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点衍射干涉仪系统误差标定
被引量：
9
1
作者
许嘉俊
邢廷文
徐富超
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期199-203,共5页
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与...
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构,降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置,去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统,在针孔直径为3μm时,系统误差为0.009λ。
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关键词
测量
光学检测
点衍射干涉仪
双孔干涉
误差标定
原文传递
题名
点衍射干涉仪系统误差标定
被引量：
9
1
作者
许嘉俊
邢廷文
徐富超
机构
中国科学院光电技术研究所应用光学实验室
中国科学院大学
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期199-203,共5页
文摘
点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构,降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置,去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统,在针孔直径为3μm时,系统误差为0.009λ。
关键词
测量
光学检测
点衍射干涉仪
双孔干涉
误差标定
Keywords
measurement
optical
testing
point
diffraction
interferometer
two
-
hole
interference
error
calibration
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
点衍射干涉仪系统误差标定
许嘉俊
邢廷文
徐富超
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
9
原文传递
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