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An asymmetric broad waveguide structure for a 0.98-μm high-conversion-efficiency diode laser 被引量:2
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作者 崇锋 王俊 +5 位作者 熊聪 王翠鸾 韩淋 吴芃 王冠 马骁宇 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期64-67,共4页
A novel asymmetric broad waveguide diode laser structure was designed for high power conversion efficiency(PCE).The internal quantum efficiency,the series resistance,and the thermal resistance were theoretically opt... A novel asymmetric broad waveguide diode laser structure was designed for high power conversion efficiency(PCE).The internal quantum efficiency,the series resistance,and the thermal resistance were theoretically optimized.The series resistance and the thermal resistance were greatly decreased by optimizing the thickness of the P-waveguide and the P-cladding layers.The internal quantum efficiency was increased by introducing a novel strain-compensated GaAs0.9P0.1/InGaAs quantum well.Experimentally,a single 1-cm bar with 20% fill factor and 900 μm cavity length was mounted P-side down on a microchannel-cooled heatsink,and a peak PCE of 60% is obtained at 26.3-W continuous wave output power.The results prove that this novel asymmetric waveguide structure design is an efficient approach to improve the PCE. 展开更多
关键词 asymmetric broad waveguide high power conversion efficiency strain-compensated quantum well
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应力补偿型InGaN-AlGaN量子阱发光二极管结构优化研究
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作者 李为军 张波 +1 位作者 徐文兰 陆卫 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2008年第10期1023-1026,共4页
薄的应力补偿层AlGaN的引进对InGaN量子阱结构的发光二极管输出功率和内量子效率的影响被详细考察。由理论模拟结果得知,不管是在低温还是高温,合适的应力补偿层引进都能极大改善LED器件输出功率和内量子效率。应力补偿层AlGaN的加入导... 薄的应力补偿层AlGaN的引进对InGaN量子阱结构的发光二极管输出功率和内量子效率的影响被详细考察。由理论模拟结果得知,不管是在低温还是高温,合适的应力补偿层引进都能极大改善LED器件输出功率和内量子效率。应力补偿层AlGaN的加入导致器件漏电流的降低被认为是器件效能提高的主要原因。定量优化AlGaN应力补偿层的厚度和其中Al的含量在这里也被探讨研究。计算结果表明,当应力补偿型InGaN-AlGaN量子阱结构中Al-GaN厚度为1nm,Al含量为0.25时,能够获得最大的发光功效和内量子效率。 展开更多
关键词 应力补偿型量子阱 INGAN 发光二极管 数值模拟
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1060 nm锑化物应变补偿有源区激光二极管仿真及其性能研究
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作者 梁财安 董海亮 +3 位作者 贾志刚 贾伟 梁建 许并社 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2023年第9期1624-1634,共11页
本文设计了GaAs基1060 nm高性能激光二极管的有源区结构,通过在有源区中引入锑化物的应变补偿结构GaAsP/InGaAs/GaAsSb/InGaAsSb/GaAsP,改变了有源区的能带结构,解决了禁带宽度对发光波长的限制,将弱Ⅱ型的量子阱能带结构变为Ⅰ型,增大... 本文设计了GaAs基1060 nm高性能激光二极管的有源区结构,通过在有源区中引入锑化物的应变补偿结构GaAsP/InGaAs/GaAsSb/InGaAsSb/GaAsP,改变了有源区的能带结构,解决了禁带宽度对发光波长的限制,将弱Ⅱ型的量子阱能带结构变为Ⅰ型,增大了电子空穴的波函数重叠,提高了激光二极管跃迁概率和辐射复合概率及内量子效率,降低了非辐射复合,有效增强了器件输出功率和电光转换效率。同时,设计了非对称异质双窄波导结构,p侧采用导带差大、价带差小的AlGaAs作为内、外波导层,有利于价带空穴注入有源区且对导带中的电子形成良好的限制。n侧采用导带差小、价带差大的GaInAsP作为内、外波导层,有利于导带电子的注入且对价带中的空穴形成更高的势垒。电子注入势垒和空穴注入势垒分别由原先的218、172 meV降低到148、155 meV,提高了激光二极管的载流子注入效率;电子泄漏势垒和空穴泄漏势垒分别由252、287 meV上升到289、310 meV,增强了载流子限制能力。最后获得的激光二极管的输出功率和电光转换效率分别达到了6.27 W和85.39%,为制备高性能GaAs基1060 nm激光二极管提供了理论指导和数据支撑。 展开更多
关键词 锑化物 应变补偿量子阱结构 非对称异质双窄波导 输出功率 电光转换效率 1060 nm激光二极管 大功率
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亚毫安阈值的1.3μm垂直腔面发射激光器 被引量:4
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作者 劳燕锋 曹春芳 +2 位作者 吴惠桢 曹萌 龚谦 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期1954-1958,共5页
设计并研制了室温连续工作的单模1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL),阈值电流为0.51mA,最高连续工作温度达到82℃,斜率效率为0.29W/A.采用InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱作为有源增益区,由晶片直接键合技术融合InP基谐振腔和GaAs基GaAs/A... 设计并研制了室温连续工作的单模1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL),阈值电流为0.51mA,最高连续工作温度达到82℃,斜率效率为0.29W/A.采用InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱作为有源增益区,由晶片直接键合技术融合InP基谐振腔和GaAs基GaAs/Al(Ga)As分布布拉格下反射腔镜,并由电子束蒸发法沉积SiO2/TiO2介质薄膜上反射腔镜形成1.3μmVCSEL结构.讨论并分析了谐振腔模式与量子阱增益峰相对位置对器件性能的影响. 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 晶片直接键合 应变补偿多量子阱
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Study on the Luminescence Properties of the Strain Compensated Quantum Well
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作者 Tao Liu Jianjun Li +4 位作者 Jiachun Li Jun Han Jun Deng Linjie He Shengjie Lin 《Journal of Computer and Communications》 2013年第7期40-45,共6页
Compared with the conventional strained quantum well, the InGaAs/GaAsP strain compensated quantum well (SCQW) has better optical properties, as the well layer and the barrier layer lattice mismatch with each other whi... Compared with the conventional strained quantum well, the InGaAs/GaAsP strain compensated quantum well (SCQW) has better optical properties, as the well layer and the barrier layer lattice mismatch with each other which results in the introduction of stress. In this paper, we adopted the Kohn-Luttinger Hamiltonian, conducted some theoretical calculations using the transfer matrix method, and finally verified the following change trend of the InGaAs quantum well following the In-group through experiments: the growth of the low In-group can improve the epitaxial flatness of the active area;the growth of the high In-group can increase the wavelength as well as the strain. In this paper, we adopted the AlGaAs barrier material instead of the GaAsP, made an analysis on the level changes of the compensation quantum well, and successfully fostered the strain compensated quantum well structure using the metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) system which had better optical properties compared with the strained quantum wells. 展开更多
关键词 INGAAS/ALGAAS InGaAs/GaAsP strain compensated quantum well MOCVD
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全固源分子束外延1.55μm波段应变补偿InAsP/InGaP多量子阱材料
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作者 何为 郝智彪 +1 位作者 任在元 罗毅 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期579-581,共3页
利用新型全固源分子束外延技术 ,对 1.5 5 μm波段应变补偿InAsP/InGaP多量子阱材料的生长进行了研究。在InAsP阱和InGaP垒之间插入InP中间层以减小阱和垒之间较大的剪切力。通过对生长材料的X射线衍射摇摆曲线和室温光致荧光光谱的比... 利用新型全固源分子束外延技术 ,对 1.5 5 μm波段应变补偿InAsP/InGaP多量子阱材料的生长进行了研究。在InAsP阱和InGaP垒之间插入InP中间层以减小阱和垒之间较大的剪切力。通过对生长材料的X射线衍射摇摆曲线和室温光致荧光光谱的比较 ,优化生长参数 ,获得了高质量的InAsP/InP/InGaP/InP应变补偿多量子阱结构 ,阱、垒、中间层的厚度分别为 7.1,6.0 ,1.9nm的 7个周期的应变补偿多量子阱材料室温光荧光谱半高全宽为 18.2meV ,是当前文献报道的 1.5 5 μm波段的InAsP多量子阱材料的最好结果之一。 展开更多
关键词 固源分子束外延 应变补偿多量子阱 X射线衍射 光致荧光
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应变补偿多量子阱结构半导体可饱和吸收镜 被引量:4
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作者 林楠 仲莉 +4 位作者 黎海明 马骁宇 熊聪 刘素平 张志刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第11期11-20,共10页
应用于掺镱(Yb)光纤激光器的半导体可饱和吸收镜(SESAM)需要具有较高的调制深度,即将较厚的砷化铟镓(InGaAs)材料作为吸收层。然而,InGaAs材料与砷化镓(GaAs)衬底之间的大失配,导致过厚的InGaAs材料质量极易恶化,影响锁模效果。因此,优... 应用于掺镱(Yb)光纤激光器的半导体可饱和吸收镜(SESAM)需要具有较高的调制深度,即将较厚的砷化铟镓(InGaAs)材料作为吸收层。然而,InGaAs材料与砷化镓(GaAs)衬底之间的大失配,导致过厚的InGaAs材料质量极易恶化,影响锁模效果。因此,优化的外延结构设计和高质量的外延材料成为研制高性能SESAM的关键。本文设计了吸收层InGaAs材料总厚度分别为150 nm和300 nm的两种应变补偿多量子阱(MQW)结构的SESAM,利用金属有机化合物气相沉积(MOCVD)方法进行外延材料生长,采用光致发光光谱仪、高分辨X射线衍射仪和分光光度计对外延材料特性进行表征,优化外延材料生长参数。将研制的两种SESAM应用到线型腔掺Yb光纤激光器中,实现稳定锁模的泵浦功率分别为130 mW和120 mW,输出激光脉宽分别为18.3 ps和9.6 ps。实验结果表明,吸收层InGaAs材料厚度为300 nm的SESAM更容易实现稳定锁模并获得脉宽较窄的激光脉冲输出。 展开更多
关键词 激光器 超快激光器 半导体可饱和吸收镜 金属有机化合物气相沉积 应变补偿多量子阱结构
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光抽运垂直外腔面发射半导体激光器的设计与数值模拟 被引量:1
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作者 王菲 王晓华 +3 位作者 刘向南 翁永超 房丹 方铉 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2010年第2期48-50,53,共4页
采用多周期应变补偿InGaAs/GaAsP双量子阱结构的半导体器件作为增益介质,设计了光抽运面发射半导体激光器件结构和实验光路。在谐振腔中引入分束棱镜保证了VECSEL表面的抽运光斑为圆形光斑。计算模拟了输出功率与抽运光斑和输出镜反射... 采用多周期应变补偿InGaAs/GaAsP双量子阱结构的半导体器件作为增益介质,设计了光抽运面发射半导体激光器件结构和实验光路。在谐振腔中引入分束棱镜保证了VECSEL表面的抽运光斑为圆形光斑。计算模拟了输出功率与抽运光斑和输出镜反射率间关系曲线,优化设计了抽运功率为2W时输出镜反射率并给出了相应的输出功率与抽运功率间关系模拟曲线。 展开更多
关键词 光抽运半导体激光器 垂直外腔面发射激光器 应变补偿双量子阱 分束棱镜
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基于InAsP/InGaAsP量子阱的1.3μm垂直腔面发射激光器
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作者 劳燕锋 曹春芳 +3 位作者 吴惠桢 曹萌 刘成 谢正生 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期68-71,共4页
以InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱为有源增益区,研制出室温连续工作的单模1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL)。激光器谐振腔镜分别由SiO2/TiO2介质薄膜和GaAs/Al(Ga)As半导体分布布拉格反射镜(DBR)实现,由晶片直接键合方法进行InP基有源... 以InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱为有源增益区,研制出室温连续工作的单模1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL)。激光器谐振腔镜分别由SiO2/TiO2介质薄膜和GaAs/Al(Ga)As半导体分布布拉格反射镜(DBR)实现,由晶片直接键合方法进行InP基有源谐振腔与GaAs基DBR材料的融合,经过选择性侧向腐蚀p+-InP/n+-InAlAs隧道结定义电流限制孔径等器件工艺,最后通过电子束蒸发沉积介质薄膜DBR制作出激光器件。单模VCSEL器件的室温阈值电流为0.75mA,最高连续工作温度达到100℃;多模器件的最高光功率为1.9mW。器件结果表明,InAsP/InGaAsP量子阱材料体系可用于高性能长波长VCSEL的研制。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器 应变补偿多量子阱 晶片键合
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