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棱镜塔差的高精度检测 被引量:3
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作者 蒋留杰 王新杰 +3 位作者 翟玉生 刘佳明 冯飞翔 王启真 《激光杂志》 北大核心 2017年第7期60-63,共4页
提出了一种棱镜第二光学平行差(塔差)的高精度检测方法。准直光束垂直入射到直角棱镜的斜边面,经直角棱镜反射后返回,被四象限探测器QD接收,使直角棱镜沿平行于光线方向的直线导轨移动,由直角棱镜在直线导轨近端与远端时QD测得的光斑位... 提出了一种棱镜第二光学平行差(塔差)的高精度检测方法。准直光束垂直入射到直角棱镜的斜边面,经直角棱镜反射后返回,被四象限探测器QD接收,使直角棱镜沿平行于光线方向的直线导轨移动,由直角棱镜在直线导轨近端与远端时QD测得的光斑位置差值即可计算得到棱镜塔差。方法可避免棱镜装配误差的影响,系统结构简单紧凑。通过理论分析、仿真和实验,验证了方法的可行性。在设定参数下,测量分辨率可达到0.01″,测量精度优于1″。 展开更多
关键词 测量 第二光学平行差(塔差) 直角棱镜 激光准直
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