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重频激光辐照半导体损伤的有限元分析
被引量:
8
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作者
刘全喜
钟鸣
+4 位作者
江东
齐文宗
蔡邦维
郝秋龙
赵方东
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第8期670-674,共5页
在考虑到材料热力学参数随温度变化的前提下,以热传导方程和热弹方程为基础,采用有限元分析算法,考查了200ns脉宽、1064nm波长重频激光辐照下,半导体材料InSb体内的温升和热应力分布,分析了由温升效应所致该材料的损伤破坏类型,探讨了...
在考虑到材料热力学参数随温度变化的前提下,以热传导方程和热弹方程为基础,采用有限元分析算法,考查了200ns脉宽、1064nm波长重频激光辐照下,半导体材料InSb体内的温升和热应力分布,分析了由温升效应所致该材料的损伤破坏类型,探讨了热熔融损伤和热应力损伤阈值随光斑尺寸、脉宽、重复率、脉冲次数等的变化规律。
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关键词
重频激光
损伤阈值
有限元分析
INSB
热传导方程
热弹方程
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职称材料
题名
重频激光辐照半导体损伤的有限元分析
被引量:
8
1
作者
刘全喜
钟鸣
江东
齐文宗
蔡邦维
郝秋龙
赵方东
机构
四川大学电子信息学院
西南技术物理所
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第8期670-674,共5页
基金
西南技术物理研究所资助课题
文摘
在考虑到材料热力学参数随温度变化的前提下,以热传导方程和热弹方程为基础,采用有限元分析算法,考查了200ns脉宽、1064nm波长重频激光辐照下,半导体材料InSb体内的温升和热应力分布,分析了由温升效应所致该材料的损伤破坏类型,探讨了热熔融损伤和热应力损伤阈值随光斑尺寸、脉宽、重复率、脉冲次数等的变化规律。
关键词
重频激光
损伤阈值
有限元分析
INSB
热传导方程
热弹方程
Keywords
multiple
laser
damage
threshold
finite
element
analysis
InSb
thermal
conduction
equation
thermalelastic
equation
.
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
重频激光辐照半导体损伤的有限元分析
刘全喜
钟鸣
江东
齐文宗
蔡邦维
郝秋龙
赵方东
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2006
8
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参考文献
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