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题名不同气体环境下532nm激光诱导硅表面形貌的研究
被引量：2
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作者
杨宏道
李晓红
李国强
袁春华
邱荣
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机构
西南科技大学理学院激光与光电子实验室
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出处
《中国光学》
EI
CAS
2011年第1期86-92,共7页
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基金
四川省教育厅资助科研项目(No.08ZB006和No.09ZA128)
西南科技大学博士研究基金资助项目(No.06ZX7113)
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文摘
研究了在不同气体环境下,利用532 nm Nd∶YAG纳秒脉冲激光累积辐照单晶硅表面形成的微结构,结果表明,在其他条件相同,背景气体不同的情况下,背景气体对硅表面形貌的形成起着重要的作用。具体分析了真空、N2和SF6 3种环境气氛下形成的微结构,结果显示,在SF6中形成的锥形微结构的数密度比在N2和真空中的大,并且锥形具有更大的纵横比;在N2、真空和SF6中形成的微结构尺寸依次减小。SF6气氛下,激光辅助化学刻蚀的效率比在真空和N2气氛中的高。另外,辐照区域边缘有波纹微结构形成,分析认为,该微结构的形成是由表面张力波的冷却导致的。
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关键词
激光应用
表面微处理
激光辅助化学刻蚀
硅
表面形貌
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Keywords
laser application
surface micro-processing
laser-induced chemical etching
silicon
surface morphology
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名微系统关键技术的发展概况
被引量：5
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作者
沈叔涛
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机构
天津津航技术物理研究所
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第4期936-941,共6页
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文摘
微系统技术基于微机械加工技术以及集成电路工艺方法,具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可大批量生产等优点。概述了微系统的组成和工作原理,介绍了国内外微系统技术的历史、发展现状和产业分布格局,着重阐述了几种重要的微结构加工技术,分析了湿法刻蚀、干法深刻蚀、表面加工技术、键合、LIGA技术、纳米压印技术以及高深宽比制造技术的原理、各自特点以及制造工艺手段,并结合目前微型器件的产品应用分析了各种技术的优势,对于微系统技术的研究具有一定价值。
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关键词
微系统
固体微加工
表面微加工
LIGA技术
高深宽比结构制造技术
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Keywords
microsystem
solid micro processing
surface micro processing
LIGA technology
technology of producting high aspect ratio structures
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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