐加彦
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期3238-3244,共7页
提出一种将完全跟踪控制(PTC)和扩张状态观测器(ESO)相结合的复合控制方法以提高宏动直线电机的跟踪性能。利用多速率采样系统的特性构建宏动系统状态传递函数矩阵的精确逆矩阵,以避免传统的近似逆模型和插值带来的限制,从而实现完全跟...
提出一种将完全跟踪控制(PTC)和扩张状态观测器(ESO)相结合的复合控制方法以提高宏动直线电机的跟踪性能。利用多速率采样系统的特性构建宏动系统状态传递函数矩阵的精确逆矩阵,以避免传统的近似逆模型和插值带来的限制,从而实现完全跟踪控制;利用扩张状态观测器观测系统内部的动态变化,补偿系统中的各种扰动,从而减小扰动可能带来的稳态跟踪误差。研究结果表明:该方法保证了系统的动态跟踪精度和良好的鲁棒性,提高了系统的动态性能。
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关键词
完全跟踪控制
扩张状态观测器
精密伺服
光刻机
工件台
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职称材料
圆柱表面微结构阵列超精密车削加工技术
被引量：
6
2
作者
范占斌
戴一帆
+2 位作者
关朝亮
铁贵鹏
朱登超
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第5期358-364,共7页
辊子是光学薄膜模压制造的关键零件,其圆柱表面微结构复杂,表面粗糙度要求也极高.超精密车削成形作为微结构的一种高效加工方式,其加工的可达性、伺服刀具动态特性的制约、海量微结构的加工长时一致性等是高质量辊子微结构加工所需解决...
辊子是光学薄膜模压制造的关键零件,其圆柱表面微结构复杂,表面粗糙度要求也极高.超精密车削成形作为微结构的一种高效加工方式,其加工的可达性、伺服刀具动态特性的制约、海量微结构的加工长时一致性等是高质量辊子微结构加工所需解决的关键问题.本文以圆柱球面微结构阵列为例,从其数学描述入手,分析了刀具几何尺寸、伺服系统动态特性与微结构加工可达性之间的制约关系,并在自主研制的超精密车床和快刀伺服系统上进行了两种球面微结构的加工实验,得到了预期的微结构形貌,并对加工实验中发现的切深不一致现象给出了初步的解释.
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关键词
辊子
微结构阵列
超精密车削
快刀伺服系统
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职称材料
自抗扰控制在快刀伺服系统控制中的应用
被引量：
2
3
作者
李捷
陈新
陈新度
《机床与液压》
北大核心
2015年第8期124-127,共4页
为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型。根据低阶自抗扰控制器控制高阶系统的理论,设计出二阶...
为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型。根据低阶自抗扰控制器控制高阶系统的理论,设计出二阶三维扩张状态观测器,可对来自各种干扰源未知扰动的观测结果做出实时估计和补偿。设计出自抗扰控制器,并给出了参数整定的规则。数字仿真实验表明:自抗扰控制器具有良好的控制品质,应用在快刀伺服系统中可以提高控制系统的跟踪性能和抗干扰性。
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关键词
微结构自由曲面
超精密加工
自抗扰控制
快刀伺服系统
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职称材料
题名
光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制
被引量：
9
1
作者
陈兴林
刘川
耿长青
徐加彦
机构
哈尔滨工业大学航天学院
青岛市工程咨询院
出处
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第9期3238-3244,共7页
基金
国家科技重大专项(2009ZX02207)~~
文摘
提出一种将完全跟踪控制(PTC)和扩张状态观测器(ESO)相结合的复合控制方法以提高宏动直线电机的跟踪性能。利用多速率采样系统的特性构建宏动系统状态传递函数矩阵的精确逆矩阵,以避免传统的近似逆模型和插值带来的限制,从而实现完全跟踪控制;利用扩张状态观测器观测系统内部的动态变化,补偿系统中的各种扰动,从而减小扰动可能带来的稳态跟踪误差。研究结果表明:该方法保证了系统的动态跟踪精度和良好的鲁棒性,提高了系统的动态性能。
关键词
完全跟踪控制
扩张状态观测器
精密伺服
光刻机
工件台
Keywords
perfect
tracking
control
extended
state
observer
ultra
-
precision
servo system
lithography
wafer
stage
分类号
TP273.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
圆柱表面微结构阵列超精密车削加工技术
被引量：
6
2
作者
范占斌
戴一帆
关朝亮
铁贵鹏
朱登超
机构
国防科学技术大学机电工程与自动化学院
超精密加工技术湖南省重点实验室
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014年第5期358-364,共7页
基金
应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(Y2Q03FQK06)
文摘
辊子是光学薄膜模压制造的关键零件,其圆柱表面微结构复杂,表面粗糙度要求也极高.超精密车削成形作为微结构的一种高效加工方式,其加工的可达性、伺服刀具动态特性的制约、海量微结构的加工长时一致性等是高质量辊子微结构加工所需解决的关键问题.本文以圆柱球面微结构阵列为例,从其数学描述入手,分析了刀具几何尺寸、伺服系统动态特性与微结构加工可达性之间的制约关系,并在自主研制的超精密车床和快刀伺服系统上进行了两种球面微结构的加工实验,得到了预期的微结构形貌,并对加工实验中发现的切深不一致现象给出了初步的解释.
关键词
辊子
微结构阵列
超精密车削
快刀伺服系统
Keywords
roller
microstructure
array
ultra
-
precision
turning
fast
tool
servo system
分类号
TG51 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
自抗扰控制在快刀伺服系统控制中的应用
被引量：
2
3
作者
李捷
陈新
陈新度
机构
广东工业大学广东省微纳加工技术与装备重点实验室
广东金融学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2015年第8期124-127,共4页
基金
广东省引进创新科研团队计划资助项目(201001G0104781202)
文摘
为了提高微结构自由曲面光学元件超精密加工中快刀伺服系统的跟踪精度和抗干扰性,引入自抗扰控制器。通过对快刀伺服刀架进行建模分析,得到惯性环节和二阶振荡环节串联的等效模型。根据低阶自抗扰控制器控制高阶系统的理论,设计出二阶三维扩张状态观测器,可对来自各种干扰源未知扰动的观测结果做出实时估计和补偿。设计出自抗扰控制器,并给出了参数整定的规则。数字仿真实验表明:自抗扰控制器具有良好的控制品质,应用在快刀伺服系统中可以提高控制系统的跟踪性能和抗干扰性。
关键词
微结构自由曲面
超精密加工
自抗扰控制
快刀伺服系统
Keywords
Microstructured
freeform
surface
ultra
-
precision
machining
Active
disturbance
rejection
control
Fast
tool
servo system
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光刻机工件台直线电机的完全跟踪控制
陈兴林
刘川
耿长青
徐加彦
《中南大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
9
下载PDF
职称材料
2
圆柱表面微结构阵列超精密车削加工技术
范占斌
戴一帆
关朝亮
铁贵鹏
朱登超
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2014
6
下载PDF
职称材料
3
自抗扰控制在快刀伺服系统控制中的应用
李捷
陈新
陈新度
《机床与液压》
北大核心
2015
2
下载PDF
职称材料
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