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超硬多层薄膜的研究现状及展望 被引量：3
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作者 李宁 宋绪丁 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 2005年第7期31-35,共5页
超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应。由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点。综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多... 超硬多层薄膜的性能随调制周期的变化而发生变化,在某一范围出现超模、超硬等异常效应。由于其潜在的实际应用价值及理论意义,超硬多层薄膜成为近年来人们研究的热点。综述了近年来国内外学者对超硬多层薄膜的研究结果,介绍了其超硬多层薄膜类型、主要性能特点以及制备工艺,并对未来的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 超硬多层薄膜 超晶格薄膜 纳米多层膜 类金刚石
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