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通过改进非本征法布里-珀罗干涉型光纤传感器结构实现温度补偿的新方法（英文） 被引量：6
1
作者 赵子文 王为宇 +2 位作者 张敏 谢尚然 廖延彪 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第9期41-45,共5页
针对非本征法布里珀罗干涉型(EFPI)光纤传感器外毛细管热胀冷缩引起的温度敏感问题,提出了通过在毛细管内部反射光纤表面镀温度补偿膜(实验中使用铜膜)来降低温度影响的方法,并推导了相关的数学模型,进行了实验研究。实验结果证明了该... 针对非本征法布里珀罗干涉型(EFPI)光纤传感器外毛细管热胀冷缩引起的温度敏感问题,提出了通过在毛细管内部反射光纤表面镀温度补偿膜(实验中使用铜膜)来降低温度影响的方法,并推导了相关的数学模型,进行了实验研究。实验结果证明了该温度补偿方法的有效性和可控性。实验中,铜膜的轴向长度和补偿系数表现出了良好的线性关系,1mm轴向长度的铜膜温度补偿系数达到了0.49nm/℃。 展开更多
关键词 光纤光学 传感器 温度补偿 温度补偿膜 非本征法布里-珀罗干涉型光纤传感器
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压力传感器厚膜温度补偿技术研究 被引量：5
2
作者 李颖 林洪 王雪冰 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2010年第1期11-13,共3页
采用厚膜电路制造技术实现硅基压力传感器的温度补偿,不仅可以使传感器的补偿精度高、补偿温区宽,而且可以使传感器的可靠性、抗震动性、耐高低温冲击性以及传感器的外观品质得以全面提升。文中介绍了压力传感器温度补偿电阻网络的原理... 采用厚膜电路制造技术实现硅基压力传感器的温度补偿,不仅可以使传感器的补偿精度高、补偿温区宽,而且可以使传感器的可靠性、抗震动性、耐高低温冲击性以及传感器的外观品质得以全面提升。文中介绍了压力传感器温度补偿电阻网络的原理、厚膜电路的设计和制造技术、网络阻值调整等方面的研究,通过合理的版图、结构和工艺设计,实现了OEM压力传感器的温度补偿,已在压力传感器产品的生产中得到成功应用。 展开更多
关键词 压力传感器 温度补偿 厚膜电路 电阻网络
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片式无源温度补偿衰减器——原理、设计、制作、应用及发展趋势
3
作者 廖进福 凌志远 +1 位作者 沓世我 付振晓 《电子元件与材料》 CAS CSCD 2017年第8期9-18,共10页
无源温度补偿衰减器主要用于稳定射频微波放大器的增益随温度的变化。本文对该类器件的原理、设计、制作、应用及发展趋势等各方面做了系统的介绍。相对于其他补偿方案,使用此类器件具有设计简单、成本低、性能优异等特点。无源温补衰... 无源温度补偿衰减器主要用于稳定射频微波放大器的增益随温度的变化。本文对该类器件的原理、设计、制作、应用及发展趋势等各方面做了系统的介绍。相对于其他补偿方案,使用此类器件具有设计简单、成本低、性能优异等特点。无源温补衰减器的核心设计在于选取正温度系数(PTC)和负温度系数(NTC)热敏电阻的阻值及其温度系数,以使衰减量随温度接近线性变化而保持特征阻抗基本不变。目前,此类器件主要采用厚膜工艺制作,其关键材料为系列化的热敏电阻浆料。薄膜化是器件未来发展的重要方向,而其中NTC热敏电阻的薄膜化仍面临重大的技术挑战,需要解决材料性能及其系列化等难题。 展开更多
关键词 温度补偿 衰减量 温度系数 热敏电阻 厚膜工艺 薄膜化
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高性能温补型薄膜体声波滤波器的研制
4
作者 刘娅 陈凤 +4 位作者 黄晶 黄龙 吕峻豪 孙明宝 马晋毅 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第6期795-799,共5页
该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤... 该文研制了一种高性能温补型薄膜体声波谐振(TC-FBAR)滤波器。采用COMSOL软件对高性能温补型结构的谐振器进行建模和仿真,在常规一维Mason等效电路模型的基础上进行修正,再在ADS中对滤波器进行仿真优化设计,得到阶梯型结构的TC-FBAR滤波器。采用空腔型结构并制备出温补型FBAR滤波器芯片,同时在常规TC-FBAR基础上制备空气桥和凸起层结构,得到双空气桥结构的高性能TC-FBAR滤波器。测试结果表明,滤波器的中心频率为2.43 GHz,最小插损为1.02 dB,1 dB带宽为70.5 MHz,频率温度系数为1.82×10^(-6)/℃。 展开更多
关键词 温补型薄膜体声波谐振器(TC-FBAR) 滤波器 温补层 频率温度系数(TCF)
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用于温度补偿型声表面波滤波器温补层的化学机械抛光工艺
5
作者 冯志博 李湃 +3 位作者 袁燕 史向龙 于海洋 孟腾飞 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2023年第2期320-326,共7页
在制备温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器温补层工艺过程中,温补层薄膜的厚度控制、膜层质量控制和膜厚不均匀性(NU)控制十分重要。对TC-SAW滤波器晶圆的温补层的化学机械抛光(CMP)工艺进行了研究,探讨了不同晶圆背压和保持环压力的比... 在制备温度补偿型声表面波(TC-SAW)滤波器温补层工艺过程中,温补层薄膜的厚度控制、膜层质量控制和膜厚不均匀性(NU)控制十分重要。对TC-SAW滤波器晶圆的温补层的化学机械抛光(CMP)工艺进行了研究,探讨了不同晶圆背压和保持环压力的比值、抛光头转速和抛光盘转速的比值等对温补层的影响,进一步优化工艺参数,并研究了CMP对温补层表面粗糙度的影响。结果表明:采用优化后的工艺参数,即晶圆背压与保持环压力比值约为1.46(晶圆背压为350 g/cm^(3),保持环压力为240 g/cm^(3))、抛光头转速为93 r/min、抛光盘转速为87 r/min时,可以获得厚度稳定、表面均匀性良好、粗糙度为0.4 nm的膜层。最后将TC-SAW滤波器晶圆温补层进行化学机械抛光,得到膜厚为605.4 nm,总厚度偏差(TTV)为62.06 nm,NU为2.54%的温补层表面,最终得到滤波器的温漂系数为-1.478×10^(-5)/℃,可以满足设计要求,提高了滤波器的合格率。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 声表面波滤波器 温补层 膜厚不均匀性 温漂系数
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基于温补体声波谐振器件的耐高温型气相色谱检测器 被引量：1
6
作者 胡继洲 屈贺幂 +1 位作者 庞慰 段学欣 《分析试验室》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1247-1251,共5页
结合气相色谱的高温检测对钻井过程中井下气体的检测具有重要意义。本文使用一种涂覆特定聚合物的温补薄膜体声波谐振器(FBAR),开发出一种对长链烷烃具有高灵敏度的微型检测器。同时实现低成本、兼容互补金属氧化物半导体(CMOS)制造工... 结合气相色谱的高温检测对钻井过程中井下气体的检测具有重要意义。本文使用一种涂覆特定聚合物的温补薄膜体声波谐振器(FBAR),开发出一种对长链烷烃具有高灵敏度的微型检测器。同时实现低成本、兼容互补金属氧化物半导体(CMOS)制造工艺、微米级尺寸、低功耗以及大批量生产。聚合物薄膜的涂覆将FBAR的响应提升了超过一个数量级,该检测器能够在100℃以上的环境下工作且具有响应速度快、检出限低的特点,可用于油田气体分析。 展开更多
关键词 气相色谱 温度补偿 薄膜体声波谐振器 高温检测
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厚膜压力传感器温度补偿与调理方法研究
7
作者 陈建群 马以武 《传感器世界》 2005年第10期12-15,共4页
考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的... 考虑到以往厚膜传感器压敏元件和补偿电路的一致性较差、稳定性不够理想的问题,设计了一种优化的厚膜压力传感器片内平面化结构,其可提高传感器温度补偿效果;分析了信号调理电路的合理布局,元件的科学分布对减小误差,提高抗干扰能力的有效性,并给出了实验数据,通过其证明了设想的正确性。 展开更多
关键词 温度补偿 信号调理 厚膜压力传感器
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