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新一代二维通道电子倍增器的薄膜连续打拿极
被引量：
2
1
作者
李野
高延军
+5 位作者
王国政
付申成
吴奎
姜德龙
端木庆铎
田景全
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期421-425,共5页
概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板(RLSG-MCP)及其特点以及MCP的新发展;介绍了材料的二次发射特性,给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构特点和形成工艺。在此基础上,重点论述了用半导体工艺技术制作新一代二维电子倍增器———先进技术...
概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板(RLSG-MCP)及其特点以及MCP的新发展;介绍了材料的二次发射特性,给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构特点和形成工艺。在此基础上,重点论述了用半导体工艺技术制作新一代二维电子倍增器———先进技术微通道板(AT-MCP)的薄膜连续打拿极制备新技术,给出了具体工艺和实验结果,示出了电镜照片和实验曲线,指出了新工艺的优点和发展前景。
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关键词
微通道板
连续打拿极
低压化学气相沉积
二次电子发射
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职称材料
题名
新一代二维通道电子倍增器的薄膜连续打拿极
被引量：
2
1
作者
李野
高延军
王国政
付申成
吴奎
姜德龙
端木庆铎
田景全
机构
长春理工大学理学院
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期421-425,共5页
文摘
概述了传统还原铅硅酸盐玻璃微通道板(RLSG-MCP)及其特点以及MCP的新发展;介绍了材料的二次发射特性,给出了传统MCP薄膜连续打拿极结构特点和形成工艺。在此基础上,重点论述了用半导体工艺技术制作新一代二维电子倍增器———先进技术微通道板(AT-MCP)的薄膜连续打拿极制备新技术,给出了具体工艺和实验结果,示出了电镜照片和实验曲线,指出了新工艺的优点和发展前景。
关键词
微通道板
连续打拿极
低压化学气相沉积
二次电子发射
Keywords
micro-channel-plate
continuous
dynode
low-pressure
chemical
vapor
deposition
secondary
electron
emitting
分类号
TN146 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新一代二维通道电子倍增器的薄膜连续打拿极
李野
高延军
王国政
付申成
吴奎
姜德龙
端木庆铎
田景全
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
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