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基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
1
作者
李蓓佳
李伟华
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期607-610,共4页
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模...
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。
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关键词
MEMS设计
系统级模拟
薄膜
受力分析
等效电路宏模型
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职称材料
题名
基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
1
作者
李蓓佳
李伟华
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期607-610,共4页
基金
国家863项目支持(2006AA04Z302)
文摘
介绍一种MEMS系统级模拟方法。该方法直接分析运动物体的受力情况,并结合能量原理,利用受控源的反馈实现耦合作用,建立机电耦合MEMS薄膜的等效电路模型。利用该等效电路实现对薄膜动态行为的系统级模拟,并将Spice和有限元法,Saber的模拟结果进行对比,验证了该模拟方法应用于二维情况分析的有效性。
关键词
MEMS设计
系统级模拟
薄膜
受力分析
等效电路宏模型
Keywords
MEMS
design
system
-
level
simulatiom
thin
membrane
force
analysis
equivalent
circuit
macromodel
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于受力分析的MEMS薄膜系统级模拟方法的研究
李蓓佳
李伟华
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
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