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高g值加速度传感器校准不确定度及误差分析 被引量：7
1
作者 王艳阳 石云波 +2 位作者 王华 康强 杨志才 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期971-976,共6页
总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研... 总结了霍普金森杆校准MEMS高量程加速度传感器过程中的不确定度、误差来源及影响。通过对实验设备中存在误差和不确定因素的各个方面进行分析研究,得到实验设备的不确定度为1.7%,并分析了两种标定方式结果。在此实验基础上对实验室自研的传感器进行了标定,得到了传感器的参考灵敏度。 展开更多
关键词 MEMS 高量程 差动式激光干涉仪 高g值加速度计 不确定度 误差分析
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