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微机电系统微尺度间隙的脉冲击穿特性 被引量：3
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作者 酉小广 成永红 +2 位作者 孟国栋 吴锴 孟永鹏 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1867-1872,共6页
利用微机电系统(MEMS)工艺制备了5～40μm间隙的金属铝薄膜电极,测取了不同间隙下施加纳秒方波脉冲时的击穿电压,得到击穿电压和平均场强随电极间隙的变化规律,研究了脉宽、极性对击穿电压的影响,结合击穿后微电极扫描电镜观察结果讨论... 利用微机电系统(MEMS)工艺制备了5～40μm间隙的金属铝薄膜电极,测取了不同间隙下施加纳秒方波脉冲时的击穿电压,得到击穿电压和平均场强随电极间隙的变化规律,研究了脉宽、极性对击穿电压的影响,结合击穿后微电极扫描电镜观察结果讨论了其击穿机理,并与相同试样在直流下的结果进行了对比。研究表明:击穿电压随微间隙距离的增大而增大,击穿场强则随着间隙的增大迅速减小;与直流同间隙的击穿电压相比,脉冲作用下的击穿电压并不像宏观尺度下那样高出很多;试样击穿机理应为流注理论。在脉冲作用下,阳极出现了分层熔化现象,由于作用时间很短,阳极表面并未出现类似于直流击穿时留下的"坑洞";阴极则出现了溅射沉积现象,只是沉积物质相对较少。 展开更多
关键词 微机电系统 纳秒脉冲 电气击穿 微间隙 流注理论 扫描电镜
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