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纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究
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作者 梁建国 王清月 +3 位作者 倪晓昌 胡明列 柴路 贾威 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第4期274-277,共4页
使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得 到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅... 使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得 到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划,并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试,调整光栅的尺寸和排列方式,得到了形状各异的衍射图案. 展开更多
关键词 刻划 衍射 飞秒激光 表面 光参数 微结构 PMMA 光栅 线宽 色散
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