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不同能量离子束辅助沉积对形成氮化钛薄膜性能的影响 被引量:13
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作者 李立 赵杰 +1 位作者 李德军 顾汉卿 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期520-523,526,共5页
 用不同能量离子束辅助沉积方法在医用不锈钢317L和Si(100)基底上沉积TiN薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构特征;测试了薄膜与基底的附着力和耐磨性;用电化学腐蚀的方法检测了...  用不同能量离子束辅助沉积方法在医用不锈钢317L和Si(100)基底上沉积TiN薄膜。通过X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的结构特征;测试了薄膜与基底的附着力和耐磨性;用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在Hank′s模拟体液中的耐腐蚀性能;最后采用成纤维细胞、骨髓细胞体外培养试验考察了生长于不同薄膜表面的细胞粘附、增殖、展布情况及细胞的形态。研究结果表明:用高、低能氮离子兼用的IBAD方法制备的TiN多晶薄膜比只用高能或低能沉积的薄膜具有更强的附着力和耐磨性,在Hank′s模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力,并在细胞体外培养中显示出良好的细胞相容性。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积(IBAD) 氮化钛(tin) 附着力 耐腐蚀 细胞体外培养
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Solidification Structure Refining of 430 Ferrite Stainless Steel With TiN Nucleation 被引量:11
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作者 SHI Cai-xia CHENG Guo-guang +1 位作者 LI Zhan-jun ZHAO Pei 《Journal of Iron and Steel Research International》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第3期57-60,共4页
The thermodynamics of TiN precipitation in liquid steel of 430 ferrite stainless steel has been calculated to find out the condition of TiN precipitation during the initial solidification stage. The difference in the ... The thermodynamics of TiN precipitation in liquid steel of 430 ferrite stainless steel has been calculated to find out the condition of TiN precipitation during the initial solidification stage. The difference in the solidification structure of 430 ferrite stainless steel has been discussed through comparative tests of vacuum induction furnace melting with different contents of Ti. It has been found that the equiaxed grain proportion can be increased from 20% to 69% as the content of Ti from 0.1% up to 0. 4%. The size of the TiN particles precipitated is 1-3 μm and the number of TiN particles is about (200- 300)/μm^2. It is found that the effect of using TiN to refine the solidification structure has been confirmed under the strict process condition used for 430 ferrite stainless steel. 展开更多
关键词 titanium nitride tin SOLIDIFICATION THERMODYNAMICS 430 ferrite stainless steel
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中国散裂中子源(CSNS)真空系统研制 被引量:11
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作者 董海义 宋洪 +7 位作者 李琦 杨奇 赵晶晶 黄涛 王鹏程 关玉慧 刘鹏飞 刘佳明 《真空》 CAS 2015年第4期1-6,共6页
中国散裂中子源(CSNS)将提供能量为1.6Ge V、功率为100k W的短脉冲质子束,以25Hz的重复频率撞击固体金属靶,产生散裂中子。散裂中子源是一个多学科平台,可以进行物理、化学、生物学和材料科学研究。本文描述了CSNS真空系统各个部分的结... 中国散裂中子源(CSNS)将提供能量为1.6Ge V、功率为100k W的短脉冲质子束,以25Hz的重复频率撞击固体金属靶,产生散裂中子。散裂中子源是一个多学科平台,可以进行物理、化学、生物学和材料科学研究。本文描述了CSNS真空系统各个部分的结构特点、技术要求、设计方案和实验结果。通过金属化法和玻璃粘结法分别完成了四极陶瓷真空盒和二极陶瓷真空盒样机的研制。经过测试,陶瓷真空盒样机的机械尺寸、抗拉强度和真空性能达到了设计指标。另外,为了减小二次电子发射系数,在陶瓷真空盒内表面用磁控溅射法镀氮化钛,通过小样品测试了氮化钛膜的厚度、成分、二次电子发射系数和附着强度。目前,CSNS真空系统大部分设备和部件已投入批量生产,2014年10月中旬开始安装,2018年CSNS达到国家验收指标。 展开更多
关键词 散裂中子源 真空系统 陶瓷真空盒 氮化钛(tin) 二次电子发射系数(SEY)
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IBAD法沉积TiN薄膜的机械和耐腐性 被引量:4
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作者 李立 王娟 《中国民航学院学报》 2005年第2期42-46,共5页
用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜。通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构;测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着力;运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在H ank's模拟体液... 用离子束辅助沉积(IBAD)方法在医用不锈钢317L基底上沉积TiN陶瓷薄膜。通过X射线衍射(XRD)和俄歇电子能谱(AES)分析研究了薄膜的微结构;测试了薄膜的耐磨性及薄膜与基底的附着力;运用电化学腐蚀的方法检测了薄膜在H ank's模拟体液中的耐腐蚀性能。研究结果表明:用高、低能氮离子束兼用的IBAD方法沉积TiN多晶薄膜后,材料表面结构和性能发生明显改变,表面硬度和耐磨性有明显提高,在H ank's模拟体液中显示出更强的抗腐蚀能力。 展开更多
关键词 离子束辅助沉积(IBAD) 氮化钛(tin) 机械性能 腐蚀
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钛铸件复合氮化处理的生物安全性研究 被引量:3
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作者 王菁 郭天文 +1 位作者 李星星 佟宇 《实用口腔医学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期298-301,共4页
目的:评价纯钛铸件表面等离子渗氮、脉冲电弧离子镀膜复合处理后的生物安全性。方法:按照国际ISO 10993标准,选择细胞毒性试验、溶血试验、急性全身毒性试验及口腔黏膜刺激试验,记录实验结果并作统计学分析。结果:钛铸件经渗氮、镀膜复... 目的:评价纯钛铸件表面等离子渗氮、脉冲电弧离子镀膜复合处理后的生物安全性。方法:按照国际ISO 10993标准,选择细胞毒性试验、溶血试验、急性全身毒性试验及口腔黏膜刺激试验,记录实验结果并作统计学分析。结果:钛铸件经渗氮、镀膜复合处理后细胞毒性测试为0级或I级;溶血率为0.45%,有良好的血液相容性;无急性全身毒性反应;口腔黏膜刺激试验阴性,各项指标均符合ISO 10993标准。结论:钛铸件复合氮化处理后无潜在生物学毒性。 展开更多
关键词 钛铸件 等离子渗氮 脉冲电弧离子镀 生物安全性
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钛铸件表面离子氮化/涂层复合处理及其性能研究 被引量:3
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作者 王菁 郭天文 +2 位作者 安艳新 梁海锋 佟宇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期518-521,共4页
为提高口腔医学领域用纯钛铸件的表面性能,改善其美观效果,用辉光等离子氮化、脉冲电弧离子镀涂层复合处理纯钛铸件,使用扫描电镜、接触角测量系统及X射线衍射分析仪评价其表面性能及晶相结构组成,再用分光测色计分析其色彩学特征。结... 为提高口腔医学领域用纯钛铸件的表面性能,改善其美观效果,用辉光等离子氮化、脉冲电弧离子镀涂层复合处理纯钛铸件,使用扫描电镜、接触角测量系统及X射线衍射分析仪评价其表面性能及晶相结构组成,再用分光测色计分析其色彩学特征。结果表明,纯钛铸件等离子氮化、镀氮化钛涂层复合处理后表面形成均匀稳定的TiN复合梯度涂层;人工唾液在复合处理试件表面的接触角(60.29±2.00)°明显小于纯钛(73.12±3.29)°;颜色均匀美观,在CIE表色系中L*:61.22±0.455、a*:1.84±0.055、b*:25.66±0.219,呈金黄色,表面晶相结构以耐磨性较好的TiN、Ti2N为主。 展开更多
关键词 钛铸件 辉光等离子渗氮 氮化钛(tin) 表面形貌 色彩
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TiN纳米晶材料烧结规律研究 被引量:2
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作者 曹立宏 欧阳世翕 +2 位作者 王胜军 王新祥 时东霞 《材料科学与工程》 CSCD 1994年第3期46-50,共5页
采用直流电弧氮等离子体蒸发─凝聚法制备了纯度大于98%粒径可控的高纯TiN纳米粉末。并通过原位加压,制得了纳米晶固体材料。探索了不同温度下TiN纳米晶材料的晶粒尺寸和密度的变化规律。探讨了烧结过程中它的致密化过程。结... 采用直流电弧氮等离子体蒸发─凝聚法制备了纯度大于98%粒径可控的高纯TiN纳米粉末。并通过原位加压,制得了纳米晶固体材料。探索了不同温度下TiN纳米晶材料的晶粒尺寸和密度的变化规律。探讨了烧结过程中它的致密化过程。结果表明,温度较低时(<1100℃),晶粒长大不明显,密度提高不大。温度升高(>1100℃).晶粒长大迅速,密度明显增大。同时,常温下TiN纳米晶材料断面不平坦,有“类团聚体”存在,它对TiN纳米晶材料的烧结致密化有重要影响。 展开更多
关键词 纳米晶材料 等离子体 晶粒生长
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A Study on Biocompatibility of TiN Thin Film Deposited on 317L Stainless Steel by Ion Beam Assisted Deposition
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作者 LI Li 1 , ZHAO Jie 1, GU Hanq-ing 21 College of Physics and Electronic Information, Tianjin Normal University,Tianjin 300074, China 2 Tianjin Institute of Urological Surgery, Tianjin 300211, China 《Chinese Journal of Biomedical Engineering(English Edition)》 2003年第4期158-168,共11页
Titanium nitride ceramic thin films on 317L stainless steel(SS317L) substrate were deposited by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD). The composition of the TiN films were investigated by Auger electron spectroscopy(AE... Titanium nitride ceramic thin films on 317L stainless steel(SS317L) substrate were deposited by Ion Beam Assisted Deposition (IBAD). The composition of the TiN films were investigated by Auger electron spectroscopy(AES), while the preferential orientation of the deposited film and phase composition were determined by X-ray diffraction(XRD). Adhesion was measured through Micro Scratch Tester(MST), and the corrosion resistance was evaluated by the electrochemical corrosion experiments in Hamk’s simulated human plasma. Specially, the biocompatibility of SS317L and TiN thin films were studied with fibroblast and marrow cell cultures in vitro. The results show that TiN thin films deposited on SS317L by means of IBAD can make remarkable changes on the structure and properties of the surface. At 37℃ Hank’s simulated plasma, free corrosion potential (E corr ) and breakthrough potential of pitting corrosion (E b) were both improved by coating TiN films . The culture results show that ion beam assisted TiN coatings exhibit a higher degree of cytocompatibility than that of SS317L and the cells grow better on those proper rough surfaces. 展开更多
关键词 Ion beam assisted deposition (IBAD) titanium nitride (tin) Corrosion
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Facile integration of electro-optic SiO_(2)/ITO heterointerfaces in MIS structures for CMOS-compatible plasmonic waveguide modulation
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作者 Nasir Alfaraj Charles Chih-Chin Lin +2 位作者 Sherif Nasif Swati Rajput Amr S.Helmy 《Light(Advanced Manufacturing)》 2023年第4期82-99,共18页
By taking advantage of the absence of diffraction limit restrictions in plasmonic structures,strong modal confinement is made possible,paving the way for improved optical processes and miniaturized photonic circuit in... By taking advantage of the absence of diffraction limit restrictions in plasmonic structures,strong modal confinement is made possible,paving the way for improved optical processes and miniaturized photonic circuit integration.Indium tin oxide(ITO)has emerged as a promising plasmonic material that serves as a relatively low-carrier density Drude metal by its electro-optic tunability and versatility as an integrative oxide.We herein demonstrate the facile integration of SiO_(2)/ITO heterointerfaces into metal-insulator-semiconductor(MIS)electro-optic structures.The first MIS device employs a SiO_(2)/ITO heterostructure grown on thin polycrystalline titanium nitride(poly-TiN)and capped at the ITO side with thin aluminum(Al)film contact electrode.The TiN interlayer acts as a bottom electrode,forming a metal-insulator-semiconductor-metal(MISM)heterojunction device,and grows directly on(100)-oriented silicon(Si).This MISM device enables one to examine the electrical properties of semiconductive ITO layers.The second MIS device incorporates a semiconductive ITO layer with a SiO_(2)dielectric spacer implemented on a silicon-on-insulator(SOI)platform,forming a graded-index coupled hybrid plasmonic waveguide(CHPW)modulator.This device architecture represents a crucial step towards realizing plasmonic modulation using oxide materials.The CHPW device performance presented herein provides a proof-of-concept that demonstrates the advantages offered by such device topology to perform optical modulation via charge carrier dispersion.The graded-index CHPW can be dynamically reconfigured for amplitude,phase,or 4-quadrature amplitude modulation utilizing a triode-like biasing strategy.It exhibited extinction ratio(ER)and insertion loss(IL)levels of around 1 dB/μm and 0.128 dB/μm,respectively,for a 10μm waveguide length. 展开更多
关键词 Indium tin oxide(ITO) Modulators Oxide semiconductors PLASMONICS Telecom frequency titanium nitride(tin)
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直流磁控溅射制备太阳光谱选择性吸收TiN薄膜 被引量:1
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作者 付淑英 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1146-1149,共4页
以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ti为靶材,以氩气作为工作气体、氮气为反应气体,在Si(111)基底上制备太阳光谱选择性吸收薄膜TiN,使之具有较好的光谱选择吸收特性。研究发现:在其它工艺参数保持不变的情况下,溅射气压在0.35~1... 以直流反应磁控溅射方法作为制备手段,选择Ti为靶材,以氩气作为工作气体、氮气为反应气体,在Si(111)基底上制备太阳光谱选择性吸收薄膜TiN,使之具有较好的光谱选择吸收特性。研究发现:在其它工艺参数保持不变的情况下,溅射气压在0.35~1.50Pa范围内,都能制备出(200)择优取向的立方相TiN。而当溅射气压为0.35Pa时沉积的薄膜致密、均匀,色泽金黄,膜厚为132nm,结晶性最好,电阻率最低为33.8μΩ·cm(接近块体氮化钛电阻率)。在可见-近红外光区(波长400~1000nm)的平均吸收率α=0.83,最高红外反射率R=0.90。通过对膜层结构、膜厚、吸收率及反射率的分析,制备的TiN薄膜光谱选择性吸收特性良好,具有很高的应用价值。可用于太阳集热器的吸热表面,并可直接作为光热转换建筑材料。 展开更多
关键词 太阳光谱选择性吸收薄膜 磁控溅射 氮化钛(tin) 吸收率 反射率
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磁控溅射TiN薄膜及其性能研究
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作者 付淑英 《韩山师范学院学报》 2010年第3期35-37,42,共4页
以直流反应磁控溅射方法在Si(111)基底上制备薄膜TiN.研究发现:在保持其他工艺参数不变的条件下,溅射气压在0.3~1.3 Pa范围内,薄膜的主要成分是(111)择优取向的立方相TiN.当溅射气压为0.5 Pa时,沉积的薄膜膜层致密均匀,色泽金黄,膜厚为... 以直流反应磁控溅射方法在Si(111)基底上制备薄膜TiN.研究发现:在保持其他工艺参数不变的条件下,溅射气压在0.3~1.3 Pa范围内,薄膜的主要成分是(111)择优取向的立方相TiN.当溅射气压为0.5 Pa时,沉积的薄膜膜层致密均匀,色泽金黄,膜厚为115.8 nm,结晶性能好.在可见光区半透明而在红外光区呈高反射,红外反射率为90%,具有良好的太阳光谱选择性. 展开更多
关键词 磁控溅射 氮化钛(tin) 反射率
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类金刚石碳膜和氮化钛的摩擦学性能研究 被引量:4
12
作者 刘谦祥 郭希铭 +1 位作者 赵杰 李德军 《天津师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第2期58-61,共4页
报道了在相同条件下用磁控溅射方法在硅片上制备类金刚石膜和氮化钛薄膜的研究结果,比较了两种镀膜在机械性能和结构上的效果.实验结果表明,氮化钛薄膜虽有很高的表面硬度,但其摩擦系数、表面粗糟度比类金刚石膜要高得多.而类金刚石膜... 报道了在相同条件下用磁控溅射方法在硅片上制备类金刚石膜和氮化钛薄膜的研究结果,比较了两种镀膜在机械性能和结构上的效果.实验结果表明,氮化钛薄膜虽有很高的表面硬度,但其摩擦系数、表面粗糟度比类金刚石膜要高得多.而类金刚石膜虽有很低的摩擦系数和光滑的表面,但表面硬度比氮化钛薄膜小.因此,结合两种膜的优点有可能制备高硬度、耐磨性强、表面光滑的新型复合材料. 展开更多
关键词 类金刚石碳膜 氮化钛薄膜 磁控溅射 表面硬度 摩擦系数 机械性能 表面强化工艺 摩擦学
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PIIID复合强化处理轴承钢表面TiN膜层的XPS表征 被引量:4
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作者 刘洪喜 蒋业华 +1 位作者 詹兆麟 汤宝寅 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第9期2585-2589,共5页
用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出... 用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。膜层表面的化学组成和相结构分别用X射线衍射(XRD)和X射线光电子能谱(XPS)表征;膜层表面的原子力显微镜(AFM)形貌显示出TiN膜结晶完整,结构致密均匀。XRD测试结果表明,TiN在(200)晶面衍射峰最强,具有择优取向。Ti(2p)的XPS谱峰泰勒拟合分析揭示出,Ti(2p1/2)峰和Ti2p3/2峰均有双峰出现,表明氮化物中的Ti至少存在不同的化学状态;N(1s)的XPS谱峰在396.51,397.22和399.01 eV附近出现了三个分峰,分别对应于TiNxOy,TiN和N—N键中的氮原子。结合O(1s)的XPS结果,证实膜层中除生成有稳定的TiN相外,还有少量钛的氧化物和未参与反应的单质氮。整个膜层是由TiN,TiO2,Ti—O—N化合物和少量单质氮组成的复合体系。 展开更多
关键词 XPS分析 等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID) 氮化钛薄膜 轴承钢
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