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纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究
1
作者
梁建国
王清月
+3 位作者
倪晓昌
胡明列
柴路
贾威
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2004年第4期274-277,共4页
使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得 到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅...
使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得 到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划,并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试,调整光栅的尺寸和排列方式,得到了形状各异的衍射图案.
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关键词
刻划
衍射
飞秒激光
表面
光参数
微结构
PMMA
光栅
线宽
色散
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职称材料
题名
纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究
1
作者
梁建国
王清月
倪晓昌
胡明列
柴路
贾威
机构
天津大学精密仪器与光电子工程学院超快激光研究室光电信息技术科学教育部重点实验室
出处
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2004年第4期274-277,共4页
基金
教育部科学技术研究重大资助项目(10410)
中国博士后基金资助项目.
文摘
使用振荡器产生的飞秒激光在透明有机材料PMMA表面进行了刻划微结构光栅的研究.通过理论分析得 到了飞秒激光参数和平台移动速度对线宽的影响,进行了系统的加工实验,加工结果与理论分析基本吻合.在透明有机材料PMMA表面进行了多种光栅的刻划,并对刻划的光栅进行了衍射和色散测试,调整光栅的尺寸和排列方式,得到了形状各异的衍射图案.
关键词
刻划
衍射
飞秒激光
表面
光参数
微结构
PMMA
光栅
线宽
色散
Keywords
f
emt
o
sec
o
nd
laser
micr
o
machining
inter
f
erence
signal
detecti
o
n
micr
o
structure
grating
threshold
o
f
ablation
o
f
multiple
pulses
分类号
TN24 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
纳焦飞秒激光在有机材料表面刻划微结构光栅的研究
梁建国
王清月
倪晓昌
胡明列
柴路
贾威
《纳米技术与精密工程》
CAS
CSCD
2004
0
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