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题名多晶硅压力传感器热灵敏度漂移补偿技术
被引量：11
- 1
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作者
罗秦川
张生才
姚素英
张为
曲宏伟
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机构
天津大学电子信息工程学院
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2003年第5期33-36,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(69876027)
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文摘
列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点。对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试。实验表明,这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器。
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关键词
多晶硅
压力传感器
热灵敏度漂移
灵敏系数
温度补偿
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Keywords
pressure sensor
polysilicon
thermal sensitivity shift
gauge factor
temperature compensation
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名温度对聚偏氟乙烯压力传感器灵敏度的影响
被引量：6
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作者
曾辉
余尚江
杨吉祥
丁世敬
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机构
总参工程兵科研三所
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第6期46-48,共3页
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文摘
聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的热电效应对PVDF压力传感器的输出灵敏度影响较大。通过对研制的PVDF压力传感器灵敏度受温度影响的试验研究得出:传感器的灵敏度随温度增加而增大,两者关系是一条曲线;在-20～60℃范围内其热灵敏度漂移系数是个常数,其值为0.007619℃;利用室温时传感器校准得出的输出灵敏度,用公式可以计算出-20～60℃范围内任何温度时的灵敏度,从而实现了传感器灵敏度受热电效应影响的修正。
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关键词
聚偏氟乙烯
压力传感器
灵敏度
热电效应
热灵敏度漂移
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Keywords
polyvinylidene fluoride(PVDF)
pressure transducer
sensitivity
pyroelectric effect
thermal sensitivity shift
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分类号
TH812.5
[机械工程—仪器科学与技术]
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题名微压式液位传感器热灵敏度漂移的补偿
被引量：4
- 3
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作者
崔宏敏
鞠文斌
董加国
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机构
中国电子科技集团公司第四十九研究所
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第5期51-53,共3页
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文摘
介绍了微压式液位传感器的工作原理、总体结构设计及热灵敏度漂移的补偿技术与方法,给出了补偿结果,验证了补偿技术与方法的有效性和可行性,为提高硅压阻式传感器的温度稳定性与准确度提供了一种实用有效的新方法。
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关键词
微压式液位传感器
热灵敏度漂移
温度补偿
工作原理
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Keywords
transducer
micropressure
piezoresistance
liquid level
thermal sensitivity shift
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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