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无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
被引量：
1
1
作者
翟雷应
徐静
+1 位作者
钟少龙
吴亚明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期1772-1781,共10页
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区...
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。
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关键词
微机电系统(MEMS)
光相位调制器
无交叠垂直梳齿驱动器
平动微镜
保角变换法
静电驱动
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职称材料
题名
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
被引量：
1
1
作者
翟雷应
徐静
钟少龙
吴亚明
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室传感技术联合国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期1772-1781,共10页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2008AA03Z406
No.2009AA03Z443)
国家自然科学基金资助项目(No.608-77066)
文摘
为了设计用于光相位调制器平动微镜的无交叠梳齿驱动器,建立了保角变换数学模型,研究了驱动器的驱动特性。从复变函数理论出发,建立了驱动器的保角变换静电场解析模型;以动齿受力为研究对象,根据不同情形下的动齿受力特点,求解了一定区间内动齿的静电力并与有限元模拟计算结果进行了对比分析。采用微机电系统(MEMS)工艺制作出了无交叠梳齿驱动器,搭建了Michelson干涉仪光学测试系统,测试了无交叠梳齿驱动器的静态驱动特性。实验结果表明,所制作的无交叠梳齿驱动器在28V偏压下机械位移可达325nm,相位差为2π;在90V的偏压下能够获得2.07μm静态位移。测试结果与保角变换及有限元模型分析结果一致,验证了所建数学模型的正确性,为无交叠梳齿驱动器的设计提供了理论与实验基础。
关键词
微机电系统(MEMS)
光相位调制器
无交叠垂直梳齿驱动器
平动微镜
保角变换法
静电驱动
Keywords
Micro
Electronic
Mechanic
System（MEMS）
optical
phase
modulator
non-overlap
vertical
comb
driver
translational
micromirror
conformal
mapping
electrostatic
actuator
分类号
TN761.92 [电子电信—电路与系统]
TH703.6 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
翟雷应
徐静
钟少龙
吴亚明
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
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