期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
超薄锗单晶抛光片质量稳定性研究
被引量：
5
1
作者
王云彪
杨洪星
+1 位作者
耿莉
郭亚坤
《中国电子科学研究院学报》
北大核心
2016年第5期527-531,共5页
P型超薄锗抛光片是制作空间太阳能电池的衬底材料,表面质量状态的稳定性控制对于后续外延及器件质量有着重要的影响。通过分析抛光工艺过程、清洗工艺过程、包装质量对稳定性的影响,首次提出了采用表面微观平坦度和表面雾值来衡量锗抛...
P型超薄锗抛光片是制作空间太阳能电池的衬底材料,表面质量状态的稳定性控制对于后续外延及器件质量有着重要的影响。通过分析抛光工艺过程、清洗工艺过程、包装质量对稳定性的影响,首次提出了采用表面微观平坦度和表面雾值来衡量锗抛光片表面质量优劣和稳定性,对于提高锗抛光片加工水平和统一控制标准,具有重要的意义。
展开更多
关键词
锗抛光片
表面质量
微观平坦度
雾值
稳定性
下载PDF
职称材料
题名
超薄锗单晶抛光片质量稳定性研究
被引量：
5
1
作者
王云彪
杨洪星
耿莉
郭亚坤
机构
中国电子科技集团公司第四十六研究所
出处
《中国电子科学研究院学报》
北大核心
2016年第5期527-531,共5页
文摘
P型超薄锗抛光片是制作空间太阳能电池的衬底材料,表面质量状态的稳定性控制对于后续外延及器件质量有着重要的影响。通过分析抛光工艺过程、清洗工艺过程、包装质量对稳定性的影响,首次提出了采用表面微观平坦度和表面雾值来衡量锗抛光片表面质量优劣和稳定性,对于提高锗抛光片加工水平和统一控制标准,具有重要的意义。
关键词
锗抛光片
表面质量
微观平坦度
雾值
稳定性
Keywords
germanium
polished
wafer
surface
quality
the
microcosmic
surface
flatness
surface
fog
value
stability
分类号
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超薄锗单晶抛光片质量稳定性研究
王云彪
杨洪星
耿莉
郭亚坤
《中国电子科学研究院学报》
北大核心
2016
5
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
