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影响高压阳极铝箔隧道孔极限长度的因素
被引量：
10
1
作者
王玫
何业东
洪涛
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期17-20,共4页
研究了高压阳极铝箔在HCl-H2SO4腐蚀体系中,H2SO4/HCl浓度比、Al3+浓度、温度和电流密度对隧道孔长度和铝箔芯层厚度的影响规律。结果表明:提高H2SO4/HCl浓度比、Al3+浓度温度和电流密度,均可缩短隧道孔长度和增加芯层厚度。提出隧道孔...
研究了高压阳极铝箔在HCl-H2SO4腐蚀体系中,H2SO4/HCl浓度比、Al3+浓度、温度和电流密度对隧道孔长度和铝箔芯层厚度的影响规律。结果表明:提高H2SO4/HCl浓度比、Al3+浓度温度和电流密度,均可缩短隧道孔长度和增加芯层厚度。提出隧道孔的生长受Al3+在隧道孔中的扩散和铝箔表面扩散层中的扩散共同控制,可以对上述因素的影响规律做出更合理的解释。
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关键词
电子技术
极限长度
芯层厚度
HCl-H2SO4腐蚀体系
扩散控制
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职称材料
题名
影响高压阳极铝箔隧道孔极限长度的因素
被引量：
10
1
作者
王玫
何业东
洪涛
机构
北京科技大学北京市腐蚀磨蚀与表面技术重点实验室
新疆众和股份有限公司
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期17-20,共4页
基金
国家"863"计划资助项目(2003AA32x170)
文摘
研究了高压阳极铝箔在HCl-H2SO4腐蚀体系中,H2SO4/HCl浓度比、Al3+浓度、温度和电流密度对隧道孔长度和铝箔芯层厚度的影响规律。结果表明:提高H2SO4/HCl浓度比、Al3+浓度温度和电流密度,均可缩短隧道孔长度和增加芯层厚度。提出隧道孔的生长受Al3+在隧道孔中的扩散和铝箔表面扩散层中的扩散共同控制,可以对上述因素的影响规律做出更合理的解释。
关键词
电子技术
极限长度
芯层厚度
HCl-H2SO4腐蚀体系
扩散控制
Keywords
electron
technology
the
limiting
length
the
thickness
of
a
non
-
piercing
layer
HCl-H2SO4
etchant
solutions
diffusion
control
分类号
TM535 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
影响高压阳极铝箔隧道孔极限长度的因素
王玫
何业东
洪涛
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2007
10
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职称材料
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