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电子封装陶瓷基片材料的研究进展 被引量:40
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作者 李婷婷 彭超群 +2 位作者 王日初 王小锋 刘兵 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1365-1374,共10页
总结微电子封装技术对封装基片材料性能的要求,论述Al2O3、AlN、BeO、SiC和Si3N4陶瓷基片材料的特点及其研究现状,其中AlN陶瓷基片的综合性能最好。分析轧膜、流延和凝胶注模薄片陶瓷成型工艺的优缺点,其中水基凝胶注模成型工艺适用性较... 总结微电子封装技术对封装基片材料性能的要求,论述Al2O3、AlN、BeO、SiC和Si3N4陶瓷基片材料的特点及其研究现状,其中AlN陶瓷基片的综合性能最好。分析轧膜、流延和凝胶注模薄片陶瓷成型工艺的优缺点,其中水基凝胶注模成型工艺适用性较强;指出陶瓷基片材料和薄片陶瓷成型工艺的发展趋势。 展开更多
关键词 电子封装材料 AL2O3陶瓷 ALN陶瓷 BeO陶瓷 SIC陶瓷 SI3N4陶瓷 流延成型 凝胶注模成型
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流延法制备陶瓷燃料电池电解质膜的研究进展 被引量:18
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作者 贺连星 温廷琏 吕之奕 《材料科学与工程》 CSCD 1997年第3期15-18,共4页
本文介绍了用于陶瓷(固体氧化物)燃料电池电解质膜制备的先进的流延工艺,详细分析了粉料、溶剂、分散剂、粘结剂和塑性剂等主要原材料及其在流延料浆中的作用机理,最后简要地阐述了典型的流延制备工艺过程。
关键词 流延法 固体电解质膜 燃料电池
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YSZ陶瓷膜流延等静压复合成型新工艺研究 被引量:10
3
作者 陈铭 温廷琏 +3 位作者 黄臻 王评初 屠恒勇 吕之奕 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期745-750,共6页
本文报道了YSZ陶瓷膜流延等静压复合成型的新工艺.研究了等静压对素坯膜和烧结膜材密度及显微结构的影响规律及电学性能的变化.指出对流延素坯膜进行等静压,工艺过程不复杂,但可使素坯的成型密度提高8%~11%,同时烧结膜材... 本文报道了YSZ陶瓷膜流延等静压复合成型的新工艺.研究了等静压对素坯膜和烧结膜材密度及显微结构的影响规律及电学性能的变化.指出对流延素坯膜进行等静压,工艺过程不复杂,但可使素坯的成型密度提高8%~11%,同时烧结膜材的相对密度可提高5%~10% 展开更多
关键词 流延法 等静压 YSZ陶瓷膜 成型 陶瓷薄膜
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高热导率氮化铝陶瓷研究进展 被引量:23
4
作者 燕东明 高晓菊 +4 位作者 刘国玺 常永威 乔光利 牟晓明 赵斌 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期602-607,共6页
氮化铝(AlN)陶瓷具有热导率高、热膨胀系数低、电阻率高等特性以及良好的力学性能,被认为是新一代高性能陶瓷基片和封装的首选材料。本文简要介绍了氮化铝陶瓷的基本特性,重点总结了氮化铝陶瓷的国内外研究现状及其制备工艺,并列举了一... 氮化铝(AlN)陶瓷具有热导率高、热膨胀系数低、电阻率高等特性以及良好的力学性能,被认为是新一代高性能陶瓷基片和封装的首选材料。本文简要介绍了氮化铝陶瓷的基本特性,重点总结了氮化铝陶瓷的国内外研究现状及其制备工艺,并列举了一些氮化铝陶瓷的应用实例。 展开更多
关键词 氮化铝 流延成型 注射成型 基片 透明陶瓷
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流延成型技术的研究进展 被引量:22
5
作者 谢雨洲 彭超群 +3 位作者 王小锋 王日初 刘家杰 徐健 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1846-1857,共12页
综述流延成型的研究进展;概述流延成型工艺特点与流延成型体系;介绍流延成引发型浆料的组成及其特点;阐述流延成型的工艺流程及其原理;总结新型的流延成型工艺,如凝胶流延成型、紫外引发聚合流延成型等;探讨流延成型技术存在的问题和发... 综述流延成型的研究进展;概述流延成型工艺特点与流延成型体系;介绍流延成引发型浆料的组成及其特点;阐述流延成型的工艺流程及其原理;总结新型的流延成型工艺,如凝胶流延成型、紫外引发聚合流延成型等;探讨流延成型技术存在的问题和发展方向。 展开更多
关键词 流延成型 浆料 成型工艺 添加剂 研究进展
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流延法制备AlN陶瓷基板的研究 被引量:14
6
作者 曹峻 张擎雪 +1 位作者 庄汉锐 邬凤英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期269-276,共8页
从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AlN陶瓷基板展开了较为系统的研究.结果表明,颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量.适于AlN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体.保持一定的溶剂... 从颗粒尺寸、浆料流体类型、干燥条件、排胶机制等方面对流延法制备AlN陶瓷基板展开了较为系统的研究.结果表明,颗粒尺寸的不同直接影响到浆料粘度及分散剂用量.适于AlN流延成型的浆料流体类型属于假塑性流体.保持一定的溶剂气氛有利于获得表面平整光滑的流延素坯膜.二次排胶有利于排除AlN流延素坯膜中的残余碳.烧结后基板的断口SEM照片表明晶粒发育较为完善,无明显开气孔,断裂模式为沿晶断裂. 展开更多
关键词 氮化铝基板 流延成型 假塑性流体 二次排胶 沿晶断裂 陶瓷材料
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制备电子陶瓷基片用的流延成型工艺 被引量:16
7
作者 周建民 王亚东 +1 位作者 王双喜 黄国权 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1114-1118,共5页
流延成型是目前生产电子陶瓷薄片常用的方法之一。本文简要介绍了流延成型工艺过程,综述了流延成型技术中的浆料组成、厚度控制、干燥工艺、脱脂工艺等关键工艺的研究现状,并分别对影响各工艺的因素进行了分析。
关键词 电子陶瓷 基片 流延成型
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层状Al_2O_3-TiC复相陶瓷的制备与性能 被引量:11
8
作者 曾宇平 江东亮 +1 位作者 谭寿洪 郭景坤 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第6期802-808,共7页
利用流延成型工艺制备了Al_2O_3-TiC复相陶瓷薄膜.通过叠层、预压、脱粘和热压烧结工艺,制备了层状结构复相陶瓷.讨论了分散剂、pH值、固含量对浆料粘度的影响.用TGA分析了陶瓷膜的脱粘过程.用SEM和光学显微镜分析了素坯膜的微观... 利用流延成型工艺制备了Al_2O_3-TiC复相陶瓷薄膜.通过叠层、预压、脱粘和热压烧结工艺,制备了层状结构复相陶瓷.讨论了分散剂、pH值、固含量对浆料粘度的影响.用TGA分析了陶瓷膜的脱粘过程.用SEM和光学显微镜分析了素坯膜的微观形貌和材料在压应力作用下裂纹扩展情况.由于裂纹沿弱界面扩展使应力松弛,有效地提高了材料的断裂韧性和断裂功。 展开更多
关键词 流延成型 断裂 复合陶瓷 层状 氧化铝 碳化钛
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陶瓷材料水基流延成型工艺研究进展 被引量:15
9
作者 李绍纯 李冬云 杨辉 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第F11期387-389,共3页
简要介绍了水基流延成型工艺的特点,综述了水基流延成型工艺的浆料组成、流变性能以及干燥过程的研究现状,指出了水基流延成型今后的发展趋势。
关键词 陶瓷 水基 流延成型
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AlN基片流延浆料粘度的研究 被引量:15
10
作者 吴音 缪卫国 周和平 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1996年第6期21-24,共4页
通过对比实验研究了影响AlN流延浆料粘度的主要因素。结果表明,环境温度或溶剂比例的增加,浆料的粘度值下降;而较小的粘度和增塑剂的减少则使粘度上升。严格控制各影响因素。
关键词 氮化铝基片 粘度 流延工艺 电子元件
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定向排布层状SiC晶须补强Al_2O_3复相陶瓷的制备及其性能 被引量:8
11
作者 曾宇平 江东亮 +1 位作者 谭寿洪 郭景坤 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期558-564,共7页
利用流延成型和热压烧结工艺制得了晶须高度定向排列的层状Al2O3基复相陶瓷.讨论了分散剂、pH值等对浆料粘度的影响.分析了流延成型过程中刀片的运动速率和剪切强度对晶须定向的影响.测定了不同取向角下材料的强度和韧性,结... 利用流延成型和热压烧结工艺制得了晶须高度定向排列的层状Al2O3基复相陶瓷.讨论了分散剂、pH值等对浆料粘度的影响.分析了流延成型过程中刀片的运动速率和剪切强度对晶须定向的影响.测定了不同取向角下材料的强度和韧性,结果表明:材料的力学性能强烈依赖取向角,随取向角增大,强度和韧性逐渐降低. 展开更多
关键词 成型 碳化硅晶须 氧化铝 复合陶瓷 补强 烧结
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高导热Si_3N_4陶瓷基片材料的制备研究 被引量:12
12
作者 张景贤 段于森 +6 位作者 江东亮 陈忠明 刘学建 黄政仁 杨建 李晓云 丘泰 《真空电子技术》 2016年第5期7-10,共4页
采用高纯Si粉作为起始原料,通过流延成型、氮化和气压烧结工艺制备高导热氮化硅陶瓷基片。通过优化分散剂、粘结剂和塑性剂的含量以及流延工艺过程,制备出厚度可控的Si膜。进一步氮化得到微结构均匀的氮化硅素坯。通过气压烧结制备出氮... 采用高纯Si粉作为起始原料,通过流延成型、氮化和气压烧结工艺制备高导热氮化硅陶瓷基片。通过优化分散剂、粘结剂和塑性剂的含量以及流延工艺过程,制备出厚度可控的Si膜。进一步氮化得到微结构均匀的氮化硅素坯。通过气压烧结制备出氮化硅陶瓷基片,热导率达到76 W/m·K。 展开更多
关键词 氮化硅基片 流延成型 硅粉氮化 气压烧结
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流延成型法制备SiC多孔陶瓷工艺的研究 被引量:9
13
作者 王海龙 石广新 +3 位作者 张锐 王西科 谷慧华 卢红霞 《陶瓷学报》 CAS 2004年第1期43-46,共4页
本实验通过采用流延成型工艺制备碳化硅多孔陶瓷过滤材料 ,经过比较分析总结出pH值对泥浆性能的影响 ,当浆料的pH值为 7-9时出现大量絮状物 ,导致流动性和悬浮性能都很差 ,当浆料的pH值小于 7时 ,浆料的流动性急剧下降 ,导致无法流延。... 本实验通过采用流延成型工艺制备碳化硅多孔陶瓷过滤材料 ,经过比较分析总结出pH值对泥浆性能的影响 ,当浆料的pH值为 7-9时出现大量絮状物 ,导致流动性和悬浮性能都很差 ,当浆料的pH值小于 7时 ,浆料的流动性急剧下降 ,导致无法流延。合适的浆料pH值范围为 >11。流延成型后的试样经过干燥脱模后在 95 0~ 12 5 0℃温度下烧结 ,制得气孔率随着烧成温度的不同而变化的样品 ,其中在 10 5 0℃ ,样品最高气孔率为 5 2 %,通过SEM观察 ,10 5 0℃的制品的孔径平均在 6.5 μm左右 ,气孔分布均匀 ,气孔通道类型微直通道 。 展开更多
关键词 多孔陶瓷 流延成型 制备 碳化硅
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金属陶瓷覆层材料坯体的料浆法成形工艺 被引量:10
14
作者 刘福田 李兆前 +1 位作者 黄传真 张涛 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2002年第9期13-16,24,共5页
以无水乙醇和丁酮的共沸体系为溶剂 ,三油酸甘油酯为分散剂 ,PVB为粘结剂 ,丙三醇和DOP为增塑剂 ,环己酮为均化剂 ,将Fe 6B 4 8Mo混合粉末制备成为均匀分散、稳定悬浮的料浆。利用此料浆 ,通过三种方法成形了覆层材料的坯体 :用流延成... 以无水乙醇和丁酮的共沸体系为溶剂 ,三油酸甘油酯为分散剂 ,PVB为粘结剂 ,丙三醇和DOP为增塑剂 ,环己酮为均化剂 ,将Fe 6B 4 8Mo混合粉末制备成为均匀分散、稳定悬浮的料浆。利用此料浆 ,通过三种方法成形了覆层材料的坯体 :用流延成形法制备出颗粒分布均匀、结构致密、厚度可控、具有适宜柔韧性和拉伸强度的覆层薄片坯体 ,根据覆层厚度要求可将一层或多层坯体叠置在钢基体上烧结 ;用雾化喷涂法或涂刷法直接在钢材或工件表面上形成厚度均匀、结构致密、粘结牢固的覆层坯体。对覆层坯体成形工艺中的干燥技术。 展开更多
关键词 金属粉末 料浆 覆层材料坯体 流延成形 喷涂成形 涂刷成形
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陶瓷燃料电池电解质流延膜的烧结工艺及其性能研究 被引量:5
15
作者 贺连星 温廷琏 吕之奕 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期243-246,共4页
本文采用“三明治式多孔夹板”烧结方法制得了均匀致密的、用于燃料电池的固体电解质膜材,用SEM方法观察了膜材的微观形貌,还用复数阻抗频谱仪对烧结膜材的电导性能进行了测定,实验结果表明,所采用的烧结工艺能有效解决单层厚膜烧... 本文采用“三明治式多孔夹板”烧结方法制得了均匀致密的、用于燃料电池的固体电解质膜材,用SEM方法观察了膜材的微观形貌,还用复数阻抗频谱仪对烧结膜材的电导性能进行了测定,实验结果表明,所采用的烧结工艺能有效解决单层厚膜烧结中易出现的起翘与开裂问题,所制得的膜材的电性能亦能满足陶瓷燃料电池的要求. 展开更多
关键词 流延法 烧结 陶瓷燃料电池 电解质 燃料电池
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氧化铝粉体性能对流延法生产陶瓷基板的影响 被引量:9
16
作者 李建忠 张勇 徐大余 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期345-347,366,共4页
流延法是一种生产电子陶瓷基板广泛使用的先进工艺方法。本文分析了氧化铝原料杂质含量、结晶形貌、α-相转化率、粒度分布等对流延工艺及陶瓷基板的质量影响,并提出了适用流延法陶瓷基板用氧化铝原料性能指标。
关键词 流延 陶瓷 基板 氧化铝
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Mo-(Fe-B)-Fe混合粉末流延成型薄层坯体的干燥机理分析 被引量:2
17
作者 刘福田 李兆前 +1 位作者 黄传真 郑少华 《陶瓷学报》 CAS 2002年第4期211-216,共6页
流延成型Mo -(Fe -B) -Fe混合粉末的薄层坯体的干燥过程非常重要。本文根据现有理论对流延坯体干燥过程的各个阶段 ,特别是坯体孔隙中充满液相的恒速干燥阶段 (CRP)进行了分析。在恒速干燥阶段 ,产生了坯体的最大收缩和最大干燥应力。... 流延成型Mo -(Fe -B) -Fe混合粉末的薄层坯体的干燥过程非常重要。本文根据现有理论对流延坯体干燥过程的各个阶段 ,特别是坯体孔隙中充满液相的恒速干燥阶段 (CRP)进行了分析。在恒速干燥阶段 ,产生了坯体的最大收缩和最大干燥应力。对引起干燥收缩的力和液相传输机制进行了分析 ,通过分析液相流动和固体网络之间的相互作用 ,可以计算孔隙液相中的压力分布。在靠近坯体干燥表面处 ,液相压力具有最大值 ,导致坯体在该处承受较大的压应力 ,并由此产生了不同大小的坯体收缩 ,从而引起干燥过程中的开裂现象。坯体开裂的可能性主要与坯体厚度和干燥速率有关。提出了避免干燥开裂的几个技术措施。 展开更多
关键词 陶瓷材料 开裂 收缩 Mo-(Fe-B)-Fe混合粉末 流延成型 薄层坯体 干燥机理
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水基流延制备Li_(1.075)Nb_(0.625)Ti_(0.45)O_3微波介质陶瓷基片 被引量:8
18
作者 李绍纯 耿永娟 +1 位作者 张启龙 杨辉 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期144-149,共6页
以聚乙烯醇水溶液为粘结剂,乙二醇为增塑剂,聚羧酸铵盐为分散剂,通过水基流延工艺制备了Li1.075Nb0.625Ti0.45O3(LNT)微波介质陶瓷基片。对Li1.075Nb0.625Ti0.45O3微波介质陶瓷水基流延浆料流变特性的研究表明,当分散剂用量为0.6 wt%,... 以聚乙烯醇水溶液为粘结剂,乙二醇为增塑剂,聚羧酸铵盐为分散剂,通过水基流延工艺制备了Li1.075Nb0.625Ti0.45O3(LNT)微波介质陶瓷基片。对Li1.075Nb0.625Ti0.45O3微波介质陶瓷水基流延浆料流变特性的研究表明,当分散剂用量为0.6 wt%,粘结剂用量为5 wt%,增塑剂用量为10 wt%时,流延浆料分散稳定性良好,呈现典型的剪切变稀型流体特性,满足流延成型工艺的要求。采用该配方制备的Li1.075Nb0.625Ti0.45O3水基流延基片力学性能良好,基片的微观结构均匀。 展开更多
关键词 Li1.075Nb0.625Ti0.45O3 微波介质陶瓷 水基流延成型 流变性
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我国聚酰亚胺薄膜工业进展 被引量:6
19
作者 高利平 张蓓 《精细与专用化学品》 CAS 2010年第9期1-3,共3页
聚酰亚胺薄膜性能优异,广泛应用于各种领域。综述了我国聚酰亚胺薄膜的生产技术、应用以及产品价格。指出了国内聚酰亚胺薄膜工业中存在的问题,并对其发展方向提出几点建议。
关键词 聚酰亚胺 薄膜 浸渍法 流延法
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工艺条件对薄片陶瓷材料凝胶流延成型的影响 被引量:7
20
作者 向军辉 黄勇 +2 位作者 谢志鹏 杨金龙 马春雷 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2002年第2期58-61,共4页
利用有机单体的聚合原理 ,成功进行了陶瓷薄片材料的凝胶流延成型。讨论了工艺条件对成型的影响。使用惰性气氛保护克服了单体聚合反应中的氧气阻聚问题 ,浆料在一定温度和气氛条件下能够顺利完成聚合反应。所成型的坯体具有良好的强度... 利用有机单体的聚合原理 ,成功进行了陶瓷薄片材料的凝胶流延成型。讨论了工艺条件对成型的影响。使用惰性气氛保护克服了单体聚合反应中的氧气阻聚问题 ,浆料在一定温度和气氛条件下能够顺利完成聚合反应。所成型的坯体具有良好的强度和柔韧性 ,在 15 5 0℃经 2h烧结 ,烧结样品显微结构均匀 ,没有发现晶粒异常长大现象 ,烧结体致密度达到 97.7%。 展开更多
关键词 工艺条件 薄片陶瓷材料 凝胶 流延成型
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