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重频激光辐照半导体损伤的有限元分析 被引量:8
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作者 刘全喜 钟鸣 +4 位作者 江东 齐文宗 蔡邦维 郝秋龙 赵方东 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第8期670-674,共5页
在考虑到材料热力学参数随温度变化的前提下,以热传导方程和热弹方程为基础,采用有限元分析算法,考查了200ns脉宽、1064nm波长重频激光辐照下,半导体材料InSb体内的温升和热应力分布,分析了由温升效应所致该材料的损伤破坏类型,探讨了... 在考虑到材料热力学参数随温度变化的前提下,以热传导方程和热弹方程为基础,采用有限元分析算法,考查了200ns脉宽、1064nm波长重频激光辐照下,半导体材料InSb体内的温升和热应力分布,分析了由温升效应所致该材料的损伤破坏类型,探讨了热熔融损伤和热应力损伤阈值随光斑尺寸、脉宽、重复率、脉冲次数等的变化规律。 展开更多
关键词 重频激光 损伤阈值 有限元分析 INSB 热传导方程 热弹方程
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