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超低温薄膜压力传感器的研究
被引量：
6
1
作者
李小换
邹其利
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期171-174,共4页
超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜...
超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。
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关键词
薄膜压力传感器薄膜沉积
灵敏度温度自补偿
薄膜激光修调
液氢
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职称材料
题名
超低温薄膜压力传感器的研究
被引量：
6
1
作者
李小换
邹其利
张世名
机构
航天长征火箭技术有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期171-174,共4页
文摘
超低温薄膜压力传感器可用于液氢、液氮、液氧等低温环境的压力测量,目前国内外超低温压力传感器产品的工作温度最低为-200℃.文中主要介绍了对超低温薄膜压力传感器的研究,通过薄膜压力传感器设计和工艺技术研究,成功研制出超低温薄膜压力传感器,并在-253(液氢)～+60℃温度环境下进行压力传感器静态性能测试,结果表明传感器性能指标优异,实现了超低温薄膜压力传感器技术突破。
关键词
薄膜压力传感器薄膜沉积
灵敏度温度自补偿
薄膜激光修调
液氢
Keywords
thin
film
deposition
thin
film
pressure
sensor
thin
films
laser
repaired
liquid
hydrogen
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超低温薄膜压力传感器的研究
李小换
邹其利
张世名
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009
6
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