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溅射靶材的应用及制备初探 被引量:23
1
作者 刘志坚 陈远星 +1 位作者 黄伟嘉 黄华俭 《南方金属》 CAS 2003年第6期23-24,32,共3页
随着电子及信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求越来越多,本文介绍了靶材的发展概况、分类和应用情况,以及靶材的特性要求.探讨Ni Cr合金靶材的制备工艺,结果表明,产品能满足靶材特性要求.
关键词 溅射 靶材 电阻薄膜 纯度 晶粒度
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视觉功能法在道路照明中的应用 被引量:10
2
作者 曹阳 袁宗杰 +2 位作者 林燕丹 陈文成 陈大华 《照明工程学报》 2005年第4期44-49,共6页
道路照明属于中间视觉范畴,在这一范围内国内外尚无统一的视觉灵敏度曲线,为了将我们的研究结果应用于道路照明的范畴,本实验采用了近年国际上广泛采用的基于反应时间测量的视觉功能法,以反应时间和目标对比度的关系为切入点,同时引入... 道路照明属于中间视觉范畴,在这一范围内国内外尚无统一的视觉灵敏度曲线,为了将我们的研究结果应用于道路照明的范畴,本实验采用了近年国际上广泛采用的基于反应时间测量的视觉功能法,以反应时间和目标对比度的关系为切入点,同时引入了背景光谱,视角大小,背景照度和视场偏心角参量,对于反应时间的影响进行分析。其操作采用变量控制的方法进行实验室环境模拟和数据采集。结果显示,反应时间与照度对比度关系是呈指数下降的关系的,同时还获得光谱,背景照度,视角和视标大小等对于反应时间的影响。这些对于研究道路照明,提高道路照明质量都有着积极的意义。 展开更多
关键词 中间视觉 视觉功能法 反应时间 背景照度 视角 视标 道路照明 中间视觉 功能法 应用 反应时间 实验室环境 灵敏度曲线 时间测量 数据采集
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动态模板匹配算法对运动目标进行自动锁定跟踪的研究 被引量:8
3
作者 李军 周起勃 +1 位作者 葛军 邱志敏 《红外技术》 CSCD 北大核心 2005年第4期328-332,共5页
模板匹配技术在目标识别跟踪领域得到了广泛应用,它利用已知图像作为模板,在未知图像中移动模板,求图像与模板的相似度,找到相似度最大的点即为匹配成功。针对导弹跟踪锁定目标过程,提出一种动态模板匹配算法,以期达到实时处理的效果,... 模板匹配技术在目标识别跟踪领域得到了广泛应用,它利用已知图像作为模板,在未知图像中移动模板,求图像与模板的相似度,找到相似度最大的点即为匹配成功。针对导弹跟踪锁定目标过程,提出一种动态模板匹配算法,以期达到实时处理的效果,实现对目标的锁定。通过实验仿真显示,该算法是切实可行的。 展开更多
关键词 前视 模板匹配 实时 ABS方法 改进的ABS方法 目标大小 搜索区间
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装配尺寸路径图的建立与应用 被引量:8
4
作者 王晓慧 任守华 易金玲 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第15期131-136,共6页
用带下标的英文字母明确装配体中各个要素的所属零件及各个零件间的定位状况,为正确建立装配尺寸关系提供依据;提出目标尺寸概念,指出选取目标尺寸应遵循的'独立性'与'完整性'两个原则;在'路径最短'及'高... 用带下标的英文字母明确装配体中各个要素的所属零件及各个零件间的定位状况,为正确建立装配尺寸关系提供依据;提出目标尺寸概念,指出选取目标尺寸应遵循的'独立性'与'完整性'两个原则;在'路径最短'及'高精度优先'两项原则的基础上,提出建立路径图的两个基本要点,由此确定出各个目标尺寸的唯一形成路径——装配尺寸基础路径图;根据各零件的工艺特征及尺寸标注习惯等要求对基础路径图进行优化而建立最终的装配尺寸路径图,从而确定出装配体中各个零件的合理尺寸标注模式;根据装配尺寸路径图还能够建立全体目标尺寸的装配尺寸式系,从而得到完整的全相关装配尺寸模型,在全体目标尺寸及公差的驱动下,能求解出全部零件尺寸及公差,可更好地满足计算机辅助公差设计及参数化设计的需求。 展开更多
关键词 目标尺寸 尺寸路径图 标注模式 尺寸模型
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一种基于气泡群的低频主动声呐目标模拟器设计
5
作者 许蓬勃 赵云 +2 位作者 汤晓安 孙海洋 蔡清裕 《声学技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期310-317,共8页
为了在水声测试过程中提供尺寸小、成本低、应用灵活、低频和高目标强度的目标模拟器,文中根据水中气泡群具有强散射这一特性,提出了一种面向主动声呐试验的气泡群模拟器设计方法。基于等效介质理论(Effective Medium Theory,EMT)建立... 为了在水声测试过程中提供尺寸小、成本低、应用灵活、低频和高目标强度的目标模拟器,文中根据水中气泡群具有强散射这一特性,提出了一种面向主动声呐试验的气泡群模拟器设计方法。基于等效介质理论(Effective Medium Theory,EMT)建立了气泡群声散射模型。首先将气泡群划分成立方体网格,然后应用图像处理方法获取立方体网格内气泡群的尺寸分布函数,接着使用EMT计算了每个立方体网格中的声反射系数和声波入射到立方体网格中产生的衰减,最后利用声波叠加原理计算了模拟器的反向散射目标强度。不同参数下的数值分析结果表明,气泡群尺寸分布函数呈伽马分布时,目标强度较高;目标强度随着尺寸分布区间减小和孔隙率增大而变大;共振频率随孔隙率增大而降低。结合气泡群孔隙率分布模型,文中给出了一组在低频时具有较高目标强度的小尺寸模拟器设计参数,可供相关设计者参考。 展开更多
关键词 气泡群 目标模拟器 尺寸分布 孔隙率 目标强度 共振频率
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模型参数对射流侵彻半无限靶板的影响研究 被引量:6
6
作者 郑宇 王晓鸣 李文彬 《计算机仿真》 CSCD 北大核心 2009年第1期39-41,61,共4页
研究聚能装药侵彻半无限靶板的数值模拟计算中,靶板有限元模型的轴向尺寸、径向尺寸以及网格边长对于仿真结果至关重要。为了找出合理的靶板模型尺寸和网格边长,应用动力学分析软件AUTODYN-2D,对口径56mm,半锥角30°的药型罩侵彻半... 研究聚能装药侵彻半无限靶板的数值模拟计算中,靶板有限元模型的轴向尺寸、径向尺寸以及网格边长对于仿真结果至关重要。为了找出合理的靶板模型尺寸和网格边长,应用动力学分析软件AUTODYN-2D,对口径56mm,半锥角30°的药型罩侵彻半无限靶板进行了数值仿真,得到了侵彻深度,孔径和仿真计算时间与靶板有限元模型极限尺寸和模型网格边长的关系。结果分析发现,射流半径与网格边长的比例为5,靶板厚度与侵深比例为1.4,靶板半径与侵深比例为0.3比较合适。仿真结果可以为数值模拟和试验设计提供参考。 展开更多
关键词 射流侵彻 半无限靶板 靶板尺寸 网格大小 数值仿真
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基于NanoDet-SimAM小尺寸松材线虫病受害木检测
7
作者 刘芳 姜生伟 +1 位作者 张峻豪 何姗 《沈阳工业大学学报》 CAS 北大核心 2024年第4期428-433,共6页
针对小尺寸松材线虫病受害木检测精度及检测效率低的问题,提出了一种融合深度网络和注意力机制的小尺寸松材线虫智能检测模型。采用无人机(UAV)搭载小型相机在220 m高度拍摄小尺寸松材线虫受害木图像,应用图像旋转、缩放、添加高斯噪声... 针对小尺寸松材线虫病受害木检测精度及检测效率低的问题,提出了一种融合深度网络和注意力机制的小尺寸松材线虫智能检测模型。采用无人机(UAV)搭载小型相机在220 m高度拍摄小尺寸松材线虫受害木图像,应用图像旋转、缩放、添加高斯噪声和模拟光照强度等数据处理方式扩充数据集,设计轻量级深度网络NanoDet和SimAM注意力模块融合模型NanoDet-SimAM对小尺寸松材线虫受害木进行精准检测。结果表明,该模型相较于Faster R-CNN、Yolov4、Yolov5s及NanoDet等检测网络模型,具有更高的检测精度、速度和稳定性。 展开更多
关键词 松材线虫病 目标检测 轻量级网络NanoDet 注意力机制 无参注意力 迁移学习 数据增强 小尺寸
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探测距离对光幕系统探测灵敏度影响研究
8
作者 董运豪 张斌 +1 位作者 褚文博 赵冬娥 《舰船电子工程》 2024年第4期178-182,共5页
针对探测距离会对光幕系统探测灵敏度产生影响,分别建立弹丸进入系统时遮挡激光产生的光通量变化与系统接收弹丸反射激光功率的数学模型,得到最终弹丸过靶产生的光功率变化的数学模型,根据能够引起系统响应的最小光功率,得出了弹丸处于... 针对探测距离会对光幕系统探测灵敏度产生影响,分别建立弹丸进入系统时遮挡激光产生的光通量变化与系统接收弹丸反射激光功率的数学模型,得到最终弹丸过靶产生的光功率变化的数学模型,根据能够引起系统响应的最小光功率,得出了弹丸处于不同探测距离条件下光幕系统能够探测最小弹丸的尺寸,最后通过实验对数学模型结果进行验证。该研究对于根据所需探测灵敏度设计合理探测靶面,具有重要意义。 展开更多
关键词 探测距离 弹丸尺寸 光幕系统 探测靶面 探测灵敏度
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目标大小、目标距离及交互方式对指点绩效的影响 被引量:4
9
作者 康春燕 李志昊 +3 位作者 张绍尧 李宏汀 王春慧 田雨 《航天医学与医学工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第2期112-119,共8页
目的研究触屏、鼠标、触控板及视线指点4种交互方式在不同目标大小、目标距离下的指点绩效,为航天环境下人机交互设计提供依据。方法24名受试者通过4种交互方式完成屏幕上的目标指点任务,指点操作中涉及3种目标大小(7mm、10.5mm、14mm)... 目的研究触屏、鼠标、触控板及视线指点4种交互方式在不同目标大小、目标距离下的指点绩效,为航天环境下人机交互设计提供依据。方法24名受试者通过4种交互方式完成屏幕上的目标指点任务,指点操作中涉及3种目标大小(7mm、10.5mm、14mm)和2种目标距离(35mm、70mm),通过分析指点操作时间及目标击中率来考察交互方式、目标大小和目标距离对指点绩效的影响。结果指点操作时间:触屏<鼠标<触控板<视线指点;目标击中率:触屏=鼠标>触控板>视线指点。4种交互方式的指点操作时间均基本符合费茨定律,即指点操作时间与难度系数线性正相关。相对于其他3种交互方式,视线指点的目标击中率受到目标大小的影响更大。结论对于中、小尺寸的按钮控件,触屏指点和鼠标指点的绩效相对较好,而触控板和视线指点的绩效相对较差。采用视线指点时,建议将目标大小设置在1.2°视角以上。 展开更多
关键词 人机交互 指点技术 目标大小 目标距离 费茨定律
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集成电路用钽溅射靶材制备工艺研究 被引量:4
10
作者 宜楠 权振兴 +1 位作者 赵鸿磊 武宇 《材料开发与应用》 CAS 2016年第3期71-75,共5页
金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能。采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上。靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100μm,... 金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能。采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上。靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100μm,在靶材整个厚度范围内应主要是(111)型织构。同时,为了避免薄膜存在杂质颗粒,要求钽靶材纯度不小于99.99%。本文对钽靶材电子束熔炼、锻造、轧制、热处理等关键工艺进行了系统研究,找到了一种有别于常规钽靶材生产工艺的新方法,所生产产品化学纯度、晶粒尺寸、织构等性能优良,产品成品率高,适于批量化生产。 展开更多
关键词 溅射靶材 晶粒尺寸 织构 电子束熔炼 锻造 轧制 热处理
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钨球斜侵彻钛合金靶试验及数值模拟研究
11
作者 窦慧敏 陈智刚 +4 位作者 易荣成 景彤 王波 李文越 王维占 《兵器装备工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第11期162-170,共9页
研究钨合金破片对钛合金靶(TC4)的弹道极限(V_(50))影响规律,对战斗部毁伤元威力评估具有重要意义。通过弹道冲击试验研究了着靶角度对∅6 mm,∅8 mm93W钨球侵彻5 mm厚TC4钛合金的弹道极限(V_(50))的影响规律,基于试验结果与数值模拟结果... 研究钨合金破片对钛合金靶(TC4)的弹道极限(V_(50))影响规律,对战斗部毁伤元威力评估具有重要意义。通过弹道冲击试验研究了着靶角度对∅6 mm,∅8 mm93W钨球侵彻5 mm厚TC4钛合金的弹道极限(V_(50))的影响规律,基于试验结果与数值模拟结果的一致性,扩展分析了5种典型尺寸(∅5~∅9 mm)钨球在0°~75°着角时,侵彻钛合金靶板V_(50)的影响规律。结果发现,随着钨球尺寸的增加,V_(50)逐渐减小,且V_(50)对着靶角度越逐渐不敏感,即V_(50)波动区间逐渐变小;随着着靶角度的增大,钨球穿靶V_(50)在小着角下(0°~45°)增长平缓;大着角下(45°~75°)的极限穿透速度变化率近似指数增长,且增加速率随着钨球尺寸的减小更加明显;相同弹道极限下,破片正、斜侵彻TC4钛合金靶的极限穿透厚度变化趋势基本一致,但斜侵彻下破片对TC4靶板的等效极限穿透厚度明显大于相同V_(50)下正侵彻TC4靶板的极限穿透厚度。研究结论可为杀爆战斗部威力设计提供参考依据。 展开更多
关键词 着靶姿态 弹道极限(V_(50)) 影响规律 尺寸 等效厚度
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A pixel-level local contrast measure for infrared small target detection 被引量:3
12
作者 Zhao-bing Qiu Yong Ma +3 位作者 Fan Fan Jun Huang Ming-hui Wu Xiao-guang Mei 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第9期1589-1601,共13页
Infrared(IR) small target detection is one of the key technologies of infrared search and track(IRST)systems. Existing methods have some limitations in detection performance, especially when the target size is irregul... Infrared(IR) small target detection is one of the key technologies of infrared search and track(IRST)systems. Existing methods have some limitations in detection performance, especially when the target size is irregular or the background is complex. In this paper, we propose a pixel-level local contrast measure(PLLCM), which can subdivide small targets and backgrounds at pixel level simultaneously.With pixel-level segmentation, the difference between the target and the background becomes more obvious, which helps to improve the detection performance. First, we design a multiscale sliding window to quickly extract candidate target pixels. Then, a local window based on random walker(RW) is designed for pixel-level target segmentation. After that, PLLCM incorporating probability weights and scale constraints is proposed to accurately measure local contrast and suppress various types of background interference. Finally, an adaptive threshold operation is applied to separate the target from the PLLCM enhanced map. Experimental results show that the proposed method has a higher detection rate and a lower false alarm rate than the baseline algorithms, while achieving a high speed. 展开更多
关键词 Infrared(IR)small target Irregular size Random walker(RW) Pixel-level local contrast measure(PLLCM)
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考虑目标尺寸情况下的水面目标跟踪参数估计 被引量:3
13
作者 石杰 戚国庆 盛安冬 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期494-500,共7页
采用平面坐标测量的水面目标跟踪系统,在现有的将目标视为质点的跟踪算法下,如不增加其他先验信息,很难进一步改善目标运动参数的估计精度。基于工程应用,考虑水面舰船的尺寸参数并将其建模为椭圆形目标,利用成熟的图像处理技术获取椭... 采用平面坐标测量的水面目标跟踪系统,在现有的将目标视为质点的跟踪算法下,如不增加其他先验信息,很难进一步改善目标运动参数的估计精度。基于工程应用,考虑水面舰船的尺寸参数并将其建模为椭圆形目标,利用成熟的图像处理技术获取椭圆目标的尺寸参数。并提出一种基于椭圆目标跟踪的非线性运动参数估计算法;同时从理论上分析了应用中不同目标尺寸参数精度下目标运动参数估计的Cramer-Rao下界(CRLB).数字仿真分析和初步实测结果表明椭圆形水面目标跟踪的工程可行性,且椭圆目标跟踪系统较传统质点目标跟踪系统收敛速度加快,运动参数估计精度提高。 展开更多
关键词 信息处理技术 目标尺寸 非线性滤波 目标跟踪
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微靶型X射线管不同靶材出射光斑对比研究 被引量:3
14
作者 左卓 何兴 +2 位作者 张松 颜瑜成 覃骏 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2020年第10期29-33,共5页
针对半球、锥体、圆柱三种微形结构靶X射线管,利用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法模拟研究不同靶材料对微靶型X射线管出射光斑的影响,讨论不同靶材料和微靶结构对透射式微靶型X射线管的出射光斑尺寸的影响。结果表明:在电子入射能量为100 ke... 针对半球、锥体、圆柱三种微形结构靶X射线管,利用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法模拟研究不同靶材料对微靶型X射线管出射光斑的影响,讨论不同靶材料和微靶结构对透射式微靶型X射线管的出射光斑尺寸的影响。结果表明:在电子入射能量为100 keV时,微锥形结构靶的光斑尺寸最小在150μm左右,不同靶材料对靶后方出射光斑尺寸有明显影响,随着靶材原子序数增加,出射光斑尺寸开始时逐渐减小,但进一步的增加会使光斑尺寸有一定扩大,呈现抑制趋势;不同微靶结构对光斑尺寸影响与结构有明显关系,圆柱与锥体光斑尺寸差异达到30μm。与传统的透射X射线管相比,在不需要强力电子聚焦设备的情况下,选择微锥形靶结构与银靶材料比采用圆柱钨靶的出射光斑尺寸减小17.93%,更小的光斑尺寸使得X射线成像的精度与准确性得到提高。 展开更多
关键词 微靶X射线管 靶材料 光斑尺寸 蒙特卡罗模拟
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触点运动与交互界面按钮设计研究 被引量:2
15
作者 张晓燕 薛红军 张玉刚 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2011年第36期83-85,共3页
触点运动特性是人机交互界面按钮设计的依据。该研究以三种不同目标宽度水平和正方形与圆形两种目标形状为控制变量设计实验。对被试的反应时间和正确率进行分析,结果发现:目标大小和形状对触点运动的影响主要体现在触点运动的趋势控制... 触点运动特性是人机交互界面按钮设计的依据。该研究以三种不同目标宽度水平和正方形与圆形两种目标形状为控制变量设计实验。对被试的反应时间和正确率进行分析,结果发现:目标大小和形状对触点运动的影响主要体现在触点运动的趋势控制阶段;正方形目标的操作绩效优于圆形;在难度系数较大时反应时间对目标大小的变化比较灵敏。研究结论对交互界面按钮大小和形状的设计具有一定的指导意义。 展开更多
关键词 Fiits定理 目标大小 目标形状 操作绩效 难度系数 触点运动 人机交互界面(HCI)
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Numerical study of size effect in concrete penetration with LDPM 被引量:2
16
作者 Jun Feng Wei-wei Sun Bao-ming Li 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS CSCD 2018年第5期560-569,共10页
Projectile size effect is of great importance since the scaling researches are extensively applied to concrete penetration investigations. This paper numerically deals with the projectile size effect on penetration re... Projectile size effect is of great importance since the scaling researches are extensively applied to concrete penetration investigations. This paper numerically deals with the projectile size effect on penetration resistance via the recently developed Lattice Discrete Particles Model(LDPM) which is featured with mesoscale constitutive laws governing the interaction between adjacent particles to account for cohesive fracture, strain hardening in compression and compaction due to pore collapse. Simulations of two different penetration tests are carried to shed some light on the size effect issue. The penetration numerical model is validated by matching the projectile deceleration curve of and predicting the depth of penetration(DOP). By constant velocity penetration simulations, the target resistance is found to be dependent on the projectile size. By best fitting numerical results of constant velocity penetration, a size effect law for target resistance is proposed and validated against literature data. Moreover, the size effect is numerically obtained in the projectile with longer extended nose part meanwhile the shorter extended nose is found to improve the DOP since the projectile nose is sharpened. 展开更多
关键词 PENETRATION of CONCRETE size effect LATTICE discrete particle model target resistance ABNORMAL NOSE PROJECTILE
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NiPt60%合金靶材磁控溅射前后形貌及结构观察 被引量:3
17
作者 王传军 闻明 +4 位作者 张俊敏 沈月 易伟 管伟明 谭志龙 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2015年第A01期57-60,共4页
镍合金和铂合金靶材是电子半导体行业重要的镀膜材料。悁究镍合金和铂合金靶材对于改善薄膜质量和提高器件性能有重要意义。采用2种不同工艺制备了NiPt60%合金溅射靶材。使用金相显微镜(OM),扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XR... 镍合金和铂合金靶材是电子半导体行业重要的镀膜材料。悁究镍合金和铂合金靶材对于改善薄膜质量和提高器件性能有重要意义。采用2种不同工艺制备了NiPt60%合金溅射靶材。使用金相显微镜(OM),扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)观察并分析了磁控溅射前后靶材表面的形貌及结构。结果表明,采用热轧-热处理制备的靶材晶粒粗大但均匀,平均晶粒尺寸约为100μm;采用温轧-热处理制备的靶材细小但不均匀,平均晶粒尺寸约为50μm。溅射后的靶材形貌与晶粒尺寸和分布息息相关。 展开更多
关键词 金属材料 NiPt合金 形貌 结构 靶材 晶粒尺寸
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Nb10Zr靶材制备工艺研究 被引量:3
18
作者 李兆博 汪凯 +4 位作者 钟景明 焦红忠 宿康宁 王莉 马小文 《材料开发与应用》 CAS 2017年第1期73-79,共7页
研究了Nb10Zr铸锭预处理、锻造、轧制、热处理等工艺及Nb10Zr靶材的制备工艺。结果表明,1450℃保温90 min的铸锭预处理,可以改善锻造塑性;1 300℃径向圆周锻造、1 000℃轧制及1 200~1 450℃热处理,可以避免锻造和轧制开裂,晶粒度达到8... 研究了Nb10Zr铸锭预处理、锻造、轧制、热处理等工艺及Nb10Zr靶材的制备工艺。结果表明,1450℃保温90 min的铸锭预处理,可以改善锻造塑性;1 300℃径向圆周锻造、1 000℃轧制及1 200~1 450℃热处理,可以避免锻造和轧制开裂,晶粒度达到8级且组织均匀。 展开更多
关键词 Nb10Zr 靶材 制备工艺 晶粒尺寸
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集成电路用大尺寸高纯钽靶材的制备工艺进展 被引量:3
19
作者 刘宁 杨辉 +2 位作者 姚力军 王学泽 袁海军 《集成电路应用》 2018年第2期24-28,共5页
高纯钽靶材作为芯片铜互连工艺扩散阻挡层的溅射源在大规模集成电路生产中被广泛应用。文章介绍了大尺寸高纯钽靶材的制备技术原理及工艺进展,并分析了钽靶材产品的国内外的市场现状及应用前景。
关键词 制备工艺 溅射靶材 大尺寸 扩散阻挡层
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纯铂在塑性加工过程的微观结构演变及力学性能研究 被引量:3
20
作者 许彦亭 王一晴 +5 位作者 陈家林 郭俊梅 闻明 王传军 谭志龙 管伟明 《贵金属》 CAS CSCD 北大核心 2019年第3期11-16,共6页
靶材微观组织均匀性直接影响半导体集成电路溅射薄膜质量。采用金相显微镜、X射线衍射(XRD)和显微硬度计,研究了纯铂单向冷轧及热处理过程中的微观结构演变及力学性能。结果表明,纯铂单向冷轧时随变形量的增加晶粒沿轧向拉长,显微硬度... 靶材微观组织均匀性直接影响半导体集成电路溅射薄膜质量。采用金相显微镜、X射线衍射(XRD)和显微硬度计,研究了纯铂单向冷轧及热处理过程中的微观结构演变及力学性能。结果表明,纯铂单向冷轧时随变形量的增加晶粒沿轧向拉长,显微硬度逐渐上升;单向冷轧变形量为80%的纯铂在450℃退火发生再结晶,产生的细小等轴晶平均晶粒尺寸约为41 μm;随着退火温度升高,晶粒尺寸增大,显微硬度降低,纯铂由冷轧态(111)、(220)晶面择优取向过渡为(200)、(311)、(220)晶面择优取向。 展开更多
关键词 纯铂 溅射靶材 冷轧 退火 择优取向 晶粒尺寸
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