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采用光栅投影的三维测量方法 被引量:16
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作者 潘伟 赵毅 阮雪榆 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期28-31,共4页
提出一种新的三维坐标测量方法,该方法基于光栅投影、相移和三角测量等测量方法。与传统的光学测量方法不同,测量系统采用两个CCD相机记录投影光栅,减小了测量误差,提高了测量精度。测量实验结果在各个坐标上的精度分别为?靘,?靘,?8.5靘... 提出一种新的三维坐标测量方法,该方法基于光栅投影、相移和三角测量等测量方法。与传统的光学测量方法不同,测量系统采用两个CCD相机记录投影光栅,减小了测量误差,提高了测量精度。测量实验结果在各个坐标上的精度分别为?靘,?靘,?8.5靘,总体精度优于20靘,证明了该方法的先进性和可行性。 展开更多
关键词 光栅投影 相移 三维坐标测量 曲面测量
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基于全场条纹反射的镜面物体三维面形测量综述 被引量:17
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作者 王月敏 张宗华 高楠 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期1014-1027,共14页
随着集成电路、汽车行业、先进制造和天文学的发展,条纹反射术被广泛应用于测量镜面物体的三维形貌。条纹反射术通过反射条纹图中的相位信息计算被测镜面物体的局部斜率或深度信息来恢复物体的三维形貌。为全面了解条纹反射术研究的最... 随着集成电路、汽车行业、先进制造和天文学的发展,条纹反射术被广泛应用于测量镜面物体的三维形貌。条纹反射术通过反射条纹图中的相位信息计算被测镜面物体的局部斜率或深度信息来恢复物体的三维形貌。为全面了解条纹反射术研究的最新进展,本文综述了条纹反射的基本原理、反射条纹产生的方式、相位的计算方法、系统参数的标定和斜率积分获得深度数据,同时介绍了不依赖积分过程的直接条纹反射术。通过具体的应用和实例,指出了条纹反射术的优缺点。最后,指出了条纹反射术未来的研究方向。该综述文章为深入研究镜面反射物体的三维面形测量提供了有益的参考。 展开更多
关键词 三维面形测量 条纹反射术 镜面物体 斜率积分
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基于主成分分析的大型管道三维表面重建 被引量:12
3
作者 闫勇刚 邓小玲 +1 位作者 姚丽峰 明平美 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期2567-2573,共7页
针对大量的点云数据要求快速、方便且精度高的特点,在轮廓线拼接建模方法的基础上提出一种结合主成分分析的三维表面建模方法。由结构光扫描系统获得点云;通过热传导模型将点云进行片层分割并进行主成分分析,得到纬度圈,从而获得纬度圈... 针对大量的点云数据要求快速、方便且精度高的特点,在轮廓线拼接建模方法的基础上提出一种结合主成分分析的三维表面建模方法。由结构光扫描系统获得点云;通过热传导模型将点云进行片层分割并进行主成分分析,得到纬度圈,从而获得纬度圈上的所有对应点对;在相邻点对之间进行柱面插值连接,生成物体的四边形网格模型和三维表面模型。结果显示,被测管道重构表面平均误差为0.19 mm,小于采用基于轮廓线拼接方法得到模型的平均误差。结果表明,采用基于主成分分析的方法进行管道三维表面重构,其精度得到了有效地提高,满足工程测量的精度要求;同时也证明了该方法的正确性。该重构方法适用于表面是一阶连续性被测物体尺寸及变形的分析。 展开更多
关键词 结构光扫描 三维表面重建 主成分分析 点云测量 轮廓线拼接
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相位测量轮廓术中时空结合的三频相位展开 被引量:11
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作者 侯艳丽 梁瀚钢 +1 位作者 李付谦 陈文静 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第1期167-175,共9页
提出了一种时空结合的三频时间相位展开方法,提高了三频时间相位展开方法的抑噪能力和相位展开的可靠度。在所提方法中,用灵敏度大于1的条纹代替传统三频时间相位展开法中灵敏度为1的条纹。通过计算这些条纹的截断相位,对其进行空间相... 提出了一种时空结合的三频时间相位展开方法,提高了三频时间相位展开方法的抑噪能力和相位展开的可靠度。在所提方法中,用灵敏度大于1的条纹代替传统三频时间相位展开法中灵敏度为1的条纹。通过计算这些条纹的截断相位,对其进行空间相位展开,并利用这些展开相位来指导其他两帧高灵敏度截断相位图的展开。与传统三频时间相位展开方法相比,在最高灵敏度条纹空间频率相同的情况下,所提方法缩小了三套条纹之间的频率倍数差,进而减小了噪声对相位展开的影响,提高了三频时间相位展开的可靠度和精度。 展开更多
关键词 测量 三维面形测量 相位测量轮廓术 三频相位展开 时空相位展开
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提高小波变换轮廓术测量精度的方法 被引量:8
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作者 张诚 陈文静 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期116-125,共10页
小波在空域和频域上均具有良好的局域化性能,适合于非平稳信号分析。在传统的小波变换轮廓术中,对基小波进行尺度伸缩,即调整子小波的中心频率,去匹配局部条纹,以获取对应的相位信息。但仅在局部位置对Morlet小波进行尺度伸缩不能最佳... 小波在空域和频域上均具有良好的局域化性能,适合于非平稳信号分析。在传统的小波变换轮廓术中,对基小波进行尺度伸缩,即调整子小波的中心频率,去匹配局部条纹,以获取对应的相位信息。但仅在局部位置对Morlet小波进行尺度伸缩不能最佳地提取局部相位信息。详细分析了振荡波形随高斯窗宽变化的复Morlet小波在条纹分析中的特点,提出了一种改进的小波处理方法。将所提方法的相位重建结果与基于代价函数的小波方法的相位重建结果进行比较。结果表明:所提方法综合了不同窗宽的复Morlet小波优点,具有更可靠的脊提取结果;所提的优化小波脊提取方法在条纹分析中具有更好的抑噪能力,提高了小波变换轮廓术的测量精度;计算机模拟和实验均验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 测量 相位提取 复Morlet小波 条纹分析 三维面形测量 小波变换
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瞬态飞行目标三维面形的多视角测量系统 被引量:7
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作者 马锁冬 朱日宏 +4 位作者 李建欣 高志山 罗红娥 王海林 单小琴 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期3091-3097,共7页
在运动力学、弹道学等研究的一些动态过程中,瞬态飞行目标的三维面形与其结构、形变、应力和烧蚀等情况有着密切的关系,而对其面形的多视角测量目前还无法实现。针对这一难题,基于结构光技术设计并搭建了一套正六边形的测量系统,利用三... 在运动力学、弹道学等研究的一些动态过程中,瞬态飞行目标的三维面形与其结构、形变、应力和烧蚀等情况有着密切的关系,而对其面形的多视角测量目前还无法实现。针对这一难题,基于结构光技术设计并搭建了一套正六边形的测量系统,利用三套投影摄像装置将正弦光栅多角度、瞬时、同步投影到瞬态飞行目标的表面,采集其条纹图像,再经小波变换处理,最终得到目标的三维面形。实验结果表明,该系统能有效地实现对瞬态飞行目标复杂三维面形的非接触式、多视角、快速测量。 展开更多
关键词 三维面形测量 瞬态飞行目标 小波变换 瞬时投影 多视角
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基于特征面片的复杂型面轮廓视觉测量方法 被引量:5
7
作者 李进军 赵宏 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期117-125,共9页
提出一种基于特征面片的复杂型面轮廓三维视觉测量方法。该方法包括多模式局部特征检测与匹配、特征面片集初始化、膨胀、滤波等重构过程,其输入是已标定的立体图像,输出是覆盖表面的可视稠密面片集。该方法不需要目标和场景的任何初始... 提出一种基于特征面片的复杂型面轮廓三维视觉测量方法。该方法包括多模式局部特征检测与匹配、特征面片集初始化、膨胀、滤波等重构过程,其输入是已标定的立体图像,输出是覆盖表面的可视稠密面片集。该方法不需要目标和场景的任何初始边界信息,能够自动检测和抛弃外部点和缺失部分;不需要对邻域特征进行任何平滑处理,仅需通过局部单演特征一致约束、立体极线约束和表面可视性约束来高效地匹配、膨胀和滤波稀疏表面点集,并生成密集表面点集。采用多项式曲面提取算法重建三维几何网格模型,采用子采样法将彩色、纹理等特征融合进三维几何网格,重建高保真的三维实体形貌。 展开更多
关键词 测量 特征面片 立体视觉 三维轮廓测量
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双目立体视觉的波浪表面重建 被引量:5
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作者 梁海香 《无线电工程》 2019年第8期678-682,共5页
针对水面波浪的三维重建问题,提出了结合计算机视觉和光学方面技术的三维重建算法。主要采用双目立体视觉的方法测量浪高,通过采用立体视觉方法计算得出三维坐标,采用最小二乘法将三维坐标拟合为三维曲面;再将平静水面和波浪水面的三维... 针对水面波浪的三维重建问题,提出了结合计算机视觉和光学方面技术的三维重建算法。主要采用双目立体视觉的方法测量浪高,通过采用立体视觉方法计算得出三维坐标,采用最小二乘法将三维坐标拟合为三维曲面;再将平静水面和波浪水面的三维坐标进行对比,生成波浪等高线图。实验结果表明,此算法的三维重建效果较好,并且波浪高度的计算效果与实际波浪高度误差较小。 展开更多
关键词 双目相机 立体视觉 双目标定 特征提取 立体匹配 三维重建 波浪表面重建 波浪高度测量
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超精密表面形貌光学测量系统 被引量:4
9
作者 邵杨锋 傅云霞 +3 位作者 雷李华 李源 蔡潇雨 李东升 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第10期679-684,690,共7页
为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量。基于C#语言与DirectX11开发组件... 为了解决实际测量中单一测量方法存在的局限性,结合白光干涉测量技术与共聚焦测量技术,通过紧凑型部分共光路结构原则,设计并搭建了一套超精密表面形貌光学测量系统,实现微纳米几何形貌的三维重构与测量。基于C#语言与DirectX11开发组件,开发了上位机执行软件,实现了两种光学测量模式下硬件的协调控制及纳米标准样板表面形貌的三维重构。对台阶高度标定值为(98.8±0.6)nm的台阶标准样板进行测量,实验表明:用白光干涉测量模式和共聚焦测量模式分别实现了对台阶样板的大范围快速测量和小范围精密测量,10次测量的平均值分别为100.5和99.8 nm,标准差均小于2 nm,说明该系统能较好地满足微纳器件超精密表面形貌测量的要求。 展开更多
关键词 白光干涉测量 共聚焦测量 协调控制 三维重构 表面形貌测量
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Influence of sampling on three-dimensional surface shape measurement
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作者 QIAO Nao-sheng Shang Xue 《中国光学(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第6期1512-1520,共9页
In order to accurately measure an object’s three-dimensional surface shape,the influence of sampling on it was studied.First,on the basis of deriving spectra expressions through the Fourier transform,the generation o... In order to accurately measure an object’s three-dimensional surface shape,the influence of sampling on it was studied.First,on the basis of deriving spectra expressions through the Fourier transform,the generation of CCD pixels was analyzed,and its expression was given.Then,based on the discrete expression of deformation fringes obtained after sampling,its Fourier spectrum expression was derived,resulting in an infinitely repeated"spectra island"in the frequency domain.Finally,on the basis of using a low-pass filter to remove high-order harmonic components and retaining only one fundamental frequency component,the inverse Fourier transform was used to reconstruct the signal strength.A method of reducing the sampling interval,i.e.,reducing the number of sampling points per fringe,was proposed to increase the ratio between the sampling frequency and the fundamental frequency of the grating.This was done to reconstruct the object’s surface shape more accurately under the condition of m>4.The basic principle was verified through simulation and experiment.In the simulation,the sampling intervals were 8 pixels,4 pixels,2 pixels,and 1 pixel,the maximum absolute error values obtained in the last three situations were 88.80%,38.38%,and 31.50%in the first situation,respectively,and the corresponding average absolute error values are 71.84%,43.27%,and 32.26%.It is demonstrated that the smaller the sampling interval,the better the recovery effect.Taking the same four sampling intervals in the experiment as in the simulation can also lead to the same conclusions.The simulated and experimental results show that reducing the sampling interval can improve the accuracy of object surface shape measurement and achieve better reconstruction results. 展开更多
关键词 three-dimensional surface shape measurement sampling interval spectra overlapping measurement accuracy
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基于数字图像相关法的透明液滴形貌测量方法
11
作者 谭新韵 沈丽骊 孙晨 《实验力学》 CSCD 北大核心 2024年第1期7-16,共10页
对固体表面液滴形貌的测量与分析是探究固-液相互作用、表面性能表征中的重要环节。然而,透明液滴通常在光学系统中难以成像,从而为其全场形貌测量带来了极大困难。为此,本文提出了一种透明液滴三维形貌测量方法,以液滴诱发图像位移结... 对固体表面液滴形貌的测量与分析是探究固-液相互作用、表面性能表征中的重要环节。然而,透明液滴通常在光学系统中难以成像,从而为其全场形貌测量带来了极大困难。为此,本文提出了一种透明液滴三维形貌测量方法,以液滴诱发图像位移结合折射成像规律实现液滴形貌的测量。首先,通过数字图像相关法测量液滴导致的固体表面图像位移;其次,建立基于折射成像的物理模型,确立图像位移与液面高度之间的关系;最后,由实验测量到的图像位移,结合物理模型求解液面高度,实现液滴三维形貌的重建。实验结果表明,所提出的方法能够准确地测量固体表面的液滴三维形貌,并且适用于不规则液面的测量。 展开更多
关键词 液滴 三维形貌 数字图像相关 全场测量
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基于三维扫描技术的曲面精密检测试验 被引量:3
12
作者 马维康 王斌 +4 位作者 岳永天 季生文 刘晓红 林海宏 康德泰 《机械研究与应用》 2019年第6期5-7,共3页
以导流片试验件为检测对象,通过手持式智能激光扫描仪对试验件不同工序段进行扫描测量,将扫描的三维点云数据与设计的理论数模进行对比分析,得出型面精度的偏差情况,以此来检验试验件是否合格,将前后两段不同工序的扫描数据进行对比分析... 以导流片试验件为检测对象,通过手持式智能激光扫描仪对试验件不同工序段进行扫描测量,将扫描的三维点云数据与设计的理论数模进行对比分析,得出型面精度的偏差情况,以此来检验试验件是否合格,将前后两段不同工序的扫描数据进行对比分析,以监测曲面的变形量,对大中型曲面产品加工过程中在质量把控方面有很大的意义和价值。 展开更多
关键词 三维激光扫描 曲面测量 色谱图 曲面变形
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Determination of Surface Roughness in Wire and Arc Additive Manufacturing Based on Laser Vision Sensing 被引量:2
13
作者 Jun Xiong Yan-Jiang Li +1 位作者 Zi-Qiu Yin Hui Chen 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第4期133-139,共7页
Wire and arc additive manufacturing(WAAM) shows a great promise for fabricating fully dense metal parts by means of melting materials in layers using a welding heat source. However, due to a large layer height produce... Wire and arc additive manufacturing(WAAM) shows a great promise for fabricating fully dense metal parts by means of melting materials in layers using a welding heat source. However, due to a large layer height produced in WAAM, an unsatisfactory surface roughness of parts processed by this technology has been a key issue. A methodology based on laser vision sensing is proposed to quantitatively calculate the surface roughness of parts deposited by WAAM.Calibrations for a camera and a laser plane of the optical system are presented. The reconstruction precision of the laser vision system is verified by a standard workpiece. Additionally, this determination approach is utilized to calculate the surface roughness of a multi-layer single-pass thin-walled part. The results indicate that the optical measurement approach based on the laser vision sensing is a simple and effective way to characterize the surface roughness of parts deposited by WAAM. The maximum absolute error is less than 0.15 mm. The proposed research provides the foundation for surface roughness optimization with different process parameters. 展开更多
关键词 Wire and arc additive manufacturing surface roughness measurement Laser vision sensing three-dimensional reconstruction
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三维激光扫描技术在柱形建筑倾斜度测量中的应用 被引量:2
14
作者 田绍泉 《经纬天地》 2023年第4期87-90,共4页
柱形建筑是生活中常见的建筑形态,对柱形建筑倾斜度监测能帮助评估建筑物的结构稳定性和安全性,及时发现和解决潜在的倾斜问题,确保周边居民安全。传统的倾斜度测量方法通常依赖于全站仪和传感器测量,存在工作量大、时间和经济成本高等... 柱形建筑是生活中常见的建筑形态,对柱形建筑倾斜度监测能帮助评估建筑物的结构稳定性和安全性,及时发现和解决潜在的倾斜问题,确保周边居民安全。传统的倾斜度测量方法通常依赖于全站仪和传感器测量,存在工作量大、时间和经济成本高等问题。本文以柱状灯塔为例,基于三维激光扫描技术获取目标体点云数据,利用高斯曲面拟合算法对其表面进行拟合,精确计算出建筑物倾斜量,并与全站仪倾斜观测结果进行对比,研究结果对市政和应急管理部门了解建筑物变形量,制定必要保护措施等具有较高的参考价值。 展开更多
关键词 三维激光扫描 柱形建筑 高斯曲面拟合 倾斜测量
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基于自适应短时傅里叶变换的结构光场单帧三维成像算法 被引量:2
15
作者 贾尚恩 安俊睿 +2 位作者 周光泉 何思渊 周平 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2023年第8期324-329,共6页
单帧结构光图像的相位恢复、解相是三维成像领域的重要问题。理论上,在选择合适参数的条件下,短时傅里叶变换(STFT)可以有效地完成相位恢复,但“合适参数”这一前提条件往往因缺少先验信息而难以实现。在传统STFT的基础上,采用结构光场... 单帧结构光图像的相位恢复、解相是三维成像领域的重要问题。理论上,在选择合适参数的条件下,短时傅里叶变换(STFT)可以有效地完成相位恢复,但“合适参数”这一前提条件往往因缺少先验信息而难以实现。在传统STFT的基础上,采用结构光场系统充分利用光场成像的特性,提出一种基于自适应STFT的结构光场单帧三维成像算法。所提算法将结构光场图像从纹理、瞬时频率和深度估计信息等3个角度进行融合,将光场图像分割为满足STFT约束的若干区域,对每个区域依据瞬时频率估计对应的STFT的参数,进而恢复相对相位。随后,采用结构光场的解相方法实现三维成像。实验结果表明,所提自适应STFT算法能够有效完成被测物体的三维成像。 展开更多
关键词 成像系统 光场 结构光 相位调制 三维成像 表面测量 轮廓
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发散圆形条纹投影的共轴三维测量方法 被引量:2
16
作者 陈琦立 陈文静 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第19期74-82,共9页
在基于条纹投影的三维测量方法中,圆形正弦条纹比线性条纹具有更高的相位灵敏度。提出一种基于发散投影光线几何关系的圆形条纹投影共轴三维测量方法。沿光轴方向移动投影仪使得物面上的条纹发生变化,利用电荷耦合器件(CCD)采集对应的... 在基于条纹投影的三维测量方法中,圆形正弦条纹比线性条纹具有更高的相位灵敏度。提出一种基于发散投影光线几何关系的圆形条纹投影共轴三维测量方法。沿光轴方向移动投影仪使得物面上的条纹发生变化,利用电荷耦合器件(CCD)采集对应的条纹图,并从中解算出不同的相位场。利用投影仪位移带来的投影光线变化建立起相位信息和物体高度间的约束,不需要获取复杂的系统参数就能重建物面的高度信息,减少测量中存在的阴影和遮挡问题。仿真和实验结果均表明了所提方法的有效性和实用性。 展开更多
关键词 测量 三维面形测量 圆形条纹投影 发散投影 共轴系统
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一种Web三维地形表面积测量方法 被引量:2
17
作者 廖洋洋 陈建华 +2 位作者 张倩 刘帅 粟解 《物探化探计算技术》 CAS 2022年第1期122-126,共5页
由于传统地形测量的局限,存在费时、费力、误差较大并且在某些高危险区域无法实地测量。传统的二维WebGIS只是对地形的投影面积进行简单测量,无法真实有效测量三维地形的表面积。随着互联网技术与地理信息技术的快速发展,这里提出了一种... 由于传统地形测量的局限,存在费时、费力、误差较大并且在某些高危险区域无法实地测量。传统的二维WebGIS只是对地形的投影面积进行简单测量,无法真实有效测量三维地形的表面积。随着互联网技术与地理信息技术的快速发展,这里提出了一种Web环境下,借助Cesium内置的方法,采用浏览器内核计算,并基于Cesium的三维地形切片表面积测量的方法。通过绘制测量区域,对区域进行三角网切割,区域插值点生成,计算插值点高程,创建Delaunay三角网,计算欧式距离,最后利用海伦公式求取所有三角形面积。实验结果表明,该方法可以较为准确地测量三维地形的表面积,并且弥补人工无法在高危险区域实地测量的缺陷,为三维地形测量提供了一种相对可靠的方案。 展开更多
关键词 WEB CESIUM 三维 DELAUNAY三角网 表面积测量
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机械零件三维表面形貌测量与评定的研究 被引量:2
18
作者 杨旭东 李家春 谢铁邦 《机械设计与制造》 北大核心 2007年第8期102-104,共3页
介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了5nm左右。另外,带计量系统的二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作... 介绍了机械零件三维表面形貌的测量与评定,分析了激光干涉式位移传感器的光学原理和干涉条纹信号的细分方法。激光干涉式位移传感器的精度达到了5nm左右。另外,带计量系统的二维工作台也是整个测量系统的关键部分。因为采用了光栅尺作为二维工作台的计量系统,所以在表面形貌的测量过程中二维工作台在X和Y两个水平方向上都能获得精确的定位。 展开更多
关键词 机械零件 三维表面形貌 测量与评定
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基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量 被引量:1
19
作者 周俊涛 高志山 +5 位作者 孙一峰 马剑秋 谢澎飞 张佳乐 郭珍艳 袁群 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第15期72-79,共8页
传统的低相干垂直扫描方法在测量高度达数十或数百微米的台阶或沟槽类微结构的表面三维形貌时,测量效率低下。为此,提出一种基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量方法,该方法包含两次垂直扫描过程。建立描述单幅干涉图条纹对比度的... 传统的低相干垂直扫描方法在测量高度达数十或数百微米的台阶或沟槽类微结构的表面三维形貌时,测量效率低下。为此,提出一种基于光谱分布特性的快速垂直扫描形貌测量方法,该方法包含两次垂直扫描过程。建立描述单幅干涉图条纹对比度的评价函数,利用粗扫描来定位被测件上下表面的大致位置,并联系上下两幅粗扫描图像计算出覆盖被测件上下表面相干区域的精扫描采图区域。精扫描在其他区域直接跳过但记录位移量,结合π/2扫描移相的精扫描干涉图复原被测件的表面三维形貌。粗扫描的扫描步长由低相干光谱分布计算得到,精扫描步长为中心波长的1/8。以高度为7.805μm的台阶板和深度为200.99μm的沟槽进行实验,结果表明,所提方法相比传统垂直扫描方法的采图时间分别缩短了48.2%和55.2%。 展开更多
关键词 测量 表面三维形貌 快速垂直扫描测量 光谱分布特性
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基于垂直扫描的精密三维工作台及应用 被引量:1
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作者 黎新 陈育荣 王生怀 《自动化与仪器仪表》 2011年第6期96-97,100,共3页
介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放置在X-Y二维工作台上方。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷... 介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,它由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。垂直扫描工作台放置在X-Y二维工作台上方。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位。衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量。 展开更多
关键词 三维精密工作台 垂直扫描 表面形貌测量 压电陶瓷驱动器
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